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Channel5 Flamenco数据采集简要流程

Channel5 Flamenco数据采集简要流程Channel5数据采集简要流程（Flamenco）注：本流程仅是Flamenco的基本操作过程，详细参数设置请参阅相关说明书一．数据采集前的准备1.将制备好的样品适当装夹后，放入SEM样品室2.真空达到要求后，设置合理的加速电压、束流、倾斜校正（TiltCorrection）等电镜条件；选择适合EBSD分析的样品区域扫描得到样品图像。*注意：请务必先在视野中观察到样品，使得尺寸合适的样品处于电子束光轴下方3.打开EBSD控制器（ControlBox），按住控制手柄IN键将EBSD探头伸入样品室，到工程师校准数据文...

Channel5数据采集简要流程（Flamenco）注：本流程仅是Flamenco的基本操作过程，详细参数设置请参阅相关说明书一．数据采集前的准备1.将制备好的样品适当装夹后，放入SEM样品室2.真空达到要求后，设置合理的加速电压、束流、倾斜校正（TiltCorrection）等电镜条件；选择适合EBSD分析的样品区域扫描得到样品图像。*注意：请务必先在视野中观察到样品，使得尺寸合适的样品处于电子束光轴下方3.打开EBSD控制器（ControlBox），按住控制手柄IN键将EBSD探头伸入样品室，到工程师校准数据文件规定的位置为止。打开SEM的CCD相机观察探头位置（视电镜配置）。4.打开Flamenco软件，双击图标后，选择Profile，选择FullINCAIntegration…….选项，点击OK(Simulation选项只用作脱机处理或演示)二．标定设置1.使用Setup模块2.确定本底条件：在FrozenSEMImage窗口中点击stopspotmode，然后到LiveEBSP窗口中确认In-Softwareenhancement没有被选中，选择合理的Binning（常用2×2或4×4），Gain（常用high）和Timeperframe值（一般不大于100，如果调到100仍然背景不明显需要调大束流），得到合适亮度的本底。3.采集本底时常使用SEM低放大倍数（保证样品充满视野），快速扫描模式，使用AcquireNewBackground按钮4.导入合适的校准数据Calibration->LoadCalibration…..，校准数据通常保存于C:\CHANNEL5\Calibration\*.cal。5.选择标定备选相，使用ViewMatchUnits图标；或从菜单View->MatchUnits。在Phases窗口中点击Add―select。6.SEM切换到较大放大倍数（注意此时不应再改变样品台位置），在Image模块下采集一幅视野图像以备下面点扫描或面扫描定位用（注意刷新放大倍数得到正确标尺）7.菊池带标定：采用较慢扫描速度，并在FrozenSEMImage窗口中选择spotmode。使用右上角标定设置循环，依次为PositionBeam-SnapEBSP-Detectbands-Index。在点模式移动电子束条件下标定花样。8.优化校准参数：每点标定完成后，会停留在solution窗口中，左侧会显示标定结果和相应的标定偏差（MAD值），这时使用图标，或由Calibration->ProjectionParameters进入StatusofCalibration窗口，点击Refine键几次，直到MAD值不再减小为止。9.在同一视野中不同的位置检查标定的情况，如有必要，重复进行Refine过程，直到各点直接标定的MAD值都不大于1为止。以下即可以进行面扫描等数据采集工作，以最常用的面扫描为例三．AutoMatic采集设置（面扫描）1.选择AutoMatic模式2.在JobList窗口，选择NewJob图标3.定义采集区域和步长4.设置采集的参数，如标定用菊池带数量，采用带中心还是带边沿标定，NoiseReduction几祯平均来提高花样锐度等，但应注意不得改变Binning、Gain和Timeperframe值。5.选择AddJobtoList按钮，所定义任务即进入列表。6.点击Run按钮，开始采集。如没有其他操作，最小化Flamenco窗口。*注意：采集数据结束后请务必先退出EBSD探头Channel5数据采集常见问题（FAQ）1，打开Flamenco后在加载硬件及连接时出现错误“failedtoinitializeCameracontrol”？常见两个原因，没有打开控制器controlbox或者没有检测到控制器连接。解决方法是打开控制器电源，重新启动Flamenco。如果控制器已经打开，请先将探头缩回零位，关闭控制器电源，再重新依次打开控制器和软件。2，样品已经出现在电镜视野里，Binning和Gain的选项设置也合适，但是增加Timeperframe到很大（几百以上）也看不到本底光晕？可能以下几个原因，探头没有伸入到工作位置，工作距离太大或者电镜束流不够大。需要相应提高束斑尺寸或者换用更大的光阑。3，能够看到本底，但是看上去有些直边光影，而不是圆形的光晕？这是由于电镜样品室内部的可见光源没有关闭造成的，EBSD工作时必须关闭。如果没有电镜反控功能的话请手动关闭。4，能够看到本底光晕，但是本底一直在闪烁或者总有全黑的背景周期出现？这是因为电镜放大倍数较低，样品没有充满整个视野，电子束每祯总会有几行扫到样品外。增加放大倍数可以使本底稳定性明显改善。5，束流条件合适但是本底不明显，增大Timeperframe值到很大（如100-1000）才能看到一些竖条纹或含暗点的灰度图像？这是因为上次采集的本底没有消除，具体就是In-Softwareenhancement选项在观察本底时还处于选中状态。单击去掉勾选即可。6，点模式采集花样，花样质量很好很清晰，但是在detectbands步骤时没有选中任何菊池带？查看EBSPGeomerty窗口中红色方框（fieldofveiw）和绿色圆圈（areaofinterest）的位置，这时绿色圆圈可能已经缩小到边角。恢复默认条件下的红色方框和绿色圆圈最大化即可。7，点模式采集花样，花样质量很好很清晰，detectbands步骤也选中了合适的菊池带，但在接下来的index步骤无法标定出结果或者每个点标定偏差都很大（MAD值很高）？主要原因有两个，备选参考相同当前花样代表的相结构不符，即备选相不符，请添加备选相；标定校准文件选择不对，尤其是工作距离WD和实际样品所处工作距离不符，请重新选择校准文件。

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