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离子注入机磁分析系统(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利(10)申请公布号CN200959327Y(43)申请公布日2007.10.10(21)申请号CN200620012982.7(22)申请日2006.04.07(71)申请人北京中科信电子装备有限公司地址100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段(72)发明人孙雪平;郭健辉;田小海;文超(74)专利代理机构北京中海智圣知识产权代理有限公司代理人曾永珠(51)Int.CI权利要求说明书 说明书 幅图(54)发明名...

离子注入机磁分析系统
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利(10)申请公布号CN200959327Y(43)申请公布日2007.10.10(21)申请号CN200620012982.7(22)申请日2006.04.07(71)申请人北京中科信电子装备有限公司地址100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段(72)发明人孙雪平;郭健辉;田小海;文超(74)专利代理机构北京中海智圣知识产权代理有限公司代理人曾永珠(51)Int.CI权利要求说明书 说明书 幅图(54)发明名称(57)摘要本实用新型公开了一种离子注入机磁分析系统,包括电源控制器、大功率开关电源、霍尔放大器、霍尔探头和磁分析器,其中电源控制器将磁分析器所需的磁场数字信号转化成模拟信号送到大功率开关电源的磁场控制端,大功率开关电源接受控制信号后,输出一定的电压到此分析器,该电压在磁分析器上、下线包中产生一定的电流,并产生一定的磁场,置于分析器磁场中的霍尔探头检测到磁场,并转化为一个微小的电压量,经过霍尔放大器放大后送到大功率开关电源的比较端与磁场控制端设定的磁场量进行比较,大功率开关电源根据比较结果调整输出电压,使霍尔探头检测到的实际磁场与设定磁场一致。本实用新型产生的磁场稳定,使离子注入束流稳定性好及束流纯度高。法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态2007-10-10授权授权2009-09-23专利权的终止(未缴年费专利权终止)专利权的终止(未缴年费专利权终止)权利要求说明书离子注入机磁分析系统的权利要求说明书内容是....请下载后查看说明书离子注入机磁分析系统的说明书内容是....请下载后查看
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