基于严格电磁场模型的光学光刻仿真_英文_

基于严格电磁场模型的光学光刻仿真_英文_ ,,:,:,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,:,,, ,, , ,:,:,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,:, ,,,, ， ， ， ’,,,,,,:,:,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,, ,，，，,,,,,,:,,,:,:,,,,:,,,,,,,:,, ,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,::,,,,,,, ,,, ,,,,, , ,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,, ,,,,,)),)，,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,:,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,, ，,, ,,,,,,:,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,:,:,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,, ,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,, ,:,:,,,,,, ，,,,,,,,:,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,:,:,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,, ，,,,,,,,,,,,,,,,, ,:,,:,::,,:,:,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,, ,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,, , , , , ,,,,:,,,,,,,:,,,,,,,,,,:),,,,,,:),,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,) , ,,:,,,:,:,,,,,, , , , ,,,,::,:,,,,,,,,,,,,,,,,:,,) , , ,, ,,,,,,,,,,:,:,,:,:,,,,,,,:,,,,:,,:,,,,,,,,,,,,:,,,:,:,,,:, ，,,:,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,,:,,:,,,,:,,,,,,,,,:,,,,,,,, ,,,,,,,,,, ,,,,,,,, ,,,:,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,, ,,, ), ,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,:,,,,,,,:,,,,:,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,,,:,,,,,,, ,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,, ,,,,,,,, ,,) ，，，,,:,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,:,,,,:,,,,,,,:,,,,,:,,,,,:,,,:,,,,:,,,,,,,,,, ，,,,,,,,:,,,,,,,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,:,,:,,,,,,,:,,,,,,,,,,:,,,,,:, ,,,,, ,,,,,,, ,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,, ,,)),,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,:,:,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,，，,,, ,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,:,,,,,,,,,,:,,,,,,,, ,,,,,, ,:,,,,,: ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,:,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,:,:,,,,,,,,,,:,,) ,,,, ，，,,,,,,,, ,,,,:,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,:,,,,,,, :,,,,,: :,,,,, ,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,, ,,,,),,,,,,:,,,:,:,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,) ,,,,,,,,,,,,,,,:,, ,,,,,，，), :,,,,:,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,, ,, ,,,,:,,,,， ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,,,,:,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,, :,,,,,,,,, ,,:,:,,, ,, :,,,,:,,, ,:, ,,,,,,,,,, ,,, ，:,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,:, ,,,, ，,, ,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,:,,,,, ,,,,,,,,,, ,,,, ， :,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, , ,,,:, , ,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,:,,,,,,:,:,,,,, ,,, ，,,,,,,,,,,,,,,,,, ,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,, ,,,, ,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,:,) ,, ,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,:,,, ,:,,, ， ,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,, ,, ,, ,,,,,,,,,,,,,:,,:,,,,,,,,,,,,,,,:,,,:,: )))),,, ,,—,，,:,,,,,,:,,,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,:,,,,,,,:,,,,,,,,:,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,，，,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,:,,,,,:,,,,:,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,:,,,,,,:,, ,:,,,,:,,,,,,,,:,:,:,:,,,,,,:,,,,,,,,,—,，，,,,,:,,,,:,,,,,,,, ,,,,:,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,, :,,,:,), 强激光与粒子束 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,) ，，,,,,:,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,, ,,,,,,, ,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,:,,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,,,,,,,:, , :,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,:,,,, ,,,,:,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,, ,,, ,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,:,,,,,:,, ,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,, ， ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,, , ,,, ,,, ,,, ,, ,,,, , ,,,,, ,, ,, , , ,,,,,, ,,, , ,,,,,,′,,,,,, , ,, ,, ,,,, ,,, , ，，,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,:,,:,, :,,, : , : ,,,,,,,, ,,, , , , ,,,,′,: : : , ,, , ,,,:,,,, ,, ,, ,,,,,,′,: : : , ,,′，,，,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,::,,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,,,:,, ,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ，,，,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,:,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,:,, ,, ,,,,,:,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,::,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,, , ,,,,,,,,:,, ，,,,,:,,,,,,,,,,,,:,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,:,,,,,,:,,,,,,,:,,, ),,,, ,:,:,,,,,,,:,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,:,,:,:,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,) ,，? ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,: ,, ,,,,,,,, ,,,,,,,:,,:,,,,,,,,,,,,,,,:,，，,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,:,,,:,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, μμ,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,:: ,,,:,,,,:,,,:,,,, ，μ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,, ,,:,,,,:,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,:, ,,,μ,,,,,,,,,: ,,,,, ,:,,:,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:, ,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,, ，,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,::,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,, ,,, ,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,) ,,,,,, ，，:,,,:,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,:,,:,,,,,,,,,,,,,,, ,, ，,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,:,,,,:,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,, ，,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,，，,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,) ,,,μ ,,，) ,,,,,,,,:,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ，,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,:,, :, ，,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, :,,,:,,) ，,,,,,,,,,,,,,:,:,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,:,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,:, ,,,,,,, ，,,,,,,, ,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,, , :,,:,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,:,,,,,,, ,,,,,, ,,，，,,,,,,,,,, ,,,,,,,, ,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,, ，, ,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,μμ,,,,,,,,,,,,,,:, ,,,:,,,,,,,,,,,,,,:,,,, ,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,:,, ,,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,:, , μ ,，,,,,,, ,:,,:,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:, ,,,,,,,,,,,,,:, ,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,, μμ , ,,,,,,, ,,, ,, ,:,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,:,:,,,,,,,,:,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,) ,,, ，:,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,, ,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,:,,, ,:,,,,,,,, ),,, ,,, ， ， ，,,,,,,,:,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,, ,,,,:,, ,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:, ,,,,:,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,) ,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,:,,,,,:,,,,:,,,,, ,,,,,,,,, , ,,,,,,,,,, ,, ，,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,:,:,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,, ,,:,,,,,,,,,,:::,,,,) ,, ，，,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,:,:,,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,,,,:,:,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,:,:,::,,:,,,,,),,,,, ，，,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,) ,, ，,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,:,:,,,,, ,,,,,,,::,,,,,,,, ,, ，，，,,,,,,,,,,,,,,,,ü,,,,,,,,:,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,:,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,:,:,,,,,,,::,,,,,,,, :,,::,, ,, ，,,，，,,,,,,,,, ,,,,:,,,,:,,:,,,,,:,,,,,,,,,:,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,::,,:,,, ,,,,,,,::,:,:,,,,,,,),) ,, ,,,，，,:,,:,,,,,:,,,,,,,,,:,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,:,:,::,,:,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,::,,,:,) :,,,:,), 强激光与粒子束 ,, ,,,,，,:,,,,,,,,,:,,,,,:,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,:,,,,,,,,,,,:,:,,,,,,,,,,,,:,,,:,,,, ,,,,,) ,, ，，,,,,,,,, ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,:,:,,,,,,,,,,,:,,,,,,,:,:,,,,:,,,:,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,) ，，,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,) ,, ，，，,,,,,,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,:,:,,,,,,:,,,:,,,,,,,:,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,:,,,,:,:,,,,,,,::,,,, :,,,,,, 基于严格电磁场模型的光学光刻仿真 ， ， ， 王 飞 周再 发 李伟 华 黄 庆安 ,东 南 大 学 教育部重点实验室 ，南 京 ,,,,,,,::,, ,,,,,。 摘 要 光学光刻技术已广泛应用于微电子机械系统 以及 集 成 电 路 领域 由于光刻工艺设备的价格十分 昂 ,,,,,, ，。 贵 因此利用光刻仿真这一技术来预期工艺结果并优化工艺中存在的问题就显得很有必要 研究了一种基于严格 电 磁 场 模 型 的 求解 方 法— ——波 导 方 法 ， 并将此方法拓展应用于模拟 领域中的厚胶曝光场景 。通 过 这一 模 型 ，可 以模 拟光刻胶内部的 光 ,,,, ，。 ，，。强分 布 并进一步预测出显影后的光刻胶形貌 最后 针对某些特定掩模版结构 给出它们的仿真结果并验证其正确性 ,,,,,关 键词 光刻 微电子机械系统 波导 光强 分 布 光刻 胶 :,,,:,),