《中文静电知识着重介绍静电原理产生过程和解决方案》PPT课件

（Suitableforteachingcoursewareandreports）中文静电知识着重介绍静电原理产生过程和解决方案CONTENTS静电 说明书 房屋状态说明书下载罗氏说明书下载焊机说明书下载罗氏说明书下载GGD说明书下载 由于静电而产生故障！・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・2什么时候会产生静电？・・・・・・・・・・・・・・・・3什么是静电？・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・4什么是物体带电？・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・6由导体引起的静电感应　・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・7带电列和带电量的关系・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・8啪的一声就能明白带电量的多少・・・・・・・・・・・・・・・・9Chapter2静电附着的问题使之附着的力量，库仑力・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・10灰尘附着的机械装置・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・11Chapter3静电引起的装置破坏问题什么是静电破坏？・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・12引起静电破坏的原因・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・13静电破坏的机械装置・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・14Chapter4各种除电方法Chapter5静电除去器的基础知识Chapter6静电测量静电除去器周围金属体的影响・・・・・・・・・・・・・・・・・・30除电对象物周围金属体的影响・・・・・・・・・・・・・・・・・・31必须接地・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・32除电是指除去电吗・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・15导电体的除电方法・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・16用腕带轻松除电・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・17绝缘体的除电方法・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・18用静电除去器来除电・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・19DC方式和AC方式・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・20除电时间和离子平衡・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・223种静电除去器・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・24高周波AC方式可精确除电・・・・・・・・・・25优越的离子平衡的风扇型静电除去器・・・・・・・・・・26大范围高速除电的条型静电除去器・・・・・・・・・・27Chapter8静电除去器的维修随着时间推移而劣化的除电能力・・・・・・・・・・・・・・・・・33劣化原因①放电针的污化・