微传感器与微机电系统 - 浙江大学信息与电子工程学系
浙江大学新开课程申请表
课程编号: 课程 英文 MicroSensor and MicroElectrical 微传感器与微机电系统
名称 名称 Mechanical System 课程 职务/信电系《微机原理与接口技术》课
沈相国
负责人 职称 程组长，高工
联系
电子信箱 SHENXG@ZJU.EDU.CN 87951705
电话
所在单位 信息学院信电系微电子(所)
研究学科
电子科学与技术，微电子
/方向
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课程设置 公共基础课程、学科基础课程、专业基础课程、专业选修课程、公共选修类别课程( 人文科学、 社会科学、 自然科学、 工程技术、 艺术、语言、体育)
必修/专业选修开课起06年秋或周学时- 学分 2
选修 课程 始时间 冬学期
职称教授: 副教授: 讲师: 助教: 师资队伍
学位博士: 硕士: 学士:
结构
年龄50岁以上 : , 36-49岁: 35岁以下:
教材:《硅微机械传感器》，
天津大学出版，张维新等编著的《半导体传感器》 参考书: 教 材 名 称[美]格雷戈里T.A.科瓦奇著，张文栋等译《微传感器与微执行器全书》，推荐科学出版社，2003年
教材
出版社及 中国宇航出版社出版，2003年9月或参出版年月
考书
主 编 M.Elwenspoek,R.wiegerink 著; 陶家渠，李应选等译
1
预修课程 半导体物理、固体物理、微电子学基础
信电系电子科学与技春 ?夏 ?
术专业微电子、光电
开课 每班容纳 面向对象 子专业本科生以及光60,120人 秋 ?冬 ?
学期 人 数
电系、电机系、生物秋冬均可
系部分学科的本科生
教学方式 采用多媒体方式授课，布置适量作业
中文简介:传感器、通信和计算机技术是构成现代信息技术系统的三大支
柱。微传感器和微机电系统是现代信息技术系统中异军突起的一个新兴科技
领域。其中半导体传感器以其种类多、功能全，能够实现微型化、集成化、
多功能化、智能化的独特优势，成为当代微传感器研究的主流方向。微机电
系统结合微电子技术与传统的机械加工技术，开辟了微传感微执行器研究的
新方向。
课程简介
英文简介:Sensors, communications and computers are essential pillar elements
(限
in modern Informationt Technology. MicroSensor and MicroElectrical 100--150
Mechanical System is a rapid developing branch of mordern ITs. With the 字)
development of the sensor minimization, integration and intelligentization,
Semiconductor microsener leads to the future of the sensor. Based on IC and
MEMS technology, MicroSensor and MicroElectrical Mechanical System
pioneer the study of Microsensor and Actuator.
对微电子、光电子及相关专业的本科生开设本课程，是为了让学生熟悉教学目的
和基本要多学科交叉的新型微传感器及微机电系统的相关知识，了解该前沿领域
求 的发展现状和趋势，为将来开展相应方向的课题研究打下必要的基础。
本课程原是对电子科学与技术方向(微电子与光电子专业)硕士研究生
开设的课程。由于微传感器和微机电技术的高速发展，成为微电子专业和光
电子专业以及微机械专业等多个学科、专业学生必须了解掌握的一门新兴专相关教学业知识。加上新近微电子所与光电子所合并成微电子与光电子研究所，对微环节安排 电子、光电子专业本科生开设本课程已经非常迫切、必要。
课程
内容
财务内部控制制度的内容财务内部控制制度的内容人员招聘与配置的内容项目成本控制的内容消防安全演练内容
在原硕士生课程的内容上作适当增删，减少部分微传感器内容，
加入一些基础知识和技术背景的介绍。
2
第一章 微传感器与微机电系统概述 2学时
第二章 微机械加工工艺基础 6学时 主要内容第三章 半导体微传感器及基本原理 8学时
第四章 力学及机械量测量原理 4学时 及学时分
第五章 力学量微传感器 6学时 配
第六章 流体及谐振传感器 4学时
第七章 电子电路接口封装技术 4学时 考试方式 采取课程设计的方式，要求选课的学生自己查阅文献资料，完成一项微及要求 传感器或微机电器件的课程设计任务。
由于本课程介绍的内容涉及微电子、微机械、微传感等多个交叉学科，有何建 因此本课程也适合作为电机系研究微机电系统方向、生物系的微型生物传感议和要求 方向、光科系的半导体光学传感器方向等专业学生的选修课程。
系意见
教学系主任签字:
年 月 日
学 院 意 见 (公章) 教学院长签字:
年 月 日
教务部
审 核
意 见 负责人签字:
年 月 日
3
4
浙公网安备 33021202002483