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“微纳电子技术”2008年第4期
专家论坛
187-提高多晶Si薄膜太阳电池转换效率的途径
纳米器件与技术
193-小尺寸超高频双极晶体管工艺及特性模拟
198-单电子晶体管的蒙特卡罗模拟及宏观建模
纳米 材料 关于××同志的政审材料调查表环保先进个人材料国家普通话测试材料农民专业合作社注销四查四问剖析材料 与结构
205-腐蚀法制备绒面ZnO透明导电薄膜
209-Bi2O3/TiO2纳米复合物的微波合成及光催化性质
MEMS器件与技术
214-基于MEMS技术的微波滤波器研究进展
219-新型三轴MEMS热对流加速度传感器的研究
显微、测量、微细加工技术与设备
222-纳米光刻对准 方法 快递客服问题件处理详细方法山木方法pdf计算方法pdf华与华方法下载八字理论方法下载 及其原理
231-变温腐蚀法制备纳米光纤探针
235-一维纳米结构的拉伸力学测试
240-Si 基GaN薄膜的制备方法及结构表征
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专家论坛
187-提高多晶Si薄膜太阳电池转换效率的途径
彭英才1，2， 姚国晓3， 马 蕾1， 王 侠1
（1. 河北大学 电子信息 工程 路基工程安全技术交底工程项目施工成本控制工程量增项单年度零星工程技术标正投影法基本原理 学院，河北 保定 071002；
2. 中国科学院 半导体研究所 半导体材料科学重点实验室，北京 100083；
3. 中国天威英利新能源有限公司，河北 保定 071051）
摘要：多晶Si薄膜对可见光进行有效地吸收、光照稳定性好、制作成本低，被公认为是高效率和低成本的光伏器件材料。以提高多晶Si薄膜太阳电池转换效率为主线，介绍了增大晶粒尺寸以增加载流子迁移率、进行表面和体内钝化以减少复合中心、设计p-I-n结构以增加光收集效率、制作绒面结构以提高对入射光的吸收效果、改进电池结构以谋求最大效率等工艺措施；综述了近5年来多晶Si薄膜电池在材料生长、结构制备和性能参数方面取得的最新进展，并对其发展前景做了预测。
关键词：多晶Si薄膜；大晶粒；氢钝化；p-I-n结构；太阳电池；转换效率
纳米器件与技术
193-小尺寸超高频双极晶体管工艺及特性模拟
赵守磊，李惠军，吴胜龙，刘 岩
（山东大学 孟堯微电子研发中心，济南 250100）
摘要：基于通信系统中射频电路设计的特殊要求，对小尺寸（基区宽度低于100 nm）、超高频（特征频率高于15 GHz）双极晶体管工艺制程和器件的物理特性进行了模拟，为工艺线流片进行可行性研究。该器件采用BiCMOS制程结构实现，在对小尺寸、超高频双极性器件物理模型进行详尽分析的基础上，实现了该器件工艺级（Sentaurus Process）及器件物理特性级（Sentaurus Device）的仿真，提出TCAD工艺及器件的一体化设计 方案 气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载 。模拟结果表明，在高频指标参数 17GHz下，所得β值接近于80，满足设计要求。
关键词：小尺寸；双极器件；频率特性；工艺仿真；特性模拟
198-单电子晶体管的蒙特卡罗模拟及宏观建模
孙海定，江建军
（华中科技大学 电子科学与技术系，武汉430074）
摘要：以单电子晶体管为研究对象，系统阐述了库仑阻塞、库仑台阶、单电子隧穿等物理现象的产生机理。微观模拟与宏观建模相结合,着重介绍了如何用蒙特卡罗方法和Matlab相结合对上述各种物理现象进行数值模拟,同时对单电子晶体管进行宏观电路等效,用一些常用元器件进行宏观建模。采用强大的模拟集成电路软件Hspice进行分析模拟,大大减少了计算及仿真时间。通过分析比较,两者曲线得到了较好的吻合,直观地反映了单电子晶体管的电学特性,为进一步研究复杂系统提供了理论依据。
关键词：单电子晶体管；单电子隧穿；库仑阻塞；库仑台阶；蒙特卡罗；Hspice
纳米材料与结构
205-腐蚀法制备绒面ZnO透明导电薄膜
刘佳宇，朱开宇，王文辕
（河北理工大学 信息学院，河北 唐山 063000）
摘要：利用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜。对平面ZnO薄膜进行短时间弱酸腐蚀，可以获得绒面效果的ZnO透明导电薄膜。分析了工作气压和衬底温度对薄膜绒面结构的影响，获得了适合薄膜太阳能电池的绒面ZnO透明导电薄膜。当压力控制在1.92 Pa左右，衬底温度150~170 ℃范围内沉积的薄膜具有最佳的绒面和较低的电阻率，电阻率可达5.57×10-4 Ω·cm，载流子浓度2.2×1020 cm-3，霍尔迁移率40.1 cm2/V·s,在可见光范围平均透过率超过85％。
关键词：中频脉冲溅射；绒面ZnO；透明导电膜；腐蚀；结构
209-Bi2O3/TiO2纳米复合物的微波合成及光催化性质
廖学红，王小佳
（黄冈师范学院 化学系，湖北 黄冈 438000）
摘要：以硝酸铋和硫酸钛为原料，通过直接投料微波辐射水解合成法制备了掺铋TiO
浙公网安备 33021202002483