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洁净室的原理

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洁净室的原理一、洁净室空调系统的特点1、洁净室空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。2、洁净室与洁净厂房能源消耗比其他的建筑大得多,其运行费约是一般办公楼的10(1万级)~30(100级)倍。就空调冷负荷而言,一般办公大楼为120W/m2左右,一般洁净室为300~800w/m2,而大规模半导体器件厂房可以达到1...

洁净室的原理
一、洁净室空调系统的特点1、洁净室空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。2、洁净室与洁净厂房能源消耗比其他的建筑大得多,其运行费约是一般办公楼的10(1万级)~30(100级)倍。就空调冷负荷而言,一般办公大楼为120W/m2左右,一般洁净室为300~800w/m2,而大规模半导体器件厂房可以达到1400~1600w/m2。同时,由于半导体器件生产 工艺 钢结构制作工艺流程车尿素生产工艺流程自动玻璃钢生产工艺2工艺纪律检查制度q345焊接工艺规程 的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24h运行,这也与其他空调系统极其不同。3、送风量大。一般办公大楼换气次数为10次/h左右,一般洁净室换气次数可选为:100级按室内平均风速0.2~0.5m/s来计算,1000级按50~60次/h计算,10000级按15~25次/h计算,100000按10~15次/h;而大规模半导件器件厂房内,为了满足相应的洁净度要求,需要保证很高的换气次数,致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400次/h,10000级洁净室的换气次数可选到40次/h,100000级洁净室的换气次数也要30次/h。4、新风负荷大。在电子厂房中,某些车间散发出有害气体,需要通过排风加以消除,这就加大了系统的新风量。洁净室的各类制冷负荷中,最重要的有新风、风机温升和设备散热3项,而尤以新风最大。根据有关部门统计,新风负荷可以从20%~70%,风机温升从8%~20%多,工艺设备可以从16%~50%。5、风机全压高。由于净化空调中过滤器很多,其中仅高效过滤器的初阻力就在200Pa以上,终阻力在400Pa以上;而要求高的车间阻力会更大。其新风要求三级(初、中、高效)过滤。这些都会致使所用风机静压很高,导致风机耗能增加。另外,工艺设备的发热情况随不同的生产工艺不同而不同,有些工艺设备是高发热设备,就需要较多冷负荷来抵消。总之,洁净厂房空调系统具有排风量大、送风量大、工艺设备发热量大、阻力大和风机静压高的特点,这些共同造就了洁净厂房空调系统的高耗能。二、洁净室的原理所谓洁净室,国内一般指对空气的洁净度、温湿度、静压、新风量等项参数,根据需要实行控制的密闭性较好的空间,该空间的各项空气参数均满足“洁净室级别”的规定。1、空气洁净度等级(国内):等级每立方米(每升)空气中≥0.5um尘粒数每立方米(每升)空气中≥5um尘粒数100级≤35x100(3.5)1000级≤35x1000(35)≤250(0.25)10000级≤35x10000(350)≤2500(2.5)100000级≤35x100000(3500)≤25000(25)2、洁净度:指洁净室空气环境中空气含尘量多少的程度。含尘浓度高则洁净度低,含尘浓度低则洁净度高。3、温、湿度:首先应满足生产工艺要求,当生产工艺对温、湿度无要求时,洁净室的温度为20~26℃,相对湿度小于70%;人员净化用房间和生活间温度16~28℃。4、正压值:指门关闭状态下,室内静压大于室外静压的数值。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差,应不不于5Pa,洁净区与室外的压差,就不小于10Pa。洁净室与周围的空间必须维持一定的压差,并按生产工艺要求决定维持正压差或负压差。5、新风量:洁净室内应保证一定的新鲜空气量,其数值应取下列风量中的最大值:(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。(2)保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。三、洁净室的分类:洁净室按用途分两大类:工业洁净室和生物洁净室。1、工业洁净室以无生命微粒(非生物微粒)的控制为对象,主要控制无生命微粒对工作对象的污染,内部保持正压,它适用于精密工业、电子工业、宇航工业、化学工业、原子能工业、印刷工业、照相工业等;2、生物洁净室,以有生命微粒(生物微粒)的控制为对象,又可分为:、一般生物洁净室,主要控制有生命微粒对工作对象的污染。同时其内部材料要能以受各种灭菌剂的侵蚀,内部保一般保持正压。可用于食品工业(防止变质、生霉)、制药工业(高纯度、无菌制剂)、医疗设施(手术室、各种制剂室、调剂室、动物实验设施(无菌动物饲养和实验)、实验设施(理化、洁净实验室)。、生物学安全洁净室,主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染,内部保持负压。用于实验设施(细菌学生物学洁净实验室)、生物 工程 路基工程安全技术交底工程项目施工成本控制工程量增项单年度零星工程技术标正投影法基本原理 (重组基因、疫苗制备)。四、洁净室 设计 领导形象设计圆作业设计ao工艺污水处理厂设计附属工程施工组织设计清扫机器人结构设计 前的准备工作和应收集的有关数据资料(业务员要求使用方提供的资料)1、该项目建厂地区的气象资料、周围大气污染的环境状况。(了解该项目在哪个地区,周围有什么建筑?)2、洁净室内生产工艺对净化空调的要求和必须收集的生产工艺的技术条件和有关数据、资料:①、洁净厂房内的生产工艺设备平面布置图和设备清单,以及工艺对吊顶高度的要求。(如果工艺平面需要我们设计,要问清楚生产工艺流程怎样?需要多少间洁净室,每个房间面积多大)②、工艺对洁净室内的洁净度、温度及精度、相对湿度及精度、正压、振动、噪声、照度、静电、屏蔽等要求,越具体越好。(要了解洁净室内要求洁净度是多少级?对温湿度、压差(正压或负压)有什么要求?)③、洁净室内生产工艺设备的产热量、产湿量、产尘量。各设备的安装功率、效率、热转化系数和同时使用系数等。(要求使用方提供设备的详细参数,功率、外形尺寸等)④、洁净室内生产工艺设备的局部排风量、排放气体的性质、成份、浓度和废气排放量以及废气治理 方法 快递客服问题件处理详细方法山木方法pdf计算方法pdf华与华方法下载八字理论方法下载 。(了解洁净室内的设备(如实验台、边台、洁净工作台、通风柜、生物安全柜)有没有需要排气以及废气治理方法)⑤、洁净室内生产运行的班次、运行规律、生产的最大班人数。(洁净室内有多少人在工作)3、洁净厂房的建筑和结构的情况和有关的数据。①、洁净室建筑的平面布置图、立面图、剖面图。各房间的分割、面积、名称、层高。(要求使用方提供电子版建筑图、水电以及原有空调图等)②、洁净室围护结构(墙、地、顶、门、窗等)的建筑材料以及其热工性能。(洁净室围护结构用哪种材料?哪个地方需要开门窗)③、建筑结构状况、结构的承载能力,尤其是旧建筑的改造项目结构的安全十分重要。(大型设备摆放的位置结构的承载能力能否满足,空调机(室内和室外机)的安装位置)4、向设计人员提供使用方联系方式,以便沟通。5、要了解使用方要我们设计和报价什么内容?设计图及报价能达到什么程度?6、总部和各个办事处如需要技术支持和设计图纸( 方案 气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载 图或施工图)及报价,各个部门需要怎样配合与分工,请陈总安排,谢谢!陈保卫2010-8-15
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