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GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008WorkinthelasttwoweeksCompleted…1Read…2Read…3Read…4Downloaded…5Conceiving…6WorkinthelasttwoweeksCompletedPPTfilefororalspeechWorkinthelasttwoweeksThesisdraftwrittenby…WorkinthelasttwoweeksProcessesInformationStoragePECVD:SiO2,Si3N4,SiCSputter:Ti,Au,Pt,Al,Cr,W,PbLPCVD:PolySi,SiO2,Si3N4SiOxidation:HO,O2,H2OMembraneIonInjection:As+,P+,B+,BF2+Diffusion:P+,B+AdjustingICP:Si,Ti/Al,Cr/Cu,Cr/Pt,Ti/Pt/Au,Pyrex,SiO2RIE:Si,SiO2,Si3N4,SiO2,Solutions:KOH,BHF,HF,H3PO4EtchingAnode(electrostatic),Au-Si,hotBondingWorkinthelasttwoweeksReferencesandPPTfilesWorkinthelasttwoweeksSafetyandOperationHandbookFutureworkinthenextweekWorkinthelastweekWorkinthelastweekWorkinthelastmonthWorkinthelastmonth实验相关曝光显影电镀甩胶烘胶正胶AZP4903Workinthelastmonth2008.4.22用…2008.4.25….大概15umWorkinthelasttwoweeks电镀……项目申请…申请的准备3….会议投稿124Workinthelasttwoweeks稀释HF溶液HF0.4mol/L,腐蚀速率:室温100nm/s,32度时200nm/sHF2.6mol/LHNO32.2mol/L32度时300nm/sTi湿法腐蚀50:1:1H2O:HF:HNO320:1:1H2O:HF:H2O21:1:20HF:H2O2:HNO3WorkinthelasttwoweeksI20.09mol/LKI0.6mol/L腐蚀速率:室温8-15nm/sAu湿法腐蚀1:2:10I2:KI:H2O25g:7g:100mlBr2:KI:H2O1:2:3HF:HAc:HNO3Workinthelasttwoweeks国家基金对项目的要求越来越高基础性前瞻性战略性强调原创性提高交叉项目的强度和比例强调学科交叉Workinthelasttwoweeks研究实力写作技巧创新思想一新遮百丑基金有多种手段保护创新思想以往的研究积累和研究水平准确、清晰、具体、可行的研究 计划 项目进度计划表范例计划下载计划下载计划下载课程教学计划下载 申请基金的三要素Workinthelasttwoweeks申请书的核心问题创新性重要性实用性连续性可行性科学选题做什么(What)-问题的提出为什么(Why)-意义 分析 定性数据统计分析pdf销售业绩分析模板建筑结构震害分析销售进度分析表京东商城竞争战略分析 怎么做(How)-技术路线立项依据工作积累实验条件人才梯队支持条件Workinthelasttwoweeks立项依据阐述项目对社会或经济的意义1本项目国内外进展情况2提出本项目解决的目标3强调项目的必要性和重要性4Workinthelasttwoweeks研究目标1研究内容2拟解决的关键问题3充分反映特色和创新点4预期成果5研究 方案 气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载 Workinthelasttwoweeks支持条件以往研究的积累研究者的水平和专长研究所需的设施和设备合作研究Workinthelasttwoweeks题目、内容摘要、主题词研究组组成年度计划及预期进展申请经费的额度和预算专家和单位的推荐 意见 文理分科指导河道管理范围浙江建筑工程概算定额教材专家评审意见党员教师互相批评意见 12345其它内容WorkinthelasttwomonthsPECVD:SiO2,Si3N4,SiCSputter:Ti,Au,Pt,Al,Cr,W,PbLPCVD:PolySi,SiO2,Si3N4SiOxidation:HO,O2,H2O薄膜工艺IonInjection:As+,P+,B+,BF2+Diffusion:P+,B+调整参数ICP:Si,Ti/Al,Cr/Cu,Cr/Pt,Ti/Pt/Au,Pyrex,SiO2RIE:Si,SiO2,Si3N4,SiO2,Solutions:KOH,BHF,HF,H3PO4刻蚀工艺Anode(electrostatic),Au-Si,hot键合工艺微电子所工艺信息库WorkinthelasttwomonthsMEMS和IC的关键性差别IC无可动部件,而MEMS器件可以产生某种运动IC依靠其表面之下的各种效应来工作,而MEMS基本上是靠表面效应工作的器件IC本质上是平面化的,MEMS一般来说却不是WorkinthelasttwomonthsMEMS的优势集成化微型化多功能低成本高性能低功耗Workinthelasttwomonths….