IGBT芯片测试设备自动传输物料系统

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112707071A(43)申请公布日2021.04.27(21)申请号201911020410.1G01R31/28(2006.01)(22)申请日2019.10.25(71)申请人深圳市寒驰科技有限公司地址510000广东省深圳市南山区西丽街道新围社区新围旺棠工业区13栋厂房一层西区新高路141号1楼104(72)发明人程忠光　张猛　(74)专利代理机构深圳虚谷纳智知识产权代理事务所(特殊普通合伙)44417代理人周皓(51)Int.Cl.B65G1/04(2006.01)B65G35/00(2006.01)B65G43/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称IGBT芯片测试设备自动传输物料系统(57)摘要本发明所涉及一种IGBT芯片测试设备自动传输物料系统，其包括机械传输机构，设置于机械传输机构两侧的复数个相互独立的并联方式连接在机械传输机构侧面的功能控制模块；在本技术 方案 气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载 通过在机械传输机构两侧分别设置复数个相互独立的并联方式的功能控制模块。使用时，通过功能控制模块中的多功能控制卡模块控制自动引导小车上的所述芯片托盘上面的芯片，能够在三种不同的测试机台之间调度移动，实现所述芯片在三种不同测试机台上面的测试 分析 定性数据统计分析pdf销售业绩分析模板建筑结构震害分析销售进度分析表京东商城竞争战略分析 的目的，避免了现有技术中因操作人员的人为因素而导致产生的技术缺陷，有利于提高自动化程度，降低生产成本，提高产品 检测 工程第三方检测合同工程防雷检测合同植筋拉拔检测方案传感器技术课后答案检测机构通用要求培训 质量的目的。CN112707071ACN112707071A权　利　要　求　书1/1页1.一种IGBT芯片测试设备自动传输物料系统，其包括机械传输机构，设置于机械传输机构两侧的复数个相互独立的并联方式连接在机械传输机构侧面的功能控制模块；其特征在于：机械传输机构包括传输面板，设置于传输面板下面的平行设置的两根直线导轨，安装在直线导轨下面一端的传输电机，设置于传输电机上的传输电机转轴，与传输电机转轴另一端连接的主动转轮，安装在直线导轨下面另一端的从动转轮，以及设置于传输面板下面的用于将主动转轮和从动转轮连接在一起的传输同步带，安装在直线导轨上面的旋转机构，安装在旋转机构一端的吊笼机构，安装在吊笼机构与旋转机构之间的夹持机构，设置于直线导轨上的测试机台；所述测试机台包括设置于直线导轨上端位置处的低温测试机台和高温测试机台，设于直线导轨上下端面的常温测试机台；所述的功能控制模块包括控制主机，通过数据线连接与控制主机相互连接的第一运输通道，设置于第一运输通道上的第一轨道工作台，设置于第一轨道工作台与第一传输通道相交处的不同功能性质的测试机台，设置于大测试机台上面的自动引导小车，与第一轨道工作台一端相互连接的仓储设备；所述仓储设备与机械传输机构相互连接；所述自动引导小车是以实现芯片在两种不同的测试机台之间的自动传送，第一轨道工作台是自动引导小车的运行轨道，所述的控制主机是自动传输物料系统的控制机，以WINDOWS操作作为开发环境，接收和分析大小测试机台中传送的数据，并编写自动引导小车的运动控制程序，实现自动传输物料系统的运动控制，数据线是将所述不同的测试机台与芯片，第一运输通道之间的数据传输线，实现自动对接动作。2.根据权利要求1所述IGBT芯片测试设备自动传输物料系统，其特征在于：所述控制主机是由复数个相互独立的管理控制模块构成，所述管理控制模块包括多功能控制卡芯片模块，分别与多功能控制卡芯片模块相互连接的自动引导小车运动控制模块，测试机台开关门模块，被测单元上下料模块，以及PLC控制模块。3.根据权利要求2所述IGBT芯片测试设备自动传输物料系统，其特征在于：所述多功能控制卡芯片模块包括多功能控制卡，与多功能控制卡相互连接的PC机控制卡，与PC机控制卡相互连接的自动引导小车控制模块，分别与多功能控制卡相互连接的常温测试机台模块，高温测试机台模块，以及低温测试机台模块；所述自动引导小车控制模块包括与PC机控制卡相互连接的第一伺服电机驱动器，第二伺服电机驱动器，第三伺服电机驱动器；与第一伺服电机驱动器相互连接的用于控制X向方向移动的第一电机；与第二伺服电机驱动器相互连接的用于控制Y向方向移动的第二电机；与第三伺服电机驱动器相互连接的用于控制Y向方向移动的第三电机；与多功能控制卡相互连接的小车气源部件，与小车气源部件连接的小车夹持机构；常温测试机台模块包括分别与多功能控制卡相互连接的常温芯片托盘，第四伺服电机驱动器，常温气源部件；与第四伺服电机驱动器相互连接的第四电机，与常温气源部件连接的常温夹持机构；高温测试机台模块包括分别与多功能控制卡相互连接的高温芯片托盘，第五伺服电机驱动器，第五气源部件；与第五伺服电机驱动器相互连接的第五电机，与第五气源部件相互连接的高温夹持机构；低温测试机台模块包括分别与多功能控制卡相互连接的第六芯片托盘，第六伺服电机驱动器，第六气源部件；与第六伺服电机驱动器连接的第六电机，与第六气源部件相互连接的低温测试机台。