第4节能谱与波普

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nullnull能谱仪波谱仪null第一节特征X射线nullnullnull第二节能谱仪（EDS）null脉冲整形器液体氮前置放大器主放大器多道分析器ＦＥＴＳｉ（Ｌｉ）检测器窗口平行光管电子束样品ＥＤＸ原理図Ｘ射线nullnull点分析null面分析null·注意事项 1.重叠峰的 2.逃逸峰 nullCrKαCrKβMnKαFeKαFeKβCoKαNiKαCrKβEDS峰的重叠null第三节波谱仪nullnullWDX原理図入射电子样品分光晶体检测器nullnullnullnullnullEDX的矿物扫描图象AlSinullEPMA的矿物扫描图象nullＥＤＳ的优点ＷＤＳ的优点在二次电子像观察条件下分析主成分的快速判定多元素同时检测准确定量分析微量成分分析

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