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・33劣化原因②放电针的磨损・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・34放电针的维修和寿命・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・35Chapter9静电除去器的效果导入有效除电的想法・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・36Chapter1静电是什么？智能化测量静电・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・28静电测量的注意点・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・29Chapter7静电除去器的活用方法*由于静电而产生故障！静电是在制造现场中引起机械停止、不良品等故障的原因之一。静电在制造现场中产生如下所示的故障。①送料器的堵塞④切割碎屑的缠绕②贴标错误⑤玻璃基板的放电造成模型破损③吸附错误输送2枚⑥现场的不适感アンティ画像アンティ画像アンティ画像Chapter1什么是静电？*什么时候会产生静电？　那么什么时候会产生静电呢？　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　例如摩擦垫子和毛发这两个物体就会产生静电。此外剥离两个粘在一起的物体、或者单纯接触也会产生静电。用科学的定义来说的话就是｢静电就是由于两个物体的接触和剥离、摩擦、物体变形、附着离子而产生的现象」。■静电此时产生①摩擦两个物体②剥离接触的物体Chapter1什么是静电？POINT!　在重复摩擦和剥离的制造现场工程中产生较多的静电。*什么是静电？―之一　电分静电和动电。在干燥的冬天，从汽车下来时接触门时啪的一声就是静电。用垫子摩擦头发头发粘在一起也是因为静电。也就是说电子在汽车或垫子中「停留｣的状态就是静电。动电就是在电线中电子「流过」的状态。　物质都是由带负极（－）的电子，带正极（＋）的质子，形成电性中和的中子组成的。但当两物体摩擦或剥离时，一侧的物体的电子飞出正电荷增加，另一侧的电子粘连负电荷增加。这被称为带电，例如下方所示垫子带负电，毛发带正电。■原子核的构成①一侧的电子飞出，带＋电。两物体摩擦、剥离・・・例如＋质子10个－电子　10个的情况●＋、－数相同则稳定②电子粘连，带－电。＋质子10个－电子9个●由于质子数较多带＋电＋质子10个－电子　11个●由于电子数较多　　带－电Chapter1什么是静电？＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋－－－－－－－－－－＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋－－－－－－－－－－＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋－－－－－－－－－－－*什么时静电？―之二■带静电的情况　所谓物体是什么，让我们再看一下。物质都是由带负极（－）的电子，带正极（＋）的质子，形成电性中和的中子组成的。就是说电子构成物体。－电子原子物体＋原子核分子Chapter1什么是静电？平衡的0V状态（不带静电状态）带＋电状态（带静电状态）±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±＋＋＋＋＋＋＋＋＋相对・・・　带电状态不是指物体上「载有」静电，而是物体本身「发生变化」。POINT!　带静电状态是物体本身发生变化的状态。*什么是物体带电？　容易通电的物体被称为｢导电体」，铁、铜、铝等是该代表。相反不容易通电的物体被称为「绝缘体」，丙稀、橡胶、玻璃等就是这种物体。但不论通电易否，物体带电。带电方法（带电分布），导电体和绝缘体是不一样的。绝缘体的带电示意导电体的带电示意接地的话，成为0Ｖ。即使接地，也不会0Ｖ。