《无尘室用材料》PPT课件

《无尘室用材料》PPT课件無塵室用材料表8.2　公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數目（美國聯邦標準USFederalStandard209E）圖8.1　空氣淨化系統圖8.2　HEPA過濾器的概略圖圖8.3　以雷射測試ULPA過濾器的效率圖8.4　以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖圖8.5　粒子捕集的方法圖8.6　空氣過濾器之捕集效率圖8.7　三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器(續)圖8.7　三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器圖8.8　真...

無塵室用材料表8.2　公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數目（美國聯邦標準USFederalStandard209E）圖8.1　空氣淨化系統圖8.2　HEPA過濾器的概略圖圖8.3　以雷射測試ULPA過濾器的效率圖8.4　以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖圖8.5　粒子捕集的方法圖8.6　空氣過濾器之捕集效率圖8.7　三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器(續)圖8.7　三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器圖8.8　真空泵的分類圖8.9　擴散泵圖8.10　路茲泵的概路圖圖8.11　路茲泵的抽氣原理圖8.12　渦輪分子泵圖8.13　冷凍式幫浦圖8.14　氣體的平衡蒸氣壓圖8.15　空氣壓縮機的概略圖圖8.16　空氣乾燥機的概略圖圖8.17　安全輸送系統圖8.18　(a)西貝克效應，(b)皮爾第效應圖8.19　機械式（壓縮式）冷凍系統之作用原理

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