[硕博论文][光学]聚合物阵列波导光栅波分复用器的研制

[硕博论文][光学]聚合物阵列波导光栅波分复用器的研制 聚合物阵列波导光栅波分复用器的研制 张国伟 ( 光学) 指导老师:鄂 书 关于书的成语关于读书的排比句社区图书漂流公约怎么写关于读书的小报汉书pdf 林副研究员 摘要 波分复用技术是光纤通信发展重要的技术之一，该技术已经被证明是解决宽带、大容量光纤网络通信的一种有效方法。密集型波分复用技术的关键器件之一 , ) 它具有波长间隔小、是阵列波导光栅(,,， 低串 信道数多、 扰等特点，而且利于集成。与无机阵列波导光栅相比较，硅基聚合物阵列波导光栅制作材料便宜，工艺过程简单，具有一定的市场前景。本论文采用旋转甩涂法，真空蒸镀技术， , , 硅基聚合物阵列波导光栅波紫外曝光技术以及反应离子刻蚀技术研制了 , , ,分复用器， ( ,,, ， , (, 其中心波长为 ,,,,, 波长间隔为, , 。针对硅基聚合物阵列波导光栅波分复用器研制的关键技术和性能测试，所做的工作如下: ( 采用聚甲 ，) 醋 ,, ) 基丙烯酸甲 (, , 材料，对器件的制作工艺进行了反复摸索。为了克服反应离子刻蚀过程中单独使用光刻胶作掩膜而导致的光波导形状和尺寸偏离 设计 领导形象设计圆作业设计ao工艺污水处理厂设计附属工程施工组织设计清扫机器人结构设计 的缺点， 研究了光刻胶与金属掩膜相结合的双掩膜技术进行器件制作。 详细介绍了双掩膜技术制备聚合物 , ,,波分复用器的过程， 在采用金属铝作为掩膜时， 铝膜的厚度对聚合物波导的制作效果有很大影响， 实验结果 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 明， ,,铝膜作为掩膜的最佳厚度在 ,,, 左右。测试给出了使用和没有使用双掩膜技术的对比结果， 表明使用双掩膜技术制作的波导质量明显好于单独使用光刻胶作掩膜制作的结果。 ,) , , )制作了 , 通 ( 采用聚醚醚酮 (, , , ,,波分复用器。采用蒸汽回溶技术来减小道的 , 反应离子刻蚀产生的波导表面和侧壁的起伏， 从而降低了波导的散射损耗。 原子力显微镜测试结果表明， 蒸汽回溶技术使样本波导表面的均方根粗 , ,, , , ,, ,糙度从 , ( ,,降低到 ,( ,,, ,) ( 搭建了,,,器件性能参数的测试系统。对制作的聚合物 ,,,波分复用 ,器器件进行了测试，得到了, 个输出波长及其光强分布曲线图。关键词:聚合物阵列波导光栅;双掩膜技术;蒸汽回溶技术;测试 ,, , ,, , , , ,, ,, , ,, , ,,; , , ,, , ,, , , ,, ,, ,,, ,,, , , ,,, ,,, ,,,,, ,, , , , , ,, ,, , , ) ,, , ; , , ,, ,,( ,, ,, , , ,,( ,, ,; , ,, , ,, , , , , , , ,,, ,,,, , , , ,, , ,, , , , , ,, ,,, ,, , ,, , , , , , , , , ,, , , , , , , , , , , , , ; , , , ,, , ,, , , , , ( ,) , ,,, , ,, , , , , , , , ,,， ,, ,,, ,; , , , , , , , ,, ,, ;, ;, , , , , , , , , , , ;, ,, ,, ,;,, , ,,,, ,, ,,, , ,,, ; ,,, , , , , , , ,, , , , , , , ,, ,, , , (,, , , , , , , , , , , , , , , , ;, , , , ,,, ( , ,, , ,,, , ,, ) , , , , , , , ,, , , ,, , , , , , , , , , , , , , , , (, , ,, , ，,, , ,, ,,, , , ， , , , ,,, , ,, , ,;, ,,, ,,,; , ,, ,,, , , ,, ,,， , ,, , ,,,, ， , , ,, , ,,, ， ; , , , ,, , , ， ; , , ,; , , , 己 , , ;,,, , , , , , , , , , , , , ,, , ,, , ( , , , , , ,, , , , , , , ,, , , ,,, , , ,？ ,, , , ,, , ,;,, ,,;, ,, , , , ,, , , , , ,, , , , , ,, , , , , ,, , , , , ( , , ， , , , , ,, , , , ; , , , , , , ; , , , , , , , , ,; , ,, , , ,, ,, ， , ,,, ,, , , ,, , , , , , , , , , , , , ;, , ,, , , , ,,,, , , ,, , , ,, , , , ,？ , ; , ,, , , ,, , , ,, , , , , , , , , , ( , , , , , ,, ,, ,; , ( , , , , , , , , , ,, , ; , , , , ; , , , ; , , , , , , ,, , ,,, , , , ， ,, ,, , , , , ,, , ;,, , , , , , , , ,, ;, , ,,, ， , , , ,, , , , ,,, , , , , , ,, , ,, , , , , , , , , ,, ;,,， ,, ,, , ,,, , ,, , ,, ;, ， ,;, , , , ,,, , , , ,, , , , , , ,,,, , ,, ,,: ( , , , , , , , , , , ; ,,, , , ,;, ,,,, ,, , , , , , , , , ,, ,, , , ,, , , , , , ,, ,, , , , ) , ; , , , , , , , , , , , ,, , , , ( , , ,,, , ;, , , , ,, ,, ,; ,,, , ,, ( , , , , , , , , , ,, , , , , , , , ,,, , , , , ; , , , , , , , ;, , , , , ,, , , , , , , , , ;, ,,, , , , , , , , , , , ,, , , , , , ,, , ,, , ,,, , , , , , , , ,, , , , , ,( ,,, ,, , ,, , ,, , , , , , , , , ,, , , , , , ,, , , , , , ;,, , , , , , , ( , , , ,, , ,, , , ,, , , , , , , , , , , , , , , , , , , ,, ,,, ,, ,, ,, , , , , , ,, ( , , , , , , , , , , , ,, ,,, , , , , , , , , ,, , ,, ;, , , ,, ,, ,, , , ,, ( ( , , ,, , ,, ) ,, , ,, ,,,, , ,;, ,, ,, ,; ,,, , , , , , ,, , , , , , , ,, , , , , , , , , , , , ,, , , , , , , , , , , , , ,, , , , , , , ;,, , , , ,, , ; , , , , ,, , , ( , , , , , , ,, , , , , , , , ,,, , , , , , , , , , ,,(户 , , , ,, , ,, , ,, ,, ,,, ,,, , , , , ; , , , , , , ,,, , , ,,,,, , , , , ,,,, ( , , , , ,, , , ,; , , , , , , , ,, ？ , ,,,,,, , ,, ,,, , , ;, , ,, ( , ; , , , ,, , , , ,,,,, , ,, ,,, , , ,, , ,( ,, , ,, ,, ,,, , , ,;, , , , (,, ,,, , ,, ;,,,, ,, , , , ,, ,, , , , , ) , ,, , , , , , , , ,; ( , , , , , , ,,,, , , ,, , , ,, , ,, ,,, ,,,, , ; , , , , , ,, ,, , ， , , , ,, , , , ,,,, ( ,,, ,, ,, ,, ,, , , , , , , , , , , , , , ,, , , ,, , ,,,, , ,, , , , , , , , , ,, , , , , , , ,,,, , ,, ,;, ,,, , , ,, , , ,: , , , , , , , , ,; , , ,, ,, , ,, , , ,,,, ,, ; ;, , , ,, ,,,, , ,, ; , , , , ,, , , , , , , , , , , ,, 学位论文知识产权权属声明 本人郑重声明: 所呈交学位论文，是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。知识产权归属中国科学院长春光学精密机械与物理研究所。长春光学精密机械与物理研究所享有以任何方式发表、复制、公开阅览、借阅以及申请专利等权利。本人离所后 署名发表或使用学位论文或与该论文直接相关的学术论文或成果时，单位仍然为长春光学精密机械与物理研究所。