Chapter1什么是静电？■導電体の場合±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±±■絶縁体の場合＋＋＋＋＋＋＋＋＋－－－－－－－－＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋－－－－－－－－－－*由导体引起的静电感应　只有金属等通电导体才会产生静电感应现象。把带正电的带电体接近导体，导体中接近带电体的一面表现出负电荷，反对面出现正电荷。(图1)　但是当带电体离开时，电荷恢复原样。(图2)Chapter2静電気による付着対策图1　带电体靠近，导体一边保持电中性，电子一边移动导体＋＋＋＋－－－－＋＋＋＋靠近＋＋－－－＋＋－移开＋带电体导体＋带电体图2　带电体移开，本身的电荷恢复原样物体即使不接触，导体也可能带电。(图3)＋＋接地，被中和了＋－－－－－＋－＋－＋－＋＋－－－－離す留下－电荷図3Chapter1静電気とはなにか？Chapter1什么是静电？＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋－－－－＋＋－－－＋＋－＋＋＋＋*带电列和带电量的关系　两物体摩擦时，哪个物体带＋、哪个带－电，统称为｢带电列｣。根据物体本身性质不同而产生容易带＋电或容易带－电的现象。　　　　　　　　　　　　　　　　一般来说此带电列中位置关系近的物体间摩擦带电量（携带静电量）减少，位置关系远的物体间摩擦带电量增多。　但是摩擦带电根据湿度、温度、摩擦物体形状状态不同而有所变化，也不是所有情况都有该现象。另外摩擦同种物体，虽然带电量少，但是肯定有一方是带＋电，另一方带－电。负（－）特氟隆　　　　　　　　　氯乙烯　　　　　　　　　赛璐珞　　　　　　　　　聚乙烯　　　　　　　　　聚氨基甲酸酯　　　　　　　　　丙稀　　　　　　　　　奥纶　　　　　　　　　赛璐珞　　　　　　　　　聚酯　　　　　　　　　醋酸盐人造纤维　　　　　　　　　金・铂　　　　　　　　　黄铜・银　　　　　　　　　镍・铜　　　　　　　　　硬质橡胶　　　　　　　　　封条蜡　　　　　　　　琥珀　　　　　　　　　木　　　　　　　　　麻　　　　　　　　　铁　　　　　　　　　木棉　　　　　　　　　铝　　　　　　　　　纸　　　　　　　　　绢　　　　　　　　　铅　　　　　　　　　发・毛皮　　　　　　　　　羊毛　　　　　　　　　尼龙　　　　　　　　　云母　　　　　　　　　玻璃　　　　　　　　　　　　　　　　　兔毛　　　　　　　　　　　　　　　石棉　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　人手　　　　　　　正（＋）　空气■带电列(摩擦顺序)●铝和丙稀摩擦・・・・铝→＋　丙稀→－●铝和丙稀摩擦产生的带电量　＜　铝和氯乙烯摩擦产生的带电量Chapter1什么是静电？*啪的一声就能明白带电量的多少　带电量用V(伏特)。下表总结了人体带电量和打雷的关系，人能够感觉到的静电一般从3kV起。1kV以下的静电虽然人体不能感觉到，但是在制造现场这样微弱的静电也有可能导致故障。人体带电电位1kV3kV5kV7kV9kV10kV冲击程度一点也感觉不到手指、手掌有痛感，伴随麻木感被针扎的痛感手掌和前腕感到痛。放电发光从手指延伸手腕有强烈痛感，手感到麻木变重手全部疼痛，感觉有电流流过POINT!　带电量不同的两物体靠近时产生放电。人体为10kV、车为0V时，因为有10kV的电位差，一接触就会放电。人体为0V、IC为500V时，因为有500V的电位差，一接触就会放电。●距离接近的话，有一点带电量也可能发生放电。●即使用腕带保持0V，由于IC带电产生放电。Chapter1什么是静电？出处：静电安全指针　労働省産業安全研究所(1988)抜粋*使之附着的力量、库仑力　带电的物体靠近，｢库仑力｣产生作用。所谓库仑力是在2个电荷间作用的力。同极性的静电相斥，异极性的静电相吸。但是电荷大的话，由于吸引力比排斥力强，会吸附物体。吸引力排斥力＞電荷10,000V垃圾＋10Ｖ灰尘　－10ＶPOINT!　