芯片生产线系统作业场所固有危险程度定性分析

作业场所固有危险程度定性分析过程一、芯片生产线各工序作业条件危险性评价依据芯片生产特点作业条件以及安全防护措施，对照生产作业条件危险性三项分数值 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf ，三项分数值之积得到本项目各工序作业条件危险性分数值，见下表1：表1　作业条件危险性评价表序号工序伤害类型LECD=L×E×C危险性等级1硅片清洗化学品灼烫1339稍有危险，或许可以接受中毒0.50.510050可能危险，需要注意火灾爆炸114040可能危险，需要注意2高温氧化、铂金扩散高温灼烫10.510.5稍有危险，或许可以接受中毒10.54020可能危险，需要注意火灾爆炸114040可能危险，需要注意3黄光处理火灾爆炸114040显著危险，需要整改中毒10.54020可能危险，需要注意4沉积中毒10.510050可能危险，需要注意化学品灼烫1236稍有危险，或许可以接受5吹砂打磨机械伤害10.510.5可能危险，需要注意噪声1616稍有危险，或许可以接受6蚀刻化学品灼烫1339稍有危险，或许可以接受中毒10.510050可能危险，需要注意本企业在生产过程中各操作岗位中毒伤害和火灾爆炸存在一定可能性，需要加强员工教育，防范安全事故的发生。二、主要单元及操作过程预先危险分析1、芯片生产过单元预先危险性本项目生产过程主要有硅片多次清洗、蚀刻、吹砂打磨、高温氧化、扩散、黄光处理、沉积、蒸镀、切割、检测等操作以及危险化学品、特种气体储存及供应系统等单元，因吹砂打磨、扩散、光刻、沉积、蒸镀、切割、检测等操作多数在自动化程度较高的生产线上进行，本节针对生产过程中涉及到的危险、有害因素进行了预先危险分析，分析结果见下表2，具体分析过程如下：表2　芯片生产线预先危险性分析表系统：芯片生产编号：1预先危险分析表制表单位：池州市弘泰安全技术事务有限责任公司事故阶段触发事件形成事故原因事故后果危险等级措施机械伤害机械设备运行或检修中人体进入运动机械危险部位1.传送带、风机、切割机等转动设备的运行中控制系统失灵，造成设备误动作。2.机械设备有故障不及时排除，设备带有故障运行。3.在检修和正常工作时，机器突然被别人随意启动；不具备操作机械素质的人员上岗或其他人乱动机械设备。4.在与机械相关联的不安全场所停留、休息；任意进入机械运行危险区域。5.违章操作，穿戴不符合安全规定的服装进行操作。人员伤亡Ⅱ1.加强安全教育，增强职工安全意识。2.严格遵守安全操作规程，严禁违章操作，在机械运行中禁止接触转动部分。3.机械转动部分的护栏要保持完好。4.持证上岗，禁止非操作人员开机。触电设备运行人体接触带电导体1．未穿戴合格的劳动防护用品。2．监护措施不力或没有监护。人员伤亡Ⅱ1.带电作业时要按规定办理工作票，并制订可靠的安全防护措施。2．做好监护工作。3．操作人员要穿戴好劳动防护用品，使用安全防护用具。4．操作时严格遵守安全操作规程，精心操作。物体打击设备运行高速物体1．在设备检修时，工具、备品配件在外力的作用下产生失落，打击人体，造成人身伤害事故。2．风动工具防护罩应完好无损。3．压缩空气管道气阀、开关必须完好无漏气。4．防松脱锁卡完好，可靠。5．违反操作规程用空气吹扫。人员伤亡Ⅱ1．登高作业时将工具、零配件等小物件放置牢固。2．超过基准面二米的钢平台护栏挡板设施应完好。3．手工进行作业时应抓牢 材料 关于××同志的政审材料调查表环保先进个人材料国家普通话测试材料农民专业合作社注销四查四问剖析材料 ，4．确保高速运转的设备防护罩完整。5．严格按风动工具操作规程进行作业。压力容器爆炸空气压缩超压1．储气罐本体缺陷，避厚不均、气孔、裂纹、严重锈蚀等缺陷，即使储气量仍在额定压力下工作，因其局部强度不够仍然会发生爆炸。2．储气罐超压，压力调节器操作失误或其中的卸荷管道等零部件出现故障（安全附件不全、失灵或安装不符合要求），压力超罐体强度极限就会发生爆炸。3．