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 论文作者签名: 日期: 年 月 日 导 师 签 名: 日期: 年 月 日 未经本论文作者的书面授权， 依法收存和保管本论文书面版 本、电子版本的任何单位和个人，均不得对本论文的全部或部分 内容进行任何形式的复制、修改、发行、出租、改编等有碍作者 但纯使用不在此限) 否则，应承担侵权 著作权的商业性使用 ( 。 的法律责任。气 第一章 前言 第一章 前言 , 第一节 阵列波导光栩 ( ,,)简介( ，引言 ，，( 目前光纤通信正在向全光传输网络发展。 ( , 器件是全光 , 密集波分复用(,, ) ,,传输网络的基础与关键。, , 技术可以较低的成本极大地扩展传输信息的容量，不仅提高了传输能力，还有强大、灵活的联网优势，因此成为未来通信传输 ,,系统高速扩容的首选 方案 气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载 。波分复用 ( ,)的传输系统的发展取决于一系列 ,， , , 器、 , , , ) 光交叉互连器(, ) 多器件,, 如波长路由 光上 下路复用器 (, , 、 , ( ,、波长光源、 波长转换器等的快速发展。其中， ,, , , , , , , , ,, 阵列波导光栅 (,,, , , ,,， 以 功 性、 重 性、 损 低串 高 靠性、 小 、 , ,, ,,, , , ) 其多 能 高 复 低 耗、 扰、 可 尺寸低的制作成本以及与半导体器件的容易集成，在密集波分复用技术中扮演着重要的角色。聚合物阵列波导光栅使用价格低廉的聚合物作材料，制作工艺过程简单，对设备的要求相对不高，引起了研究人员的关注。(,无机 , ,,( ,,的研究现状 目前，一系列的不同通道数和通道间隔的 , ,,复用和解复用器件已经制造 , ,出来。表 , 是部分发表的无机 , ,,, ,,器件的典型参数，其中通道数为 ,( , 的无机 ,和 ,, ,,器件已经商品化。 国外对 , , ,,器件的研究非常多。日本 , ,在这方面处于领先水平，先后 , , 的, ,, , ,,级联获得的,, ,报道了用通道间隔分别为 ，, , ,,与 ， , 的, ,通 ,,, ,、道的, , 用平面光波导回路模型设计的 , 的,, , 通道间隔为, , , , 通道的 ,, ,。 , ,, , ,, ,;, ,,,;,, ,, , , , ,, ,, ,,, , ,, 上， 报 , , ,, ,,在 , , ; ,, ,,,, , ,, , ,, , 首次道了 , , 通道， , , 的, ,’ 该, 制作在六英寸,薄片上的,, ,, , , , ,， ,,覆盖整个 ,,,和 ,波段，充分利用了光纤放大器 (, ,)的常规增益带宽，其插入损耗非 , ,( , ( , ，相邻信道串扰为一 , ，远端串扰低于一 , ，裸片损耗为 ,常低 ( , , ) , ,, , ,, (, , ， ,, 此, , , ,, ,( , 各通道之间的串扰相同， ,,支持, , 的传输。 , ( ,, , 另外，,,,,等报道了通道间 , , 的, , 隔为, , ,通道的, , ,用和解复 , , ,,复 以 体激 用器。 半导光器、光二极管、 光开关及光放大器等有源器件的集成化为目 标的对半导体 ,,,的研究开发， 正在活跃地展开。 由于半导体光波导具有可以与有源器件单片集成的可能性，对于将来实现在一个芯片上集成多功能回路，半导体 , ,,有很大的潜力， 而且容易取得光波导芯层和包层大的折射率差， 所以可以制作曲率半径很小的光回路， 使整个回路面积变的很小。 在半导体 , ,,里，已经实现了, , , 的复用,,, 解 聚合物阵列波导光栅波分复用器的研制 , 表 ,, 无机,,,器复用器,, , 件的典型参数 参数 数值 通道数 , ,, ,, ,, ,, , ,, , 中心波长( ) (, , ,, , ,, , (, , (, , ,, , (, , ,, , (, ,, , , 波长间隔( ) ,, , ,, ( ( ,, ,, ( , , , 波导长度差( ) ,, ,( ,, ,( ,, ,, ,, ,) 平板波导长度(, (, , (, , (, ,, ,( ,, ,, , 衍射级数 ,, ,, ,, ,, ,, ,, , 列阵波导数 ,, ,, ,, , , ,, , ,, 中 损耗( , 心波长的片内 ( ), ,, ( ,, ( ,, ( ,, ( ,, ,,带宽 ,, , (, ,, , (, , , ,,, , , ,,, , , ,,, , 扰( ,, 通道串 ( ) ,, ,, ,, ,, ,, ,, ,, ,, 一, ,, 国内的 ,,,器件研究还属于起步阶段，报道的有利用 , ,法制作 , .