洁净室(区)空气洁净度等级表

洁净室(区)空气洁净度等级表洁净室（区）空气洁净级别表洁净度级别尘粒最大允许数/立方米 ≥0.5μm尘粒数 ≥5μm尘粒数微生物最大允许数浮游菌/立方米沉降菌/皿 100级 3,500 0 5 1 10,000级 350，000 2，000 100 3 100，000级 3，500，000 20，000 500 10 300，000级 10，500，000 60，000 1000 15 ISO14644-1（国际标准）空气洁净 ...

洁净室（区）空气洁净级别表洁净度级别尘粒最大允许数/立方米 ≥0.5μm尘粒数 ≥5μm尘粒数微生物最大允许数浮游菌/立方米沉降菌/皿 100级 3,500 0 5 1 10,000级 350，000 2，000 100 3 100，000级 3，500，000 20，000 500 10 300，000级 10，500，000 60，000 1000 15 ISO14644-1（国际MATCH_ word _1713983994934_0）空气洁净度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米） 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1.0um 5.0um ISO Class1 10 2 ISO Class2 100 24 10 4 ISO Class3 1,000 237 102 35 8 ISO Class4 10,000 2,370 1,020 352 83 ISO Class5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29 ISO Class6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 ISO Class7 352,000 83,200 2,930 ISO Class8 3,520,000 832,000 29,300 ISO Class9 35,200,000 8,320,000 293,000 注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平各国洁净度等级近似对照表个/M≥0.5um ISO 14644-1 US 209E(1992) US 209D(1988) EEC cGMP(1989) FRANCE AFNOR(1981) GERMANY VDI 2083(1990) JAPAN JAOA(1989) 1 - - - - - - - 3.5 2 - - - - 0 2 10.0 - M1 - - - - - 35.3 3 M1.5 1 - - 1 3 100 - M2 - - - - - 353 4 M2.5 10 - - 2 4 1,000 - M3 - - - - - 3,530 5 M3.5 100 A+B 4,000 3 5 10,000 - M4 - - - - - 35,300 6 M4.5 1,000 1,000 - 4 6 100,000 - M5 - - - - - 353,000 7 M5.5 10,000 C 400,000 5 7 1,000,000 - M6 - - - - - 3,530,000 8 M6.5 100,000 D 4,000,000 6 8 10,000,000 - M7 - - - - - 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级空气洁净度等级(N) 大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3) 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um 1 10 2 2 100 24 10 4 3 1000 237 102 35 8 4（十级） 10000 2370 1020 352 83 5（百级） 100000 23700 10200 3520 832 29 6（千级） 1000000 237000 102000 35200 8320 293 7（万级） 352000 83200 2930 8（十万级） 3520000 832000 29300 9（一百万级） 35200000 8320000 293000

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