[物理]光学元件技术要求与检验国际新标准

[物理]光学元件技术要求与检验国际新标准光学元件技术要求国际新标准及其在我国推行与研究现状概况背景基本内容及简要说明值得关注的若干问题推行及研究现状结论基本内容概况神光Ⅱ装置神光Ⅲ装置规定以ISO10110为基础制定各种技术要求上海地区光学商贸往来NIF:1999年7月SPIE会议两条信息：(1)NIF光学图纸均按ISO10110标准实施(2)MIL-0-13830A与ISO10110的转换关系工作需要学习基本内容ISO10110:共13部分ISO10110AUser’sGuideBS4301:1991国内一些标准：光学设计手册，19962.背景组织体系...

光学元件技术要求国际新标准及其在我国推行与研究现状概况背景基本内容及简要说明值得关注的若干问题推行及研究现状结论基本内容概况神光Ⅱ装置神光Ⅲ装置规定以ISO10110为基础制定各种技术要求上海地区光学商贸往来NIF:1999年7月SPIE会议两条信息：(1)NIF光学图纸均按ISO10110标准实施(2)MIL-0-13830A与ISO10110的转换关系工作需要学习基本内容ISO10110:共13部分ISO10110AUser’sGuideBS4301:1991国内一些标准：光学设计手册，19962.背景组织体系1947年成立ISOTC172－光学元件与光学仪器(1979)(9)SC1－基本标准WG1光学检验WGWG2光学制图WG3环境检验起草与颁布◊ISO/TC172/SC1/WG2/于1979年起草“光学制图表示法”◊定名为ISO10110◊依据DIN3140差异*表面粗糙度;*干涉波面描述;…..◊1980年4月16日通过◊1996年发布1,2,3,5,6,7,9,101997年发布4,8,11,12,13ISO10110OpticsandOpticalInstruments-PreparationofDrawingforOpticalElementsandSystems.光学元器件与仪器—光学元件及系统图纸绘制该标准文件全面制定了用于光学加工与检验光学元件及系统的技术图纸绘制及其技术要求的总的技术规范。3.基本内容与说明3.1基本内容ISO10110包括十三个部分，大致分四个方面：第一，一般规范：Part1概述第二，光学材料缺陷，包括：Part2应力双折射Part3气泡与杂质Part4非均匀性与条纹第三，表面特性，包括：　　Part5表面面形偏差　　Part6中心偏差　　Part7表面缺陷公差　　Part8表面微观轮廓第四，其他规定，包括：　　Part9表面处理与镀膜　　Part10透镜元件数据的列表表示　　Part11非公差数据　　Part12非球面　Part13激光辐射损伤阈值3.2一般规范基本规定：波长：单位：mm温度：22°±2°视图：阴影线；无阴影线轴线：旋转轴中心线光轴尺寸方面：曲率半径：R，Rcx，Rcc，Rcy特别注意直径或标出e倒棱:材料说明：一般说明：厂家玻璃类型国际玻璃编码折射率与阿贝数材料特性：折射率公差透过率均匀性条纹等附加说明：倍率视场焦平面等17项3.3列表说明各部分内容3.4其它部分关于列表方式（Part10）关于非公差数据Part11给出一系列数据Leica公司也给出一系列参考数据关于非球面非球面非旋转对称绕Z轴旋转对称面坐标轴不重合的回转面椭球面双曲面抛物面锥面（ab）柱面椭球面双曲面抛物面锥面（a=b）球面环带面平面（斯密特校正板）4.值得关注的若干问题4.1分级相反的规定材料缺陷-非均匀性及条纹的分级与国内标准分级含义恰恰相反。ISO国标数字小数字小值大（差）值小（高）Schotl、Hoya都如此见附录附录4.1国标光学均匀性及条纹度附录4.2几家公司材料非均匀性标准的比较附录4.3用Δn=eλ/t求解材料厚度、均匀性及波前畸变的关系。