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拉晶工艺流程直拉单晶操作规程拉晶工艺流程包含拆炉清炉清理石墨件装炉抽闲冲氩气熔硅料引晶放肩转肩投自动等径扫尾停炉1.拆炉:准备好不锈钢推车,(车面保持洁净)专用擦试布,无水乙醇及相应的工具。先拧开副室门螺丝,翻开副室氩气阀门充气,待真空表压力到零地点时,炉内外气压均衡,开启副室门,把晶棒升至副室内,升起副室炉筒,转副室炉筒时一定把托盘移至副室以下,防备晶棒零落.而后旋转副室移至取晶框上,稳固晶棒后,快降晶体至取晶框内.待晶棒与接晶框落稳后,而后带手套抓住细颈稍带点力向下攥,用钳子把细颈剪断,再慢慢松细颈...

拉晶工艺流程
直拉单晶操作规程拉晶工艺流程包含拆炉清炉清理石墨件装炉抽闲冲氩气熔硅料引晶放肩转肩投自动等径扫尾停炉1.拆炉:准备好不锈钢推车,(车面保持洁净)专用擦试布,无水乙醇及相应的工具。先拧开副室门螺丝,翻开副室氩气阀门充气,待真空 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 压力到零地点时,炉内外气压均衡,开启副室门,把晶棒升至副室内,升起副室炉筒,转副室炉筒时一定把托盘移至副室以下,防备晶棒零落.而后旋转副室移至取晶框上,稳固晶棒后,快降晶体至取晶框内.待晶棒与接晶框落稳后,而后带手套抓住细颈稍带点力向下攥,用钳子把细颈剪断,再慢慢松细颈,直至钢丝绳搞正完整消逝(防备钢丝绳转圈致使钢丝绳开叉),查察一下钢丝绳能否完满,如开叉或断股要剪掉一段,必需时需改换新钢丝绳。检查重锤表面能否有氧化层,若有,一定用细砂纸打磨洁净,而后带好专用手套拿出导流筒,保温盖,三瓣埚,石墨托盘,托杆,送至清石墨件房,待自然冷却后进行清理,特别注意托杆上有无硅点状况,(防备没有清理洁净,与托杆护套摩擦在拉晶过程中液面颤动.)2.清炉与清石墨件:清理炉子的副室炉筒,小副室,炉盖,炉筒,用长纤维纸,酒精把以上部位所有擦抹洁净,做到长纤维纸擦抹事后无污迹。每炉必清排气口,免得造成排气口拥塞,挥发物过多;用吸尘器吸洁净保温罩与加热器上下的挥发物,吸净碳毡上的毡毛。需保证在晶体的生长过程中尽量防止不起毛,无挥发物等杂质进入猜中。清理石墨件的时候一定注意察看石墨埚的厚度,能不可以达到要求,能否有裂纹等。把石墨件上的挥发物与一些杂质清理洁净。若石墨件上溅有硅料,应用什锦挫或细沙布打磨除掉,必需时用砂轮机打磨。注意:清理石墨件的时候一定注意轻拿轻放,防备造成内裂!3.装炉:安装石墨件时各部位应互相符合坚固,发现异样实时进行修正,翻开埚转,察看石墨埚转动能否安稳,周围与加热器的间距能否均匀,检查取光孔能否瞄准,检查与钢丝绳软轴能否有异样。装炉应按其程序 规范 编程规范下载gsp规范下载钢格栅规范下载警徽规范下载建设厅规范下载 操作:原料准备检查石英坩埚翻开原料袋去掉外层塑料袋,而后准备装炉。炉古人员一定检查查对所装炉的原料与母合金,能否正确无误。检查石英埚,保证无大批气泡群,无损害,内表面无黑点,若有异样,表记清楚,由大班长确认后方可改换。把石墨件按序次装入炉内,穿好防尘服,戴好防尘帽,戴上棉手套与两层一次性手套,用氩气吹一下石英坩埚内壁后装入石墨埚内,再用蘸有少许酒精的纤维纸擦抹洁净,给上埚转,察看坩埚能否水平,保证水平的状况下才能装炉。装料时一定轻拿轻放,先在底部平铺一些小硅料,而后把一些大块的料轻放在中间,再把一些小料放在大块料的中间,填大料空隙。防止小料与坩埚接触面积过大,这样简单造成料粘埚边上致使石英埚变形。把硅料装好后,再把导流筒用蘸有酒精的纤维纸擦抹一遍。给上埚转后把埚降至化料埚位。而后装入导流筒,防止与硅料直接接触。检查无误后安装籽晶,将地点摆正,插好销子,稍使劲往下拽,免得籽晶与钼销因未接触而悬空,同时每炉检查钢丝绳能否老化。擦净主炉室,副炉室,小副室的密封圈面,而后合上炉盖与副室,稳固籽晶后关上副室门。