物体有被电荷大的一方吸引的性质。　库仑力是在制造现场造成各种故障的原因。【食品、药品产业领域】（１）食品　垃圾混入、灰尘附着、粉的飞扬、贴标粘贴不良等（２）药品　　垃圾混入、灰尘附着、粉的飞扬、过筛不良、粉尘爆炸等（３）成形品垃圾混入、灰尘附着等【纤维、纸、纸浆产业领域】（１）纤维原线粘合不良、线的缠绕、线的切断等（２）胶片　灰尘的附着、卷入滚轮、静电放电等（３）纸吸附错误输送２枚等Chapter2静电附着的问题*灰尘附着的机械装置　为什么静电会造成灰尘附着呢？机械装置的附着对象可以分为两大类别。一个是「附着到导体」、另一个是｢附着到绝缘体｣。POINT!　附着到导体(金属体)必须将附着物体进行除电。■附着到导体把导体（金属体）接近带电物体(灰尘等)，金属的表面会形成带电。这个就是库仑力吸引电位和灰尘等的静电而引起的静电感应现象。静电感应是产生库仑力的重要原因，这种情况下即使将导体（金属）进行除电也没有什么效果。必须要将附着的物体，也就是带电灰尘本身进行除电。POINT!　附着到绝缘体，电荷较大的能够产生除电效果。■附着到绝缘体把电荷大的绝缘体靠近带电物体(灰尘等），绝缘体会吸引带电物体（灰尘）。这种情况下仅需将绝缘体除电，库仑力就会变弱，产生除电效果。Chapter2静电附着的问题＋带＋电物体（灰尘等）导体（金属体）－－－－带＋电物体（灰尘等）绝缘体－－－－＋－－－*什么是静电破坏？　所谓静电破坏是静电放电（ESD)引起的障碍之一。例如IC等电子部件由于静电而遭到破坏可以说是静电破坏的代表例。因为可能产生人体感受不到的微弱静电，因此有在不经意间就可能产生静电破坏的特征。Chapter3静电引起的装置破坏问题■静电破坏的事例【半导体、液晶、电子机器产业领域】（１）半导体　　　　回路的破坏、特性劣化、出货后的不良等（２）液晶　　　液晶的破坏、晶体管的破坏等（３）电子机器　　装置的破坏、回路的误动作、设备的误动作・动作停止等众所周知半导体（ＩＣ、ＦＥＴ、高周波装置等）部件非常敏感，容易进行静电破坏。腕带带电的ＩＣ带有腕带的人体POINT!　接触后在装置回路中有大量放电电流流通。静电破坏接触！*引起静电破坏的原因　静电破坏的原因可能有①作业者　②装置类　③半导体素子。①作业者（从人到装置的放电)　人体带电模型（HBM）带静电的人手接触装置的导线，静电放电而导致装置带电。只有装置接地，放电电流在回路中流通，来破坏静电。②装置类（从设备到装置的放电)　机械模型（MM）带静电的金属性装置导电体接触装置的导线，静电放电而导致装置带电。只有装置接地，放电电流在回路中流通，来破坏静电。③半导体素子（装置自身带电引起的破坏）　装置带电模型（CDM）装置由于自身摩擦而带电，引起回路、导线部分等的导电体产生静电感应。这种状态下，导线部分接地的话，静电放电可避免静电破坏。电流手装置电流导电体－－＋＋＋＋＋－－－－－－电流Chapter3静电引起的装置破坏问题*静电破坏的机械装置　　产生静电放电，使得IC回路中瞬间有大电流流通。此电流造成回路模型融化，装置变为不良。■静电破坏的实例　由于静电破坏，配线模型发生电桥。一般配线材料，铝的熔点为660℃，铜的熔点为1083℃。(参照右下图)　静电放电的瞬间，回路中产生高于3000℃的热量。因此超过熔点的铜或铝等配线熔化，发生电桥。此配线引起短路或断线，发生回路的不正常，静电破坏机械装置。　近年，由于产品的小型、薄型化，造成回路微细化，配线间的间隔缩短，这也是造成静电放电感应的一个原因。POINT!　配线较细时，会因为低电压产生静电破坏。POINT!　一般采取的静电对策是把电子部件的静电管理到100V以下。铝的熔点放电时的温度铜的熔点3,000℃～1083℃660℃配线材料的熔点和放电时的发热量※铝、铜为一般的配线材料Chapter3静电引起的装置破坏问题*除电是指除去电吗？　Chapter4各种除电的方法　｢除电｣和｢除去电｣是不一样的。『什么是静电？』该页已经阐述了「静电的发生是因为物体内的正和负电荷不平衡，偏向一方的不稳定状态」。因此把不稳定的状态变成稳定的中和状态，才称为「除电」。