1.目的1.1 台阶仪可用于测量轮廓、台阶高度、膜厚,用于控制各种薄膜的生长工艺,是物理、
表
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面、材料、光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺、光盘沟槽的必备表征方法。1.2功能:台阶高度测试,表面粗糙度计算,应用:各种符合尺寸的薄膜样品均可测试。2.范围新能研发中心实验室3.责任实验室设备负责人,负责设备的使用及日常维护与点检并填写设备使用记录。4.操作
流程
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4.1 打开电脑,开台阶仪电源,等待10秒后打开操作软件。4.2 打开台阶仪保护盖,小心放入样品。4.3 点击Engage,观察样品与探针所在位置。4.4 点击Z将探针升起,将样品调到适当位置。4.5 点击Scan,进行扫描。4.6
分析
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数据。4.7 点击Z将探针升到顶端。4.8 取出样品,关闭保护盖。4.9 关闭操作软件,关闭台阶仪电源,关闭电脑。5.注意事项5.1 待测样品要经过严格的送样登记、测试、记录程序,不明样品不得测试。5.2 测试前,用洗耳球吹扫样品表面,把灰尘等东西从样品表面吹扫干净,保证样品的洁净度;吹扫时,洗耳球的尖端不能接触样品表面,防止破坏样品。5.3 接通电源,依次打开电脑开机按钮,显示器按钮,台阶仪电源按钮,要等待一定时间(约10秒)后,待数据信息接通后,将电脑桌面上的操作软件XP打开,不应马上打开软件进行测试。5.4 样品放置时,要保证样品在样品台上平稳放置,放置时要横平竖直,所要测试的台阶的位置靠近探针针尖的垂直位置。5.5 在探针降落到样品表面的过程中,先使用Engage按钮落针,此过程尽量不使用Z-。如探针距离样品很远,Engage使用弹出警告的情况下才使用Z-按钮;具体操作时,点击1-2下Z-键,再使用Engage按钮让探针下落。如果再次出现警告,则再点击Z-按钮,再使用Engage按钮落针,确保针尖安全。5.6 测试时,显示屏幕如果发现针尖位置的表面比较脏,如表面有很多不明的颗粒存在于样品表面,停止测试,待送样者把样品处理干净后再作测试。5.7 断电时,UPS自动启动,此时将探针升到顶端,取出样品,关上保护盖,关闭台阶仪电源,关闭电脑。5.8 台阶仪在使用的过程中,需作定期校准,为保证测试的准确性,暂时定为一周校准一次。5.9 清洁样品台无异物、赃物。5.10擦拭台阶仪外壳表面无灰尘,用洗耳球对探针进行吹扫。5.11探针针头是否完整,有无歪斜、探针脱落。5.12台阶仪主机与电脑连接是否完好,各连接线是否处在连接位置。5.13样品台是否整洁,有无明显异物。5.14台阶仪的校准。5.14.1正常开机打开台阶仪拿出校样
标准
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件。5.14.2对做出的数据对照标准数据是否一致。6.设备日常维护点检按照《实验室设备周点检表》中的项目进行检查。7 相关记录《实验室设备周点检表》拟制: 审核: 批准: 附图:台阶仪操作
流程图
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