微电子工业用水水质
标准
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微电子工业水质标准
LED(TFT) 256K DRAM 1M DRAM 4M DRAM 16M DRAM 64M DRAM
- 线宽度(um) 1.4 - 1.8 0.8 - 1.0 0.4 - 0.6 0.2 - 0.3 0.1
电阻率 >18.0 >17.5 >18.0 >18.0 >18.1 >18.1 (Mohm,25?)
TOC(ppb) <20 <100 <30 <10 <3 <1 微粒(No./ml) (0.1μ) (0.2μ) (0.1μ) (0.05μ) (0.03μ) (0.03μ)
<10/ml <50/ml <10/ml <30/ml <10/ml <5/ml 细菌(CFU/ml) <1/100 <10/100 <1/100 <5/1000 <5/1000 <5/1000 溶解氧(ppb) <50 <100 <100 <50 <5 <3 二氧化硅(ppb) <5 <10 <5 <3 <1 <0.5
- - 硼(ppb) <2 0.05 0.05 0.05 钠(ppb) <0.1 <0.2 <0.1 <0.1 0.05 0.01 钾(ppb) <0.1 <0.3 <0.1 <0.1 0.05 0.02
锌 <0.05 <0.1 <0.05 <0.05 0.02 0.02
铁 <0.05 <0.05 <0.05 0.02 0.02
铜 <0.05 <0.05 <0.05 0.005 0.005
氯化物 <0.1 <0.2 <0.1 0.1 0.02 0.02
溴化物 <0.1 <0.1 0.05 0.02 0.02
硝酸盐 <0.1 <0.1 0.05 0.02 0.02
硫酸盐 0.1 <0.2 0.05 0.05 0.05
<0.3 0.1 0.05 0.05 0.05 不溶残渣