■除电的机械装置－－－－－＋＋＋＋＋带电０带＋电中和电的不稳定状态＋＋＋＋＋*导电体的除电方法　Chapter4各种除电的方法　导电体也会带电。而且已经提到过即使物体不接触，导体也可能带电。　(参照「仅由导体引起的静电感应」)　　但是，因为导电体可以流通电流，所以用接地可以简单除电。总结在制造现场的代表性导电体①机械(装置)　②作业员(人体)　③作业台　的除电方法。①机械(装置)的除电　把机械接地来简单除电。②作业员(人体)的除电　用腕带、导电靴等能够除电。③作业台的除电　用导电垫能够除电。　导电垫腕带*用腕带轻松除电　Chapter4各种除电的方法　卷在手上就能够简单除电的腕带(照片①)和导电床・导电靴一样，是一种经常被使用的方便便宜的静电对策。因为人体的静电通过腕带接地，人体保持0V的状态。　使用腕带必须注意下面的事项。　●请定期检查腕带是否接地。●检查时请使用专用的检查器。带着腕带的状态下接触检测器，能够确认静电的状态。(插图①）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　●腕带配线正确，人体出汗，汗干后使腕带上附有盐，于是带上此腕带后能与大地呈绝缘状态。照片①插图①　虽然是作为方便使用的便宜的静电对策，但腕带也不是万无一失的。正如「什么是静电破坏？」一页所阐述的，虽然使用腕带可以保证人体的静电为0V，但是如果对象物带电的话，由于静电放电所以会引起静电破坏。虽然对象物带有静电不会破坏装置，但恐怕人接触的一瞬间可能会因为静电放电而产生破坏。因此对对象物装置有必要采取除电措施。*绝缘体的除电方法法　Chapter4各种除电的方法　绝缘体无法通过电流，因此用接地的方法来除电是无效的。一般来说可以采取　①防止带电喷雾除电　②湿度管理除电　③静电除去器除电。①防止带电喷雾除电　在绝缘体表面造一层导电体的皮膜，使电流导通，就能像导电体一样进行除电。　将防止带电喷雾喷射在绝缘体的表面，制作界面活性剂的被膜。（图1）该界面活性剂吸收空气中的水分，使电流能够流通。　但是这个方法仅仅是简单的静电对策。　　　轻松・简单的优点以外效果不会持续很长，可能对工件造成坏的影响，必须引起注意。図1②湿度管理除电　冬天经常会引起静电是因为受到湿度的影响。如果湿度高的话，即使有静电但是因为空气中含有很多水分而产生放电，因此不会留下静电。但是在湿度低、干燥的冬天，空气中的静电不会产生放电，人体或物体本身带电，所以静电非常多发。　利用这个自然现象的除电对策称为湿度管理除电。静电开始自然放电的相对湿度为65％。　湿度管理除电可以让静电在发生的瞬间产生放电，静电有在不带电的环境下可以制成的优点。但是另一方面，有许多缺点。例如管理所有的环境是非常困难的，设备导入时的成本高，而且由于高湿度也有可能产生霉或造成作业人员的不适感等。绝缘体防止带电喷雾界面活性剂的被膜*静电除去器除电　Chapter4各种除电的方法　离子除去器也成静电除去器，是把离子空气作为对象物，缓和对象物的带电状态来除去静电的装置。　该静电除去器分为4种类型电晕放电式、放射线方式、软X线方式、紫外线方式。　■电晕放电式静电除去器的除电装置在放电针上附加高压电源为3kV以上的高电压，使放电针的前端产生电晕放电。　用电晕放电，使放电针周围的空气电气分解，产生离子。此时附加＋的电压产生正的离子（图2），附加－的电压产生负的离子（图3）。3.　　　把离子给予带电物，静电被中和得到除电目的。图1　电晕放电式除电是依据由电极放出电子的电晕放电，使之产生离子来中和带电物的静电。此类型的静电除去器有3大构造｢接地｣、「高压电源｣、「放电针」。(图1）　除电的机械装置如下。图2图3　电晕放电式静电除去器虽然除电效果好，但是另一方面比防止带电喷雾价格高，需要花费一定导入成本。电极针高压电源接地＋＜加＋的高电压＞电极针产生正离子－＜加－的高电压＞电极针产生负离子＋＋＋＋－－－－*DC方式和AC方式ー之一Chapter5静电除去器的基础知识Chapter4いろいろな除電の仕方　电晕放电式静电除去器根据对放电针的电压应加方式不同分为「DC方式」和「AC方式」。「DC方式」分为「DC方式」和「脉冲DC方式」，「AC方式」分为「脉冲AC方式」、「高周波方式」、「商用周波数方式」三种。