扩散介绍 潘

nullnullCentrotherm 扩 散 炉 简 介力诺光伏设备管理部 潘学兴null Add your text in here系统网络构架简介1 Add your text in here系统硬件介绍2 Add your text in here 典型单元器件介绍3null Add your text in here系统网络构架简介1null1.Loading box Add your text in here系统硬件介绍 23.Furnace 2.TGA 4.Gas cabinet null Add your text in hereLoading box2.1主要包括：动作单元：slider motor、paddle motor、lift motor horizon motor、cooling fans驱动单元：slider motor trigger、paddle motor DC trigger lift motor trigger、horizon motor trigger (RDC2)控制单元：paddle motor controller、远程I/O 、CMI 检测单元：光电传感器、接近开关、行程开关、编码器 其它单元：刹车电阻、storage、交流接触器 null Add your text in hereLoading box2.1主要作用：1.CMI操作界面 2.上料台 3.下料台 4.石英舟冷却暂存 5.石英舟进出炉管null Add your text in hereTGA2.2主要包括：动作单元：气缸、电磁阀驱动单元：中间继电器其它单元：CDA管道、CDA压力表、Cooling box 检测单元：光电传感器、行程开关null主要作用： Add your text in hereTGA2.21.控制炉门的开启/关闭 2.桨位置的监测 3.尾气及热量的排出 null Add your text in hereFurnace2.3主要包括：动作单元：电热丝驱动单元： RDIO(PWM)、固态继电器控制单元：TMM6(spike)、远程I/O 检测单元：热电偶、电流互感器、液位检测器 其它单元：交流接触器、Cooling box、switch(地址分配器) 开关电源、fuse、main power 、变压器 null Add your text in hereFurnace2.3主要作用：1.提供主电源、DC 24V 2.提供工艺环境 null Add your text in hereGas cabinet2.4主要包括：动作单元：气动阀、电磁阀、手动阀、减压阀驱动单元：中间继电器控制单元：CESAR、CMS、TMM6(internal)、MFC 、bubbler 检测单元：N2/O2/CDA流量计、 N2/O2/CDA压力表其它单元：switch(地址分配器)、UPSnull Add your text in hereFurnace2.3主要作用：1.提供磷源、N2、CDA、O2 2.提供备用电源 3.废气处理 4.主程序控制、报警系统null Add your text in here典型单元器件介绍 3主要包括：null Add your text in here执行器件 3.11.伺服电机： 伺服主要靠脉冲来定位，基本上可以这样理解，伺服电机接收到1个脉冲，就会旋转1个脉冲对应的角度，从而实现位移。 伺服电机下端会接在一个编码器上，编码器把伺服电机的转速转化成数字码值反馈给控制系统。从而构成了一个闭环控制系统，使得控制精度大大提高。 伺服电机接受到一个脉冲而产生的角度的大小，取决于伺服电机本身的性能。这个角度叫做步距角。null2.气缸： 将压缩气体的气体压力转化成机械能从而引导活塞在其中做直线往复运动的气动执行器。 Add your text in here执行器件3.1null3.电磁阀： 通过线圈通电吸合阀内腔体从而控制流体方向的电动执行器件。 Add your text in here执行器件 3.1null1.伺服驱动器： 伺服驱动器是用来控制伺服电机的一种控制器，其作用类似于变频器。 Add your text in here驱动器件 3.2交流直流交流三相整流桥整流三相PWM电压型逆变器null2. RDIO： 即PWM，它的作用就是将脉冲的占空比和频率，从而控制其他元件的通电与断电。 Add your text in here驱动器件 3.2null3. 固态继电器： 是由微电子电路，分立电子器件，电力电子功率器件组成的无触点开关。用隔离器件实现了控制端与负载端的隔离。 Add your text in here驱动器件 3.2null1. 行程开关： Add your text in here检测器件 3.3 又称限位开关，一般安装在相对静止的物体上，当有物体接近并压迫开关连杆时，开关连杆带动开关连接点动作。常闭断开，常开闭合。null2. 接近开关： Add your text in here检测器件3.3 又称无触点行程开关，它除了可以完成行程控制和限位保护外，还是一种非接触型的检测装置，用作检测零件尺寸和测速等。null 而光电开关克服了它们上述缺点，而且体积小、功能多、寿命长、 精度高、响应速度快、检测距离远以及抗光、电、磁干扰能力强。3. 光电开关： Add your text in here检测器件3.3 利用光电效应做成的开关，将发光器件与光电器件按一定的方向装在同一个检测头内，当有反光面接近时，光电器件接收到反射光时便输出信号。由此便可“感知”有物体接近。行程开关存在响应速度低、精度差、接触点容易损坏等缺点。普通接近开关存在作用距离短、不能直接接触非金属 材料 关于××同志的政审材料调查表环保先进个人材料国家普通话测试材料农民专业合作社注销四查四问剖析材料 等缺点。