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《薄膜技术》PPT课件薄膜技术任课教师:刘章生概述薄膜与厚膜的区别工艺上,厚膜电路一般采用丝网印刷工艺,薄膜电路采用的是真空蒸发、磁控溅射等工艺;厚度上,厚膜电路的膜厚一般大于10μm,薄膜的膜厚小于10μm,大多处于小于1μm.概述薄膜技术在电子封装中的应用:(1)生成UBM(underbarriermetal)層(2)薄膜电阻概述薄膜技术在电子封装中的应用:(3)薄膜基板(4)导线材料薄膜技术1.薄膜技术2.薄膜材料3.薄膜表征1.薄膜技术1.1溅射Plasma++++++++++++++HighVoltage+ArAr++posi...

《薄膜技术》PPT课件
薄膜技术任课教师:刘章生概述薄膜与厚膜的区别工艺上,厚膜电路一般采用丝网印刷工艺,薄膜电路采用的是真空蒸发、磁控溅射等工艺;厚度上,厚膜电路的膜厚一般大于10μm,薄膜的膜厚小于10μm,大多处于小于1μm.概述薄膜技术在电子封装中的应用:(1)生成UBM(underbarriermetal)層(2)薄膜电阻概述薄膜技术在电子封装中的应用:(3)薄膜基板(4)导线 材料 关于××同志的政审材料调查表环保先进个人材料国家普通话测试材料农民专业合作社注销四查四问剖析材料 薄膜技术1.薄膜技术2.薄膜材料3.薄膜 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 征1.薄膜技术1.1溅射Plasma++++++++++++++HighVoltage+ArAr++positive-negativeArTi/AuTargete-WaferAr+Ar+Ar+1.薄膜技术1.1溅射分类:直流溅射(DCsputteringdeposition)射频溅射(RFsputteringdeposition)双阴极溅射(dualcathodessputteringdeposition)三级溅射(triodesputteringdeposition)磁控溅射(magnetronsputteringdeposition)1.薄膜技术1.1溅镀高真空:增加粒子的平均自由程;增加靶材使用壽命.1.薄膜技术1.2蒸镀将被蒸镀物体加热(电阻丝或电子束),利用其在高温时所具有的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积.1.薄膜技术1.2蒸镀降低蒸镀温度;增加原子平均自由程;去除污染物如氧和氮.真空度(
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分类:其他高等教育
上传时间:2022-05-05
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