（图1）　DC方式有＋专用的放电针和－专用的放电针，将直流电压（DC）应加在各放电针上分别产生正离子和负离子。与此相对，AC方式是将交流电压（AC）应加在1根放电针上，交替产生正负离子。　　　（图2）脉冲AC方式脉冲DC方式静电除去器电晕放电式AC方式商用周波数方式高周波方式DC方式图1DC方式ＤＣ方式放电针：＋专用、－专用　　　ＡＣ方式图20V产生正离子产生负离子放电针：１根产生负离子产生正离子0V*DC方式和AC方式ー之二Chapter4いろいろな除電の仕方比较离子的发生分布图我们可以得出，AC方式（图１）用1根针交替产生正负离子，虽然离子的产生量比DC方式少，但是离子平衡性良好。DC方式＋专用的针和－专用的针分别产生离子，离子的产生量比AC方式要多，但是近距离时离子的平衡性较差。（放电针的根数根据静电除去器的性能不同而异）图１　AC方式图２　DC方式AC方式DC方式优点缺点离子平衡好擅长近距离除电离子产生量多擅长广范围除电离子产生量比DC方式少必须输送离子的空气近距离的离子平衡差可能使对象物逆向带电■电晕放电式静电除去器的特征Chapter5静电除去器的基础知识*　从两点可以评价静电除去器的性能①除电时间　②离子平衡。除电时间快、或者离子平衡好，可以判断该静电除去器性能优秀。　除电时间和离子平衡，如下定义。除电时间和离子平衡ー之一①除电时间除电时间就是把带电为±1000Vに的带电物除电到±100为止所要花费的时间。②离子平衡确保正负离子哪项平衡，如何让对象物接近0Ｖ等称为离子平衡。离子平衡不好的话，可能会造成使对象物逆向带电。参考　JISTRC0027-1：2002　A6.2　　　　IEC61340-5-1:1998A6.2离子平衡除电时间0电压（V）＋1,000＋100时间Chapter4いろいろな除電の仕方Chapter5静电除去器的基础知识*±100V下图为静电除去器的除电特性。目录值只有数字，特性如下。　①除电时间快，但可能使工件逆向带电±400Ｖ左右。　②除电时间被定义为能瞬间到达100V，所以没有在0Ｖ时的时间。如果对象物是对静电较弱的装置的话，会变为被逆向带电的危险状态。除电时间和离子平衡ー之二-１000-700－１00１00４00７001,00000.20.40.60.811.21.41.61.822.22.42.62.833.23.43.63.844.24.44.64.85時間（ｓ）電圧（Ｖ）POINT!　根据对象物不同，除电时间并不是越快越好。-400Chapter5静电除去器的基础知识*　电晕放电式根据形状分为三种类型①电扇型　②条型　③鼓风型。欧姆龙最大限度利用AC方式和DC方式的优点，制成不同类型。静电除去器有3种类型①电扇型（DC方式：形ZJ-FA）自带电扇，提供离子化空气。可在机上作业时设置使用。特征为简单设置和操作。②条型（DC方式：形ZJ-BA）条型长度适合各种用途，最适合广范围除电。③鼓风型（AC方式：形KS1）用喷嘴能精确除电。能供给的空气压力高的化，既可以「吹飞」附着的尘埃，也可以「除电」。Chapter5静电除去器的基础知识DVD拾起时的除电电子部件等元件生产时的除电液晶基板输送时的除电防止塑料瓶排斥／防止垃圾附着装置的ESD防止元件的带电防止*淋浴型喷嘴60°/90°平喷嘴90°直条式喷嘴100/200/300/400/500mm易弯的管型喷嘴100/200/300/400/500mm 标准 excel标准偏差excel标准偏差函数exl标准差函数国标检验抽样标准表免费下载红头文件格式标准下载 喷嘴＋因为是高周波AC方式所以可以精确除电　KS1系列节省空间以及各种类型的喷嘴，即使精密的装置也能够达到有效的接近除电。因为1根放电针产生正/负离子，同量产生，因此离子平衡好。对比过去的AC方式，68KHz的高周波发振，能产生高密度的离子。另外用±2kV的低电压来进行电晕放，产生的干扰也变少。高周波AC不需要高压配线的安全设计。DC24V驱动类型。电源ON时起始速度快，能直接使用的省能源型。形状小，能安心、安全使用。