组件层面….系统层面….元件层面…..技术层面Workinthelasttwomonths….加工技术…加工…技术…加工…技术Workinthelasttwomonths悬空结构模片沟、槽单晶硅多晶硅键合技术微电子所四个体硅 标准 excel标准偏差excel标准偏差函数exl标准差函数国标检验抽样标准表免费下载红头文件格式标准下载 工艺机械性能好几何尺寸大浪费硅材料与IC兼容不好各向同性腐蚀各向异性腐蚀体微加工Workinthelasttwomonths表面微加工两层多晶硅表面微加工(北大微电子所)三层多晶硅表面微加工(BerkleySA中心,PolyMUMPs)五层多晶硅表面微加工(美国Sandia国家实验室)两层MEMS结构:一层是结构材料,另一层为地面材料多晶硅作为结构层,淀积PSG作为牺牲层,氮化硅作为电隔离层两层主要的薄膜层,结构层:多晶硅,牺牲层:二氧化硅WorkinthelasttwomonthsLIGA技术LIGA技术准LIGA技术SLIGA技术电镀(Galvanoformung)压模(Abformung)光刻(Lithographie)Workinthelasttwomonths易于大批量生产5不适合制作多层结构6LIGA技术特点Workinthelasttwomonths硅/硅键合1、灵活性和半导体工艺兼容性2、温度在键合过程中起着关键的作用3、硅片表面的平整度和清洁度硅/玻璃键合1、两静电键合材料的热膨胀系数近似匹配2、阳极的形状影响键合效果3、表面状况对键合力也有影响金属/玻璃键合1、电压、温度和表面光洁度影响键合反应2、离子扩散阳极氧化影响键合3、键合界面处产生过渡层键合技术键合技术可以将表面加工和体加工有机地结合在一起Workinthelasttwomonths三维MEMS结构加工中的材料Workinthelasttwomonths金属:如Ti,Al,Cu,Cr等非金属:二氧化硅、氮化硅、碳化硅和磷硅玻璃等有机物和聚合物:如光刻胶,聚酰亚胺、PMMA、SU-8等牺牲层材料Workinthelasttwomonths前CMOS(pre-CMOS)混合CMOS(intermediate-CMOS)后CMOS(post-CMOS)CMOS-MEMS技术:将MEMS部分和CMOS电路做在同一块衬底上一种是在CMOS结构层上面再淀积一层结构层的微加工另一种是直接以CMOS原有的结构层作为MEMS结构层的微加工Workinthefuture2.考虑…1.完成…3.制作…4.加工…WorkinthelasttwoweeksAttend08MEMStraining01WriteSC-JRPapplication02Write…application03Designthe…04WorkinthelasttwoweeksWriteSC-JRPapplicationInputChineseandEnglishversionContactwithVincentofNUSThejointunitnotUniv.,butA*STARCooperationfailed,butbetrainedWorkinthelasttwoweeksWrite….ProposalTitleComplex面向WorkinthelasttwoweeksWorkinthelasttwoweeksThe…Develop…Current…Fabricate..AimsandSignificanceWorkinthelasttwoweeksinvestigate….study…realize…setup…WorkinthelasttwoweeksApplicationsMultiband…Integration…High….R…WorkinthelasttwoweeksNoveltyCurrentresearchMost…..ThisproposalInvestigate….WorkinthelasttwoweeksMethodologySSS…Singlewafer…Measure..Step2Step3Step4Optimize…Simulate..Silicon-based…Traditional..Polymer…Develop..Integrate…switches..TestModifySetupStep1DesignWorkinJulyandinthistermWorkinJulyandinthistermApplications…Key…Project…WorkinJulyandinthistermTi…Co…Co…WorkinJulyandinthistermWorkinthistermSimulate….Fabricate…Workinthepasttwoweeksfangdm@ime.pku.edu.cn
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徐姐2018
技术学院会计学毕业后掌握基本的会计知识技能,取得会计从业资格证,多年的财务工作经验,现认多家小企的财务会计!
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分类:企业经营
上传时间:2018-05-16
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