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INTEGRATED_TEST_CELL_USING_ACTIVE_THERMAL_INTERPOSER_(ATI)_WITH_PARALLEL_SOCKET_ACTUATIONUS20210396801A1(19)UnitedStates(12)PatentApplicationPublication(lo)Pub.No.:US2021/0396801AlRANGANATHANetal.(43)Pub.Date:Dec.23,2021(54)INTEGRATEDTESTCELLUSINGACTIVEPublicationClassificationTHERMALINTERPOSER(ATI)WITH(51)Int.Cl.PARALLELSOCKETACTUATIONGOIR31/28(2...

INTEGRATED_TEST_CELL_USING_ACTIVE_THERMAL_INTERPOSER_(ATI)_WITH_PARALLEL_SOCKET_ACTUATION
US20210396801A1(19)UnitedStates(12)PatentApplicationPublication(lo)Pub.No.:US2021/0396801AlRANGANATHANetal.(43)Pub.Date:Dec.23,2021(54)INTEGRATEDTESTCELLUSINGACTIVEPublicationClassificationTHERMALINTERPOSER(ATI)WITH(51)Int.Cl.PARALLELSOCKETACTUATIONGOIR31/28(2006.01)GOIR31/317(2006.01)(71)Applicant:ADVANTESTTESTSOLUTIONS,GOIR31/319(2006.01)INC.,SanJose,CA(US)(52)U.S.Cl.(72)Inventors:KarthlkRANGANATHAN,SanJose,CPC....GOIR31/2844(2013.01);GOIR31/2863CA(US);GregoryCRUZAN,San(2013.01);GOIR31/31905(2013.01);GOIRJose,CA(US);SamerKABBANI,San31/2877(2013.01);GOIR31/31713(2013.01);Jose,CA(US);GilbertoOSEGUERA,GOIR31/2875(2013.01)SanJose,CA(US);RohanGUPTE,SanJose,CA(US);Homayoun(57)ABSTRACTREZAI,SanJose,CA(US);KennethSANTIAGO,SanJose,CA(US);MarcGHAZVINI,SanJose,CA(US)Atestingapparatuscomprisesatestinterfaceboardcom­prisingapluralityofsocketinterfaceboards,whereineach(21)Appl.No.:16/986,037socketinterfaceboardcomprises:a)anopensockettoholdaDUT;b)adiscreteactivethermalinterposercomprising(22)Filed:Aug.5,2020thermalpropertiesandoperabletomakethermalcontactwiththeDUT;c)asuperstructureoperabletocontaintheRelatedU.S.ApplicationDatadiscreteactivethermalinterposer;andd)anactuation(60)ProvisionalapplicationNo.63/042,359,filedonJun.mechanismoperabletoprovideacontactforcetobringthe22,2020.discreteactivethermalinterposerincontactwiththeDUT.BottomViewofstackupPatentApplicationPnblicationDec.23,2021Sheet1of9US2021/0396801AlPatentApplicationPnblicationDec.23,2021Sheet2of9US2021/0396801AlO!c-lex
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