电镀行业PVD工艺参数指导书

电镀行业PVD工艺参数指导书 作业指导书 PVD工艺参数指导书 文件编号 ZY- 文件版本 A/0 生效日期 第1页共7页 PVD工艺参数指导书 一、DELTA PVD SN色工艺 (铜合金) 1号机镀膜工艺(01DTCSN) 1、预热30~45min. -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-3.0×10Pa停温. ,、镀膜 15个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:8~15 SCCM. N:70~100 SCCM; 2????-1 5 真空1.5~2.8×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却5min。 2号机镀膜工艺(02DTCSN) 1、 预热30~45min。 -2OO2、 设定220C，达到210-220C，真空1.5-2.0×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:7~10SCCM.N:35 ~100 SCCM ; 2???? -15 真空1.2~2.0×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却5 min。 3号机镀膜工艺(03DTCSN) 1、预热30~45min. -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-2.0×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:2~4 SCCM.. N:20~60 SCCM. 2????-1 5 真空2.0~3.8×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却5min 4号机镀膜工艺(04DTCSN) 1、 热30~45min。 -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-2.0×10Pa停温. 3、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4 Ar:2~4 SCCM. N:12~40 2???? -1SCCM 5 真空1.5~3.8×10Pa;6沉积4min。 ?? 4、结束冷却5min 5号机镀膜工艺(05DTCSN) 1、预热25~35min. -2OO2、设定200C，达到190-200C，真空1.0~2.5×10Pa停温. 3、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~150A;4Ar:10~15 SCCM. N:60~110 SCCM. 2????-1 5 真空12-2.2×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却3min。 6号机镀膜工艺(06DTCSN) 1、预热25~35min. -2OO2、设定210C，达到200-210C，真空1.0~2.5×10Pa停温. ,、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~150A;4Ar10~15 SCCM. N:55~96 SCCM. 2????-1 5 真空1.3-2.2×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却3min。 作业指导书 PVD工艺参数指导书 文件编号 ZY- 文件版本 A/0 生效日期 第2页共7页 DELTA PVD SS色工艺(铜合金) 1号机镀膜工艺(01DTCSS) 1、预热30~45min. -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-3.0×10Pa停温. ,、镀膜 15个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:8~15 SCCM. N:70~100 SCCM. 2????-1 5 真空2.0~2.8×10Pa;6沉积16min。 ?? 4、结束冷却5min。 2号机镀膜工艺(02DTCSN) 1、预热30~45min. -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5~2.0×10Pa停温. ,、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:7~10 SCCM. N:35~100 SCCM; 2????-1 5 真空1.2-2.0×10Pa;6沉积16 min。 ?? 4、结束冷却5 min。 3号机镀膜工艺(03DTSN) 1、预热30~45min. -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5~2.5×10Pa停温. ,、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:2~4 SCCM. N:16~55 SCCM; 2????-1 5 真空1.6-3.8×10Pa;6沉积16 min。 ?? 4、结束冷却5 min。 4号机镀膜工艺(04DTCSN) 1、预热30~45min. -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5~2.5×10Pa停温. ,、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:2~4 SCCM. N:12~40SCCM; 2????-1 5 真空1.5-3.8×10Pa;6沉积16 min。 ?? 4、结束冷却5 min。 5号机镀膜工艺(05DTCSN) 1、预热25~35min. -2OO2、设定200C，达到190-200C，真空1.0~2.5×10Pa停温. ,、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~150A;4 Ar:10~15 SCCM. N:60~110 2????-1SCCM. 5 真空1.3-2.0×10Pa;6沉积16min。 ?? 4、结束冷却3min。 6号机镀膜工艺(06DTCSN) 1、预热25~35min. -2OO2、设定210C，达到200-210C，真空1.0~2.5×10Pa停温. ,、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~150A;4Ar10~15 SCCM. N:55~96 SCCM; 2????