4.抽闲:翻开真空泵,迟缓的翻开球阀,听抽气时的声音,等炉内压力降落到0.05Pa时再完整翻开球阀。5.冲氩气:在抽闲过程中须导入几次氩气,这样使抽闲的时间减短。能够带走炉内的湿度。6.熔硅料:在加热以前一定先充氩气,而后再加热,一档功率为25KW左右,待过半个小时后把功率升至二档50KW左右,再过半个小时后把功率升至三档化硅功率80KW进行化硅(京仪的为85KW)。总合分三次加上。适合的时候给点埚转,让其平均受热。化料的过程中要注意挂边现象,同时注意塌料时不要撞歪导流筒。化料时,若有杂质飘荡或近期原料不好时,一定将最后一块料提出,而后挥发半小时。整个化料过程中一定注意功率的变化与电流的变化。7.引晶:在引晶前一定将籽晶在脖口处和导流筒下口处罚别预热5-10分钟。而后接触。除新籽晶外,已用过籽晶用细径试温,熔接(对每台炉的功率变化,欧陆变化,操作工内心要有底)细径籽晶的直径在5mm以上,引的细颈直径控制在3-5mm长度原理上是细径的7-8倍,但太阳能行业中广泛细颈需达到130mm以上。引晶时的拉速达到3-6mm/min。这样才能更好的清除位错。8.放肩:引晶达成后拉速降至0.4左右,放肩开始要慢,依据放肩情况进行降温,放肩时尽量放平肩,时间控制在1--2小时。放至149mm左右时开始转肩。9.转肩投自动:先察看依尔根可否正常压到光圈。确立转肩后,降温100-200uv,转肩速度2-4mm/min(依据实质操作状况),转肩中适合的给点埚升,投入自动,拉速依据状况而投。压好光圈,计长清零,翻开埚升埚跟比,先投温校,稳固些时间后,再投直径控制器。转肩达成后,需注意察看十几分钟,让其稳固。等径:每半个小时做一次记录,常常察看炉内的状态,不可以使直径误差过大。应实时赐予调整温校。掉苞时依据实质操作状况,该回熔的把埚位降至引晶埚位下20mm处进行回熔操作,假如晶棒长度达到400mm以上或因提肩许多或拉制时间过长的单晶长度在300mm左右应提A段,,以2mm/min左右的拉速提A段,整个行程为3-3.5小时。而后盖上翻板阀,在内冷却半小时。而后拿出A段棒从头拉制。假如在范围之内,回熔时一定操作工盯在炉上,回熔时需注意防备晶体回熔过快戳在石英坩埚底部防止产生渗硅事故;或许温度过高在回完的时候惹起硅跳,把料溅到导流筒,保温罩,加热器上的事故发生。回熔完后从头找温度与埚位从头引晶。11.扫尾:在等径达到投料所需的长度时,须要扫尾,将直径与温校控制器退出自控,切入自动扫尾。但操作工一定在刚开始扫尾时盯住,依据现场状况给温校速率,给定拉速。在扫尾过程中是看着光圈扫尾。当光圈收进时应降底拉速,当光圈长大时应提高拉速。同时也察看能否有结晶与料少的状况。(埚跟比分两种方式降:1,直接将埚跟比降到零;2,分两次降到零,第一次降50%,收到50mm此后再降到零。)12.停炉:扫尾达成后,降埚位,使晶体离开液面20mm左右,关加热电源,停埚转,把控制器上的参数返回到引晶前的参数。而后以2.5-3mm/min拉速提高晶体,慢慢离开高温区.4个小时后进行热检,抽闲到极限,关球阀检漏.泄露率小于3分钟1帕。13.下次开炉准备:察看记录表,对每个零件的使用炉数做到内心有数,拆炉后须仔细检查;对过滤罐与换油的记录做到此次拆炉能否需要过滤罐与换油,保证做到过滤罐每炉清,换油6炉换一次。14.大清:在拉晶过程中会产生挥发物过多,经过一段时间事后就一定要对设施进行大清一次,在清理的过程中一定要清理夹头,重锤,与炉子内部的石墨系统。清理挥发物,改换损坏石墨件,有时需要改换碳毡。检查各个传动部份及电器零件,实时保护养护。15.记录:以上每个步骤操作工一定做好详尽记录,并仔细填写好操作记录,以便于查找一些问题。[此文档可自行编写改正,若有侵权请见告删除,感谢您的支持,我们会努力把内容做得更好]可编写范本
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