null Add your text in here检测器件3.34. 电流互感器： 电流互感器的工作原理是依据电磁感应原理的。电流互感器是由闭合的铁芯和绕组组成的。它的一次绕组匝数很少，串在需要测量的电流的线路中，二次绕组匝数比较多，串在测量仪表或保护回路中。null Add your text in here检测器件 3.35. 热电偶： 热电偶测温的基本原理是两种不同材质的导体组成闭合回路，当两端存在温度梯度值，回路中就会产生电势差。这个电势差我们称之为热电动势。通过测量这个电势的差值来达到测量温度的目的。null Add your text in here控制器件 3.41. CCC： 全称是 central control computer，普通的PC机配以组态或是其他软件，用来监控每一个下位机或从站的运行状态并读取其数据，达到中央控制的目的。null Add your text in here控制器件 3.42. CESAR： Siemens公司生产的一款工业控制计算机。与普通的PC机没 有太大的差别。工业计算机配以软件用来解决生产线或是工业应用 的控制问题。而且在其总线下可设置多个从站，构成一个DCS系统， 使得控制系统的稳定性有了很大的提高。null Add your text in here控制器件 3.43. CMS： CMS全称是central machine safety，本系统用的是德国倍福 (BECKHOFF)生产的CX系列的嵌入式PC。CMS的作用是保证整个 系统的安全运转，通过采集现场各种变量的实际值与系统中设置的 值相比较，若实际值在安全范围内，则系统正常运行。若实际值超 出安全范围则CMS会发出指令给工控机，令其停止运行。null Add your text in here控制器件 3.44. MFC： HORIBA 公司生产的一款气体质量流量控制器，质量流量计直接测 量通过流量计的气体的质量流量,还可测量气体的密度及间接测量气体的 温度。这些信号经过 MFC 处理 分析 定性数据统计分析pdf销售业绩分析模板建筑结构震害分析销售进度分析表京东商城竞争战略分析 后经总线传输发送到工控机上，工控 机通过程序比较作出进一步的控制动作，从而达到对气体流量的控制。null Add your text in here控制器件 3.45. TMM6： Centrotherm 公司生产的一款温度控制器，从现场采集的温度信号 经过 TMM6 处理分析后通过TMM6上的通讯口经过CANbus总线发送到 工控机上，从而达到对路内温度的精确控制。null Add your text in here控制器件 3.46. bubbler： 其作用是控制磷源瓶温度，并检测磷源瓶内POCl3的液位。传回给 CMS，当需要的液位过低时，CMS会通过这个检测做出动作。null Add your text in here控制器件 3.47. PLC： PLC全称是program logic controller，是现在工业控制中非常常见的控制器，它的优点是体积小，易维护。在逻辑控制中有着很大优势。null Add your text in here控制器件 3.47. PLC： 本系统用的PLC都是德国倍福(BECKHOFF)的产品，具体是用 来控制paddle和气体供给部分。其中paddle控制部分用的是BX系 列PLC——BX 5100，而特气供给部分用的是BC系列PLC——BC 5150， BX 5100 与BC 5150都是CAN总线通信的PLC，两者的不 同点仅是内存大小不同。BX 5100的内存是256KB，而BC 5150的 内存只有48KB。null Add your text in here控制器件 3.48. I/O： I/O是输入输出模块的简称，输入量通过输入模块传输给CPU进行处理，CPU处理分析后，经过输出模块输出。null Add your text in here控制器件 3.49. I/O： KL5xxx、 KL6xxx、 KL8xxx、 KL9xxx等模块是特殊功能模块。 例：KL9187是GND，KL9186是+24v电源，KL5010是串口通讯模块。null Add your text in here控制器件 3.410. 总线耦合器：EtherCAT, 实时以太网现场总线； Lightbus, 用于快速通讯； PROFIBUS DP/FMS 符合 EN 50170 欧洲标准； Interbus, 于1987 年进入市场； CANopen, 用于执行器/传感器领域的多主站总线； DeviceNet, 采用 CAN 技术的设备总线； ControlNet, 标准化现场总线； Modbus, 开放式现场总线； Fipio, WorldFIP 标准现场总线； CC-Link, 适用于亚洲市场的现场总线 SERCOS interface, 来自驱动工程领域的总线； RS232/RS485, 最经济的解决方案网络； Ethernet TCP/IP, 网络总线； Ethernet/IP, ODVA 的工业以太网解决方案； PROFINET, PROFINET，来自 PNO 的工业以太网解决方案。null Add your text in here其它器件 3.51. 刹车电阻： 大型电源设备，医疗设备，电力仪器设备等产品在使用中常需要 对一些产生的多余功率进行吸收。这里用到的大功率耗能的电阻就是 负载电阻。负载电阻由于其特殊作用又称为放电电阻，制动电阻，刹 车电阻，吸收电阻。 　　这类电阻功率大，一般为无感的功率电阻。无感值，超低感值是 对这类产品重要的要求，在吸收功率对多余电量放电的过程中，如果 电阻的电感值过大，则容易产生震荡，对回路中的其他元件，电源及 设备本身产生伤害，甚至直接烧坏内部许多器件。 null