罐内积炭燃烧，因机械冲击、硬颗粒在运动时发生的冲击以及静电放电等产生的火花，或因冷却不良，润滑油耗量大，至使中间冷却器、油水分离器和储气罐积存大量油垢和碳化物，且未及时清理，因而发生燃烧爆炸。4．管道振动，使管与管之间或管与储气罐、阀门、冷却器之间的连接部位经受反复的振动应力，使管路系统受到附加疲劳载荷，会出现松动以致开裂现象，轻则产生泄漏，重则引起爆炸。5．误操作，违章作业，导致燃烧爆炸。人员伤亡Ⅲ1．采购具有压力容器设计、制造的厂家生产的设备，并具有安装资质的单位进行安装。2．设立储气罐内压力保护装置，一旦超压能自动断电。3．严格控制润滑油的用量，加强储气罐的清扫。4．尽量减少弯管、阀门和异径管，减少管道振动。5．严格执行各项规章 制度 关于办公室下班关闭电源制度矿山事故隐患举报和奖励制度制度下载人事管理制度doc盘点制度下载 ，精心操作，加强业务知识培训，提高员工操作技能。火灾爆炸丙酮、异丙醇等易燃液体、易燃气体硅烷遇明火1．作业场所及储存场所有人吸烟。2．雷击火花3．违章动火4．消防设施不齐全5．易燃气体泄漏积聚达到爆炸极限。人员伤亡和财产损失Ⅲ1．溶剂储存的仓库应通风。2．使用不发热电气设备，并确保牢靠。3．禁止使用明火，禁止违章动火。4．配置消火栓、灭火器等器材。5．安装可燃气体检测报警仪，并与通风设施联锁。中毒异丙醇、硅烷等有害物质泄漏1．违章操作2．作业面没有抽风设施或设施故障。3．没有戴劳动防护用品4．区域不通风员工伤亡Ⅲ1．有害气体使用具有资质生产单位生产的钢瓶储存。2．作业面抽风系统或洁净厂房设计。3．配戴合适的个体防护设备。4．安装有害气体检测报警仪，并与通风设施联锁。5．严格按操作规程操作。噪声设备运行高噪声设备未设置减振、降噪措施1.未戴个体护耳器①无个体护耳器②嫌麻烦不用护耳器③因故未戴2.护耳器无效①护耳器失效②选型不当③使用不当听力损伤、人员伤害Ⅱ1.采取隔声、吸声、消声等降噪措施2.设备减振、阻尼等装置3.佩戴适宜的护耳器4.尽量减少在噪声处不必要的停留时间高温灼烫　扩散、烧结作业人体接触热体没有隔离设施或隔离设施损坏。人员受伤Ⅱ1．严格安全操作规程，提高操作人员技术素质。2．加强培训教育，提高操作人员安全意识。化学品灼烫酸、碱等物料搬运清洗、蚀刻作业、酸、碱泼溅1．酸、碱等物料包装物破损；2．清洗过程中加酸、碱时泼溅；3、违章操作化学品泼溅；4、操作人员操作失误，未佩戴防护用品；搬运、使用等作业时不小心触及。人员受伤Ⅱ1．建议采用储罐储存大宗酸碱等强腐蚀性原料，采用泵入计量槽后按比例稀释。2．严格安全操作规程，杜绝将水直接倒入硫酸中。3．杜绝手工搬动包装桶倾倒方法进行稀释。4．移动式泵在包装桶间转换时，防止误接触泵体上的附着液。5．正确配戴防护服、防护手套、防护面罩等劳动防护用品。6．现场设置洗眼器、淋浴等应急设施。腐蚀清洗、蚀刻作业生产工序使用酸、碱等腐蚀性物料酸、碱液泼溅、酸雾等挥发1.未按规定要求储存、投料；2、未配备防酸碱手套及耐酸碱防护服。3、清洗槽或管线泄漏；4、清洗设备、阀、管线未选用耐腐蚀产品；5、防护用品无效a.防护用品失效b．选型不当c．使用不当造成人员伤害、设备腐蚀Ⅱ1、加强巡视检查，发现问题及时汇报处理；2、对泵、阀、管线等设备及其配套仪表做好日常保养和维护；3、加强安全技术和业务技能培训教育；4、配备相应的劳动防护用品。表3芯片生产单元预先危险性分析结果表序号主要危险、有害因素危险、有害程度等级备注1机械伤害Ⅱ临界的2触电Ⅱ临界的3物体打击Ⅱ临界的4压力容器爆炸III危险的5火灾、爆炸III危险的6中毒III危险的7噪声Ⅰ安全的8高温灼烫Ⅱ临界的9化学灼烫Ⅱ临界的10中毒和窒息III危险的10腐蚀Ⅱ临界的评价结果：通过对芯片生产单元进行预先危险分析，可以得知，该生产工序存在着机械伤害、物体打击、触电、压力容器爆炸、火灾、灼烫、中毒、噪声等危险、有害因素。其中压力容器爆炸、火灾危险、中毒等级为Ⅲ级(危险的)；机械伤害、物体打击、触电、噪声危险等级为Ⅱ级(临界的)。