扫描电镜nullJSM6460-LV扫描电子显微镜的使用JSM6460-LV扫描电子显微镜的使用1-270Pa扫描电镜及能谱仪的应用扫描电镜及能谱仪的应用表面形貌立体观察;
断裂等失效分析;
非金属夹杂物,杂质等不导电材料的分析
微区成分定量分析,无损检测;
薄膜或渗层元素含量变化INCA x-sight;
材料中各相的分布及元素偏析;
对试样晶界.沉淀物,析出相等显微组织分析扫描电镜的特点扫描电镜的特点图象分辨率高(理论上可达3nm）；
放大倍数连续调节的范围广10×～20000×；
景深大、视场宽，图象富有立体感；
试...
nullJSM6460-LV扫描电子显微镜的使用JSM6460-LV扫描电子显微镜的使用1-270Pa扫描电镜及能谱仪的应用扫描电镜及能谱仪的应用表面形貌立体观察;
断裂等失效分析;
非金属夹杂物,杂质等不导电材料的分析
微区成分定量分析,无损检测;
薄膜或渗层元素含量变化INCA x-sight;
材料中各相的分布及元素偏析;
对试样晶界.沉淀物,析出相等显微组织分析扫描电镜的特点扫描电镜的特点图象分辨率高(理论上可达3nm）；
放大倍数连续调节的范围广10×～20000×；
景深大、视场宽，图象富有立体感；
试样制备简单，可直接观察断口原貌图象；
可同时进行表面形貌立体观察SEM、微区成份定量分析EDS或晶体缺陷探测EBSD扫描电镜的基本结构扫描电镜的基本结构第一部分：电子光学系统
包括电子枪，电磁聚光镜，扫描线圈，物镜，样品台和真空系统
第二部分：信号检测放大系统
包括二次电子探测器，视频放大器，显象管等 原理图 原理图原理图2原理图2 SEM/EDS检测对试样的要求 SEM/EDS检测对试样的要求1、样品尺寸大于射线扩展范围；一般在Φ30*30之内；
2、在真空和电子束轰击下稳定；
3、形貌观察试样表面应清洁，无污染；
4、组织分析试样一般应经过抛光并腐蚀。
5、试样一般要求导电性良好，对不导电的样品应对其进行喷金处理；
扫描电镜的操作步骤扫描电镜的操作步骤1 .先打开总电源（依次再开循环水电源、主机电源ON、计算机电源），
2. 双击SEM图标进入程序，进入sample窗口，单击VENT键放气
3. 将准备好的样品用导电胶粘贴在样品台上，打开样品仓安放样品，然后关闭仓门
4. 在sample窗口中单击EVAC键抽真空，进stage窗口，将样品台移动到合适位置（工作距离为10~20之间）
5. 打开高压（通常选择20KV），选择视场，调焦，适当调节放大倍数和亮度及对比度，开始观察
6，如需打能谱，则需打开能谱仪电源，进入INCA程序s1s1 图象显示窗口s2s2null能谱仪的结构null图象分辨率－Resolution
通常设置的值小于电子图象分辨率 (如256)
采集时间－Acquisition time
通常是直到按“停止键”结束(“Until Stopped”) (否则，需要事先计算需要多少时间采集，以获得足够的统计计数量)
处理时间－Process time
通常可以设置小于5，以获得高计数率和好的统计效果，但是自动谱峰标定误差相应会增加INCA软件的参数设置e1e1e2e2e3e3e4e4e5e5e6e6韧性与脆性断口特征的比较： 韧性与脆性断口特征的比较： w1w1颗粒包覆复合材料颗粒包覆复合材料w4w4氧化铝粉体团聚结构实验要求实验要求１‘ 根据扫描原理了解电镜各部分的功能及用途；
２‘ 按照操作步骤了解每步操作的目的和控制的部位，
３’ 按规定顺序进行扫描电镜的基本操作；
4’ 对扫描图象和能谱仪检测结果作基本分析．
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