Chapter5静电除去器的基础知识*优越的离子平衡电扇型静电除去器　ZJ-FA系列　采用离子量多的DC方式，以电扇型的构造，和离子平衡传感器的反馈控制来实现优越的离子平衡。＜混合・多样的DC方式＞　电扇部分和放电针的配置与原来正好相反，把放电针放到电扇部分的后方，由于搅拌了产生的离子，形成了优越的离子平衡。　在此之前，要配置离子平衡传感器，检测由离子检测电极和GND产生的电位差的离子电流实行反馈控制。Chapter5静电除去器的基础知识放電針＋＋－－＋－电扇离子平衡传感器＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＜混合・多样的DC方式＞＜离子平衡传感器的组成＞×反馈回路－－－撹拌离子电流检测回路高圧発生回路*广范围高速除电条型静电除去器ZJ-BA系列　经过电极构造，实现双重・混合・多样的DC方式、3个离子平衡传感器、优越的离子平衡和高速除电。Chapter5静电除去器的基础知识正离子空气负离子离子平衡传感器与带电量相配合的3个模式　除了能够设定正负离子等量输出的零模式之外，还能设定较多输出正离子的正模式和较多输出负离子的负模式*。　在能够判断对象物带正电多还是负电多的情况下，如果多输出与此相反的离子的话，就能够更快速的进行除电。*　正模式／负模式分别可以设定2个阶段。实行1阶段增加50%，2阶段增加75%（高压输出换算）的控制。＜双重・混合・多样的DC方式＞把放电针以倒V字型放置，搅拌正负离子后输送空气。离子平衡破坏时，3个离子平衡传感器会进行反馈。*能直接表示工件的带电量的SMART放大器，口为6mm的小型传感器头。可以用计算机测量带电量，表示&记录波形。把带电量的时间变化进行数值化，能更好地作用于静电对策、工程管理。智能静电测量　ZJ-SD系列静电产生现象是受到周围的环境、物质表面状态的变化等的影响，再现性很少。为了实行有效的静电对策，用INLINE测量带电量的时间变化是非常重要的Chapter　6　静电测量■INLINE静电传感器的介绍液晶基板等带电量不均一地对象物，采用多点测定非常有效。形ZJ-SD能够连接5台放大器，所有数字能用计算机传送。SMART放大器小型传感器头*Chapter　6　静电测量静电测定的注意点（（（（（静电传感器位移传感器距离数据　测定静电的传感器（叫表面电位计）测定由静电产生的电场的变化，电场的变化受传感器和对象物之间距离影响非常大。　为了正确的测量带电量，尽量不受距离变动的影响，在限定的距离范围内（非常狭小）测定，需要用距离信息来补正静电传感器的测定值。■设置距离造成的影响形ZJ-SD接续了形ZX位移传感器，有常时补正和对象物之间距离的机能。■测定面积造成的影响　静电传感器的测定面积对应和对象物之间的距离，指数被函数性地扩大了。当带电量为分布不一致的绝缘体时，静电传感器的测定电压表现为测定区域的平均电压。　对于数据的处理需要非常小心。用表面电位计测量，被平均，表示为“0V”+1,500+1,000+500－500测量带电量、使之变化电压应加量的静电除去器，根据设置情况不同，以被平均化的带电量控制，可能使对象物逆向带电。＋＋＋＋＋＋＋＋＋静电除去器＋－－＋－＋＋＋＋＋＋＋正离子多！－－帯電物感测区域*　　想要最大限度地引出除电时间和离子平衡地静电除去器地能力必须要注意的是「静电除去器的设置场所」。①静电除去器周围金属体的影响　②除电对象物周围的金属体的影响　③接地这三个注意点。静电除去器的设置，静电除去器周围金属体的影响Chapter7静电除去器的活用方法●没有带电物的情况　如图1放电针周围有金属体的话，产生的离子和相反极性的电荷由于静电感应而在金属体内流通。因此由放电针产生的离子被吸引到金属体。静电除去器周围有金属体的话，可能会不能有效除电。●有带电物的情况　如图2带电物置于放电针的前面，带电物的带电量较多时吸引从放电针产生的离子能力较强，金属体不怎么受到影响。但是随着带电物不断除电，离子的吸附能力变弱，反而被金属体吸引的能力增强，为了使离子不被吸附到带电物，需要完全地不间断除电。