-1 5 真空1.3-2.2×10Pa;6沉积16min。 ?? 4、结束冷却3min。 作业指导书 PVD工艺参数指导书 文件编号 ZY- 文件版本 A/0 生效日期 第3页共7页 三、KOHLER PVD SN色工艺 1号机镀膜工艺(01KLCSN) 1、预热30~45min。 -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-3.0×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:8~15 SCCM. N:70~115 2???? -1SCCM 5 真空1.5~2.8×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却5min。 2号机镀膜工艺(02DTCSN) 1、预热30~45min。 -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-2.0×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:76~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:7~10 SCCM. N:45~110 SCCM; 2???? -1 5 真空1.2~2.0×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却5min。 3号机镀膜工艺(03DTCSN) 1、预热30~45min。 -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-1.8×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:76~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:2~4 SCCM. N16~60 SCCM; 2???? -1 5 真空1.6~3.8×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却5min。 4号机镀膜工艺(04DTCSN) 1、预热30~45min。 -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-2.5×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:2~4 SCCM. N:12~45SCCM; 2???? -1 5 真空1.5~3.8×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却5min。 5号机镀膜工艺(05DTCSN) 1、预热25~35min. -2OO2、设定200C，达到190-200C，真空1.0~2.5×10Pa停温. ,、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~150A;4Ar:10~15 SCCM. N:60-120SCCM; 2????-1 5 真空1.3-2.0×10Pa;6沉积4min。 ?? 4、结束冷却3min。 6号机镀膜工艺(06DTCSN) 1、预热25~35min. -2OO2、设定200C，达到190-200C，真空1.0~2.5×10Pa停温. ,、镀膜 作业指导书 PVD工艺参数指导书 文件编号 ZY- 文件版本 A/0 生效日期 第4页共7页 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~150A;4Ar:10~15 SCCM. N:55-116SCCM; 2????-1 5 真空1.3-2.2×10Pa;6沉积4min。 4、结束冷却3min。 ?? 四、KOHLER PVD BN色工艺 1号机镀膜工艺(01KLCBN) 1、预热30~45min. -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-3.0×10Pa停温. ,、镀膜 15个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar8~15 SCCM. N:70~95 SCCM; 2????-1 5 真空1.5~2.8×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却5min。 2号机镀膜工艺(02KLCBN) 1、预热30~45min。 -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-2.0×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:7~10 SCCM. N:45~100 SCCM; 2???? -1 5 真空1.2~2.0×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却5min。 3号机镀膜工艺(03KLCBN) 1、预热30~45min. -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-1.8×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar2~4 SCCM. N:16~55 SCCM; 2????-1 5 真空1.6~3.8×10Pa;6沉积4min。 ?? 4、结束冷却5min。 4号机镀膜工艺(04KLCBN) 1、预热30~45min。 -2OO2、设定220C，达到210-220C，真空1.5-1.8×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:76~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:2~4 SCCM. N:12~40 SCCM; 2???? -1 5 真空1.5~3.8×10Pa;6沉积4 min。 ?? 4、结束冷却5min。 5号机镀膜工艺(05KLCBN) 1、预热25~35min. -2OO2、设定200C，达到190-200C，真空1.0~2.5×10Pa停温. ,、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~150A;4Ar:10~15 SCCM. N:60-110 SCCM; 2????-1 5 真空1.3-2.0×10Pa;6沉积4min。 ?? 4、结束冷却3min。 