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光波导的外延制备方法（19）中华人民共和国国家知识产权局（12）发明专利申请（10）申请公布号CN102213795A（43）申请公布日2011.10.12（21）申请号CN201110094997.8（22）申请日2011.04.15（71）申请人上海圭光科技有限公司地址200433上海市国定路335号2号楼1611室（72）发明人李冰;李小刚;王浙辉（74）专利代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司代理人龚燮英（51）Int.CIG02B6/13;权利要求说明书说明书幅图（54）发明名称（57）摘要本发明...

光波导的外延制备方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局（12）发明专利申请（10）申请公布号CN102213795A（43）申请公布日2011.10.12（21）申请号CN201110094997.8（22）申请日2011.04.15（71）申请人上海圭光科技有限公司地址200433上海市国定路335号2号楼1611室（72）发明人李冰;李小刚;王浙辉（74）专利代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司代理人龚燮英（51）Int.CIG02B6/13;权利要求说明书说明书幅图（54）发明名称（57）摘要本发明公开了光波导的外延制备方法，包括在所述脊上沉积硅岛。在一些实施例中，硅岛的制作可以采用选择性外延方法或常规外延方法。在一些实施例中，第二个硅岛在第一硅岛上沉积。在一些实施例中，多个硅岛分别采用不同的方法制作。法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态2011-10-12公开公开2011-11-30实质审查的生效实质审查的生效2014-07-30授权授权权利要求说明书光波导的外延制备方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看说明书光波导的外延制备方法的说明书内容是....请下载后查看

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