电镀药水化验操作
规范
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制作单位:品保部
文件编号:QY-QA3009-05
制作日期:2010/01/20
版 本 号:D1
总 页 数:第05-1页 共10页
工序
槽名体积
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
化学沉铜线
P
T
H
清洁1线886L2线820L
C D-210
0.16-0.24N
1次/班
(1)取5ml槽液加入250ml锥形瓶中加50ml纯水及甲酚
红指示剂用0.1N盐酸滴至绿黄为终点体积为V (2)计算:CD-210(N)=0.2*N*V (3)补加:CD-210(L)=(0.20-测)*0.263V槽
微蚀 1线886L 2线900L
SPS
65-95g/l
3次/班
(1) 取样品2ml加DI水50ml、10% H2SO4 10ml,用移液管取100g/l(NH4)2Fe(SO4)210ml.
(2)用0.1N KMnO4滴定至浅红色为终点,滴定毫升数A. (3)取DI水代替样品,重复上述步骤,滴定毫升数为B. (4)计算:SPS(g/l)=5.95(B-A) (5)补加:SPS(kg)=(80-测)*V槽/1000
H2SO4
2.0-3.0%
(1) 取样品2ml加DI水50ml,加入甲基橙指示剂3-4滴. 用0.5NNaOH标液滴定至黄色即为终点.滴定毫升数为V.
(2)计算H2SO4(%)=1.33NV% (3)补加:H2SO4(L)=(2.5-测)*V槽/100
Cu2+
≤25g/l
(1)取样品2ml加入DI水50ml, 加入20ml PH=10的缓冲液, 加PAN指示剂2-3滴用0.05N EDTA-2Na滴至黄色即为终点. (2)计算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2
微蚀速率
30-50U"
1次/班
(1) 取a×bcm的覆铜基板经酸性除油水洗在120℃烘干30分钟,冷却称重W1.
(2) 经微蚀槽(与流程微蚀槽时间一样)水洗,吹干在120℃烘干30分钟,冷却称重W2.
(3)计算:U"=(W1-W2)*106/(2ab*8.92*2.54)
电镀药水化验操作规范
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制作日期:2010/01/20
版 本 号:D1
总 页 数:第05-2页 共10页
工序
槽名
体积
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
化学沉铜线
P
T
H
化 学 铜 (1线2000L 2线2526L)
Cu2+
1.8-2.2g/l
3次/班
(1) 取试样20ml于锥形瓶中,加入20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸钠至淡黄色,加10%KSCN 20ml加数滴淀粉并用0.1N硫代硫酸钠滴至白色为终点,体积为V。
(2)计算:Cu2+(g/l)=3.175*N*V .
(3)补加:EC-251A(L)=(2-测)*26.67
NaOH
8-10g/l
(1) 取试样5ml加50mlDI水以0.1N HCl滴至PH=10.5,滴定毫升数为A,加10ml 10% Na2SO3用0.1N HCl 滴至PH=10.5滴定数为B
(2)计算:NaOH(g/l)=8*A*N HCHO(g/l)=6*B*N (3)补加:EC-251B(L)=(9-测值)*6.67 EC-251C(L)=(6-测值)*8.33
HCHO
5-7g/l
络合剂
>0.05N
(1) 取5ml槽液放入锥形瓶中加0.2gMX指示剂摇匀用0.01N硫酸铜标液滴至绿色为终点
(2)计算:络合剂(N)=0.002v+0.0158Cu2+
(3)补加:EC-251M(L)=(0.06-测)*2667
沉积
速率
0.4-0.6μm
1次/班
(1) 将a×b的无铜基板按化铜正常流程走出后,将试验板放入250ml烧杯中,加20ml PH=10缓冲液和7-8滴H2O2,加50mlDI水和5滴PAN指示剂用0.05N EDTA滴定至苹果绿为终点.滴定数为V.