6号机镀膜工艺(06KLCBN) 1、预热25~35min. -2OO2、设定200C，达到190-200C，真空1.0~2.5×10Pa停温. ,、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~150A;4Ar:10~15 SCCM. N:55-96 SCCM; 2???? 作业指导书 PVD工艺参数指导书 文件编号 ZY- 文件版本 A/0 生效日期 第5页共7页 -1 5 真空1.3-2.2×10Pa;6沉积4min。 ?? 4、结束冷却3min。 五、MOEN PVD SL色工艺 1号机镀膜工艺(01MOCSL) 1、预热30-45min. -2OO2、定246C，达到230-246C，真空1.5-3.0×10Pa停温. 3、镀膜 15个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar10~18 SCCM. N:110~180 SCCM; 2????-15 真空2.5~.3.8×10Pa;6沉积11min。 ?? 4、结束冷却5min。 2号机镀膜工艺(02MOCSL) 1、预热30~45min。 -2OO2、设定246C，达到230-246C，真空1.0-2.0×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:8~10 SCCM. N:80~165 2???? -1SCCM;5 真空1.8~2.8×10Pa;6沉积11min。 ?? 4、结束冷却5min。 3号机镀膜工艺(03MOCSL) 1、 预热30-45min. -2OO2、 设定246C，达到230-246C，真空1.4-2.0×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:3~4 SCCM. ???? -1 N:55~88 SCCM; 5真空2.2~4.6×10Pa;6沉积11min。 2?? 4、 结束冷却5min。 4号机镀膜工艺(04MOCSL) 1、预热30-55min. -2OO2、设定240C，达到235-246C，真空1.2-1.8×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~130A;4Ar:3~4 SCCM. ???? -1 N:55~135 SCCM; 5真空3.0~4.8×10Pa;6沉积11min。 2?? 4、结束冷却5min。 5号机镀膜工艺(05MOCSL) 1、预热25-35min. -2OO2、设定200C，达到190-200C，真空1.0-2.0×10Pa停温. ,、镀膜 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~150A;4Ar12~18 SCCM. N:120-175 SCCM; 2????-1 5 真空2.0-3.0×10Pa;6沉积11 min ?? 4、结束冷却3min。 6号机镀膜工艺(01MOCSL) 1、预热25-35min. -2OO2、设定210C，达到200-210C，真空1.5-2.0×10Pa停温. ,、镀膜 作业指导书 PVD工艺参数指导书 文件编号 ZY- 文件版本 A/0 生效日期 第6页共7页 14个,r靶;2,IAS:75~85V;3TARGENT:100~150A;4Ar12~18 SCCM .N:120-175 SCCM; 2????-1 5 真空2.0-3.2×10Pa;6沉积11 min。 ?? 4、结束冷却3min。 六、DELTA PVD VF 色工艺(铜合金) 1号机镀膜工艺(01DTZVF) 1、预热50-70min. -2OO2、设定260C，达到250-260C，真空1.0~2.5×10Pa停温. ,、镀膜 15个,r靶;2,IAS:80~120V;3TARGENT:100~130A;4 N:230~300 SCCM. 2????-1CH:28~55 SCCM;5 真空4.5~6.5×10Pa;6沉积4min。 22?? 4、结束冷却5min。 3号机镀膜工艺(03DTZVF) 1、预热50-70min. -3-2OO2、设定260C，达到250-260C，真空6.5×10-2.5×10Pa停温. ,、镀膜 1,个,r靶;2,IAS:80~120V;3TARGENT:100~130A;4 N:145~180 SCCM. 2???? -1 CH20~35 SCCM; 5 真空5.5~8.2×10Pa;6沉积4min。 22?? 4、 结束冷却5min。 七、DELTA SN色工艺 (锌合金) 5号机镀膜工艺(05DTZVF) 1、4个,r靶; 2、,IAS:75~85V; ,、TARGENT:100~150A; 4、Ar:10~13，N:85~130 2-15、1.3-1.8×10Pa; 6、4 min; O7、Temp:70~130C 8、结束冷却3min。 八、DELTA SS色 工艺(锌合金) 5号机镀膜工艺(05DTZVF) 1、4个,r靶; 2、,IAS:75~85V; ,、TARGENT:100-150A; 4、Ar10~13，N:85~130 2-15、 真空1.3-1.8×10Pa; 6、 沉积16 min; O7、 Temp:70-130C 8、结束冷却3min。 作业指导书 PVD工艺参数指导书 文件编号 ZY- 文件版本 A/0 生效日期 第7页共7页 附 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf :不同类型PVD对应工艺序号 DELTA SN DELTA SS KOHLER KOHLER DELTA MOEN SL SN BN VF 铜合金 锌合金 铜合金 锌合金 1 01DTCSN 01DTCSS 01KLCSN 01KLCBN 01MOCSL 01DTCVF 2 02DTCSN 02DTCSS 02KLCSN 02KLCBN 02MOCSL 3 03DTCSN 03DTCSS 03KLCSN 03KLCBN 03MOCSL 03DTCVF 4 04DTCSN 04DTCSS 04KLCSN 04KLCBN 04MOCSL 5 05DTCSN 05DTZSN 05DTCSS 05DTZSS 05KLCSN 05KLCBN 05MOCSL 6 06DTCSN 06DTCSS 06KLCSN 06KLCBN 06MOCSL 机号 客户缩写 合金类型 PVD种类 一,机号说明(2位):为PVD机的编号; 二,客户缩写(2位):为客户英文名字的缩写; 1 DT: DELTA 2 KL:KOHLEI 3 MO:MOEN 三,合金类型(1位):为基材的材质; 1 C:代表铜合金 2 Z:代表锌合金 四,,PVD种类(2位)不同种类PVD的英文简称. 批准 审核 编制