4.2关于表面形状偏差ISO10110-5，3/A（B/C）RMSx我们习惯于N，ΔN干涉仪中描述波面常习惯于用波前PV，Power，RMSx值表示4.2.1被测表面偏差分解与A、B、CSagitta/APV/B(RMSt)PV/C(RMSi)-b-d=e(RMSa)4.2.23/…与USA用法的关系由上图分析，及下图（干涉仪说明书）得出Power=Sag4.2.3PV，Power与3/…关系PV—相当于3/A（B/C）RMSX中的“B”(去除球面)、“C”（去除非球面）值；RMS—相当于3/A（B/C）RMSX中的“RMSX”；x=t,i,aPower—相当于3/A（B/C）RMSX中的“A”。(注意单位转换)4.2.4关于PV值的理解定义：最大峰谷值可能的形状：同一PV值的不同波面或光学表面PV4.2.2关于PV值及Power值与N及ΔN无严格对应关系对于较好的波面：2PV（Power）≈N对于不规则波面：2│PV-Power│≈ΔN2Power≈N结论单纯用PV值(指标)评定波面或镜面是不够的应指出是相对于最佳拟合球面的PV值或就是两波面最大距离的PV值考虑到波面的旋转对称性是十分重要的，尤其在神光装置中的补偿效果建议：定义的PV值用大写；用最佳拟合球面分离出的PV值用小写，以示区别另外，梯度问题表4.3典型NIF光学元件表面形技术要求4.3表面缺陷问题早期:“光学量度”把光学机械表面质量（60年代）：光学表面光洁度PI…PVII―缺陷机械表面光洁度▽1-14―粗糙度现用“光学设计手册”（90年代）：光学表面疵病（GB1185-89）B/G×J；CN×B；Pz表面粗糙度（GB1031-83《机械…》）m▽14ISO10110-7Ⅰ.5/N×A；CN’×A;LN”×A”;EA’”Ⅱ.5/TV或RV，EA’”用Sufacetexture表4.4方法I用的疵病标准板的具体数值1020406080SCRATCHSAMPLE510204050DIGSAMPLEMIL-O-13830A表划痕/坑点号码与尺寸对照表(如：40/20)NIF光学图纸是从MIL-O-13830A转换用ISO10110-7规范我国*一个如何制定问题*一个如何检验问题*标准板的制作*检验设备的研制4.4关于表面结构特性表面抛光程度，即表面粗糙度的容许量和表示法与国内差异较大。倍加注意：用机械表面标准表述光学表面是极不充分的。Rq15nm？Rq国外光学元件表面粗糙度要求（RMS）两类光学表面粗表面（≥λ变化）或称研磨表面用“G”表示镜表面（＜λ或<<λ变化）或称抛光表面用“P”表示镜面的三种表示表示粗糙度：RMS（Rq），Ra，PV（Rz）。定量的微缺陷（＜μm）：N/10mm共分4级。功率谱密度（PowerSpectralDensityPSD）函数单位长度的倒数表示的被测表面粗糙度的频谱。表4.9表面微缺陷的四个级别注意：P1–P4不要与PI-PIV混淆相对德国DIN3140标准P1◊P2◊◊P3◊◊◊P4◊◊◊◊具体表示*粗糙面GRq2m5mm*光滑面P3<16个/10mmRq0.0010.002~1mm*PSDP4<3个/10mmPSD10-6/f2(um3)0.001~1mm5.国内现状及建议现状——正在学习和开始应用引进了多台ZYGO和WYKO(VEECO)干涉仪和表面轮廓仪一些工程项目和仪器已用ISO制订要求针对ISO一些新概念陆续发表了研究论文商贸往来促进了应用但总体上不够熟悉重要性设计者、制造者、检验者、应用者查资料出国人员客商与订单：报价、报时转译成国内习惯内容加入世贸组织及与国际接轨建议普及方面：举办短训班，知识讲座等提高方面：加强新概念的认识和理解以及研究报导有深度的论文，如PSD的应用及检验标准；抛光微缺陷的定量测试与分级等新国标的修订方面：直接全面采用？修改制定国标？6结语ISO10110内容及其丰富仅就个人感到重要的几个内容作粗浅的说明可能有不妥之处，愿与大家共同讨论谢谢！祝同行工作愉快！身体健康！

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