(2)沉积厚度(μm )=635NV/(2ab*8.92)
除 胶 渣
总锰
60-70g/l
1次/班
(1) 取1ml槽液于250ml锥形瓶中,加50mLDI水,加入10mL 20% KI和10ml 50% HNO3
(2) 用0.1N Na2S2O3 滴至淡黄色加1%淀粉指示剂5-6滴,再用0.1N Na2S2O3滴至无色,记下一共所需毫升数.
(3)计算:Mn(g/l)=31.6NV
(4)补加:KMnO4(kg)=(65-测值)*V/1000
水化验操作规范
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制作日期:2010/01/20
版 本 号:D1
总 页 数:第05-3页 共10页
工序
槽名(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
化学沉铜线
P
T
H
除 胶 渣 ( 1线1800L 2线2616L)
六价锰
<20g/l
1次/班
(1) 取1ml槽液定容至1000ml容量瓶中,以纯水作参比,用玻璃比色皿取样.读取波长为540、610nm时的吸光度为A、B。
(2) 计算:Mn6+(g/l)=147.3B-13.6A
(3) 计算:Mn7+(g/l)=85.7A-170.1B
七价锰
35-55g/l
NaOH
35-45g/l
(1) 取试样1ml,加50mlDI水于250ml烧杯中。
(2) 以0.1N盐酸滴至PH=10.5为终点.
(3) 计算:NaOH(g/L)=40NV
(4) 补加:NaOH(L)=(40-测)*V/400
除胶渣速率
20-50mg/dm2
(1) 取a×bcm的双面板无铜基板,在120℃烘烤30分钟, 冷却称重为W1(g).
(2) 将上述基板从膨润走至中和槽水洗吹干在120℃下烘烤30min,冷却称重为W2(g).
(3) 计算:结果=(W1-W2)*100000/ab
中 和 (1线886L 2线820L)
Nu-121
90-110ml/l
1次/班
(1) 取槽液2ml加50mlDI水加入10ml20%的硫酸,加热至60℃,用0.1N KMnO4滴定至淡红色为终点,滴定数为V.
(2) 计算:Nu-121(ml/l)=74NV (3) 补加:Nu-121(ml)=(100-测)*V槽
H+
1.8-2.2N
(1) 取2mL槽液于250mL锥形瓶中加50mLDI水及3-4滴酚酞指示剂.
(2) 用0.5N的氢氧化钠滴至红色为终点,滴定体积为V。
(3) 计算:〔 H+〕(N)=0.5NV (4) 补加:H2SO4(L)=(2.0-测值)* V槽/18.4
膨润 1线886L 2线820L
SW-110
35-45%
1次/班
(1)取槽液数滴于旋光光度计内,直接读数A. (2)计算:SW-110(%)=1.43A (3)补加:SW-110(L)=(40-测)*V槽∕100
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版 本 号:D1
总 页 数:第05-4页 共10页
工序
槽名(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
化
学
沉
铜
P
T
H
预浸
1线886L
2线820L
PD-221B
0.58-0.78N
1次/班
(1)取试样2ml,加50mlDI水,加2-4滴PP指示剂以0.5N NaOH滴至红色滴定数为V.
(2)计算:PD-221B(N)=0.5NV (3)补加:PD-221B(L) =(0.68-测)*V槽*70/680
活化
1线886L
2线900L
PD-221B
0.68-1.08N
1次/班
同上
Pd2+
50-60ppm
(1)取5ml活化槽液,至100ml容量瓶中,加纯硝酸少许,解胶至澄清为止,加纯水定容到刻度,摇匀,用AA机测,读数为a.
(2)计算:Pd2+(ppm)=20*a.
添加公式:CA-230( L )=(中値-测値)*V槽/1500
比重
>1.145
用量程为1.1-1.2的比重计测,直接读数.