图1－－－電極針＋＋＋＋金属体電極針＋＋＋＋－－－金属体图2帯電物電極針＋＋＋＋－－－－－＋＋－－－金属体帯電物電極針＋＋＋－－＋＋－－－金属体－－－*　如果静电除去器周围有金属体的话，就不能有效除电。同样在除电对象物周围有金属体的话，也不能很好地除电，因此需要注意。静电除去器的设置，除电对象物周围金属体的影响●薄板背面有滚轮的情况　图1表示薄板背后有金属滚轮的情况。这种情况下，金属滚轮内发生静电感应，金属滚轮表面聚集了薄板的带电物（带－电）和相反极性的电荷（＋）。（图1）　所以金属滚轮周围由于静电感应产生的+电荷和薄板表面的静电相结合（也就是被除电的状态）。如果这样下去的话，不管静电除去器产生多少离子，都不能中和带电物，就不能达到除电的效果。（图2）图1图2－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－＋＋＋＋＋薄板滚轮除电的情况薄板＋＋＋＋＋－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－電極針＋＋＋成为电中和的状态，即使供给金属滚轮离子也不能中和。Chapter7静电除去器的活用方法*　　和设置场所需要注意一样，在装入静电除去器时接地也是非常重要的。如果不接地的话，不单不能有效除电，而且会引起静电除去器本身产生带电，由静电除去器发生静电放电，恐怕还会造成静电除去器本身遭到破坏。　静电除去器在产生离子时通过接地，电荷发生移动。产生负离子时，应对产生的负离子的量电流从接地流通到高压电源，也就是电荷移动。（图1）　与此相对，产生正离子时，应对产生的正离子的量电流从高压电源流通到接地，也就是电荷移动（图2）　此时不接地的话电荷会在静电除去器内部蓄积，对静电除去器内部的回路放电，回路有可能遭到破坏。静电除去器的设置，必须接地図1図2電極針高圧電源－－－－電極針高圧電源＋－－＋Chapter7静电除去器的活用方法*　静电除去器的除电能力包括「除电时间」和「离子平衡」，根据使用时间的推移会慢慢衰退。除电能力劣化的原因一是「放电针的污化」还有是「放电针本身的磨损」。这是因为放电针经常受到高电压的应加。因此为了最大限度地维持静电除去器的能力，必须注意放电针的维修。随着时间推移，除电能力劣化Chapter8静电除去器的维修劣化原因①放电针的污化　将高压电应加到放电针上（图1），放电针周围存在微小的尘埃，由于产生的离子而带电。（图2）　放电针和尘埃之间的库仑力运作，尘埃附着到放电针上（图3），称为放电针污化的原因。　静电除去器是将放电针周围的空气进行电分化来产生离子的，但当尘埃粘到放电针上，放电针接触空气的面积减少，所以离子产生量也会减少。图1图3图2放電針－＋放電針－＋＋尘埃放電針－＋＋－　离子产生量减少的话就要延长除电时间。而且离子减少量的话，如果是在正离子比负离子多的情况下，但是产生的正离子和负离子却不是相同量，这样的话就不能达到离子平衡。（图4）放電針＋－－产生1个正离子产生2个负离子图4*　静电除去器经常是应加5kV以上的（高周波AC方式2kV）高电压到放电针上，对放电针的前端负荷的能量相当大。这就是放电针磨损的主要原因。（图1）　放电针的前端磨损的话能源的集中就会低下，离子的发生量也会减少。劣化原因②放电针的磨损POINT!　放电针在长时间使用后，前端会遭到磨损，离子产生量会低下。　离子的发生量减少的话，除电时间会延迟。而且放电针的磨损对正负离子的产生量也有很大的影响。也就是说和放电针的污化一样，当正离子比负离子减少量多的情况下，负离子的产生量增多，离子平衡变差。上：清扫后的放电针下：清扫前的放电针图1新针使用針放电针的前端磨损Chapter8静电除去器的维修*　静电除去器劣化的原因在于放电针。因此为了最大限度地维持静电除去器地能力，由必要维修放电针。放电针的维修和寿命　用浸在酒精里的棉棒擦拭放电针的污垢是一般放电针的维修。　在通常情况下，2周进行一次维修为好。■放电针地维修アンティ画像　钨或硅等电极材料不同，使得放电针的寿命也是有差异的。寿命可参考右表。■放电针的寿命材質特徴寿命钨普及率最高长寿命约2年钛长寿命约2年硅有效防止金属污染约2年SUS短寿命但是便宜约1年Chapter8静电除去器的维修*