速化
1线886L
2线900L
AL-242B
0.9-1.3%
1次/班
(1)取加速槽液5mL于锥形瓶中加入50mL水加入6N盐酸25mL,加入20%碘化钾10ml用0.1N硫代硫酸钠标液滴定至黄色, 加入淀粉指示剂继续滴至无色为终点。
(2)计算:AL-242B(%)=1.2NV%
(3)补加:AL-242B(L)=(1.2%-测)*V槽
PH
8.75-9.25
用PH计直接测量
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制作日期:2010/01/20
版 本 号:D1
总 页 数:第05-5页 共10页
工序
槽名(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
脉 冲 电 镀 线
铜槽
1500L
H2SO4
210-230g/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线铜槽硫酸
CuSO4.5H2O
60-80g/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线硫酸铜
CL-
55-85ppm
1次/3天
计算与分析方法同一铜线CL-
光剂
3-5mL/L
1次/周
计算与分析方法同一铜线光剂
哈氏试验
1次/周
电流2A ,记时5min,由赫尔槽打哈氏片判定,哈氏看板三个月一换
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
酸洗700L
H2SO4
9-11%
1次/3天
计算与分析方法同一铜线酸洗
脱铜
600L
HNO3
300-500mL/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线脱铜
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制作单位:品保部
文件编号:QY-QA3009-05
制作日期:2010/01/20
版 本 号:D1
总 页 数:第05-6页 共10页
工序
槽名(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
填 孔 电 镀 线
铜槽
H2SO4
210-230g/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线铜槽硫酸
CuSO4.5H2O
60-80g/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线硫酸铜
CL-
55-85ppm
1次/3天
计算与分析方法同一铜线CL-
光剂
2.5-6.5mL/L
1次/周
计算与分析方法同一铜线光剂
润湿剂
7-11mL/L
1次/周
1) 用 8mL/L的润湿液作标准曲线并保存
2) 把槽液放在吸管下,把VMS液放在电极下,按分析即可,记录数据
整平剂
6-10mL/L
1次/周
1) 作整平剂曲线并保存
2) 用50mL的含LEVER标准液作INTERCEPT,再加入50mL槽液,并加光剂(6-光剂测值)/20毫升,润湿剂 (25-润湿测值)/20毫升,按分析即可,记录数据
哈氏试验
1次/周
电流2A ,记时5min,由赫尔槽打哈氏片判定,哈氏看板三个月一换
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
预浸
预浸剂
9-11%
1次/周
1) 用75mL的INTERCEPT标准液作空白
2) 加入25mL的预浸槽液按分析即可,记录数据
酸洗
H2SO4
9-11%
1次/3天
计算与分析方法同一铜线酸洗
脱铜
HNO3
300-500mL/L
1次/3天
计算与分析方法同一铜线脱铜
电镀药水化验操作规范
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文件编号:QY-QA3009-05
制作日期:2010/01/20
版 本 号:D1
总 页 数:第05-7页 共10页
工序
槽名
(体积)
分析项目
控制范围
分析频率
分析方法及计算公式
一 次 电 镀 铜 1# 线
电 镀 铜 槽 (12000L)
H2SO4
200-240g/l
1次/3天
(1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH标准液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V .
(2) 计算:H2SO4=49*N*V
(3) 补加:H2SO4=(220-测)*7.9
CuSO4·5H2O
55-75g/l
(1) 取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶
液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示
剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴
定毫升数为V
(2) 计算: CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V.
(3)补加: CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*5.5
Cl-
40-80ppm
(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加
入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较
(2)重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液.
(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到
清晰,清晰度与此液比较核实.
(4)计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-测)*14.5
哈氏试验
1次/周
电流2A ,记时5min,由赫尔槽打哈氏片判定,哈氏看板三个月一换
光剂含量
1-3mL/L
1次/周
由CVS仪直接测定
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
脱铜
(2800L)
HNO3
300-500ml/l
1次/3天
(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V.
(2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N
(3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000
酸洗
(1600L)
H2SO4
6-8%
同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析
养板槽(1000L)
H2SO4
0.5-1.0%
1次/班
同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析
电镀药水化验操作规范
制作单位:品保部
文件编号:QY-QA3009-05
制作日期:2010/01/20
版 本 号:D1
总 页 数:第05-8页 共10页
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