2CN112707071A说　明　书1/5页IGBT芯片测试设备自动传输物料系统技术领域[0001]本发明涉及一种用于半导体芯片领域的IGBT芯片测试设备自动传输物料系统。背景技术[0002]随着芯片的封装尺寸越来越小，纳米芯片执照工艺已经成为芯片制造也的主流，制造工艺的日益发展增加了芯片的加工和测试难度。在芯片加工生产过程中对芯片失效问题分析和测试比较重要。虽然半导体封装测试和分析的需求随着半导体总量的增加而随之加剧，在半导体行业内发挥的作用越来越重要。然而，现有技术大部分半导体测试和分析都是通过有经验的操作人员进行测试和分析，达到测试和分析的目的。由于人员操作的人为因素，而导致自动化程度低，人力成本高，产品质量检测低等技术缺陷。发明内容[0003]有鉴于此，本发明所要解决的技术问题是提供一种提高自动化程度，降低生产成本，提高产品检测质量的IGBT芯片测试设备自动传输物料系统。[0004]为此解决上述技术问题，本发明中的技术方案所一种IGBT芯片测试设备自动传输物料系统，其包括机械传输机构，设置于机械传输机构两侧的复数个相互独立的并联方式连接在机械传输机构侧面的功能控制模块； 机械传输机构包括传输面板，设置于传输面板下面的平行设置的两根直线导轨，安装在直线导轨下面一端的传输电机，设置于传输电机上的传输电机转轴，与传输电机转轴另一端连接的主动转轮，安装在直线导轨下面另一端的从动转轮，以及设置于传输面板下面的用于将主动转轮和从动转轮连接在一起的传输同步带，安装在直线导轨上面的旋转机构，安装在旋转机构一端的吊笼机构，安装在吊笼机构与旋转机构之间的夹持机构，设置于直线导轨上的测试机台；所述测试机台包括设置于直线导轨上端位置处的低温测试机台和高温测试机台，设于直线导轨上下端面的常温测试机台；所述的功能控制模块包括控制主机，通过数据线连接与控制主机相互连接的第一运输通道，设置于第一运输通道上的第一轨道工作台，设置于第一轨道工作台与第一传输通道相交处的不同功能性质的测试机台，设置于大测试机台上面的自动引导小车，与第一轨道工作台一端相互连接的仓储设备；所述仓储设备与机械传输机构相互连接；所述自动引导小车是以实现芯片在两种不同的测试机台之间的自动传送，第一轨道工作台是自动引导小车的运行轨道，所述的控制主机是自动传输物料系统的控制机，以WINDOWS操作作为开发环境，接收和分析大小测试机台中传送的数据，并编写自动引导小车的运动控制程序，实现自动传输物料系统的运动控制，数据线是将所述不同的测试机台与芯片，第一运输通道之间的数据传输线，实现自动对接动作。[0005]进一步限定，所述控制主机是由复数个相互独立的管理控制模块构成，所述管理控制模块包括多功能控制卡芯片模块，分别与多功能控制卡芯片模块相互连接的自动引导小车运动控制模块，测试机台开关门模块，被测单元上下料模块，以及PLC控制模块。[0006]进一步限定，所述多功能控制卡芯片模块包括多功能控制卡，与多功能控制卡相3CN112707071A说　明　书2/5页互连接的PC机控制卡，与PC机控制卡相互连接的自动引导小车控制模块，分别与多功能控制卡相互连接的常温测试机台模块，高温测试机台模块，以及低温测试机台模块；所述自动引导小车控制模块包括与PC机控制卡相互连接的第一伺服电机驱动器，第二伺服电机驱动器，第三伺服电机驱动器；与第一伺服电机驱动器相互连接的用于控制X向方向移动的第一电机；与第二伺服电机驱动器相互连接的用于控制Y向方向移动的第二电机；与第三伺服电机驱动器相互连接的用于控制Y向方向移动的第三电机；与多功能控制卡相互连接的小车气源部件，与小车气源部件连接的小车夹持机构；常温测试机台模块包括分别与多功能控制卡相互连接的常温芯片托盘，第四伺服电机驱动器，常温气源部件；与第四伺服电机驱动器相互连接的第四电机，与常温气源部件连接的常温夹持机构；高温测试机台模块包括分别与多功能控制卡相互连接的高温芯片托盘，第五伺服电机驱动器，第五气源部件；与第五伺服电机驱动器相互连接的第五电机，与第五气源部件相互连接的高温夹持机构；低温测试机台模块包括分别与多功能控制卡相互连接的第六芯片托盘，第六伺服电机驱动器，第六气源部件；与第六伺服电机驱动器连接的第六电机，与第六气源部件相互连接的低温测试机台。[0007]本发明的有益技术效果：因本技术方案通过在机械传输机构两侧分别设置复数个相互独立的并联方式的功能控制模块。使用时，通过功能控制模块中的多功能控制卡模块控制自动引导小车上的所述芯片托盘上面的芯片，能够在三种不同的测试机台之间调度移动，实现所述芯片在三种不同测试机台上面的测试分析的目的，避免了现有技术中因操作人员的人为因素而导致产生的技术缺陷，有利于提高自动化程度，降低生产成本，提高产品检测质量的目的。[0008]下面结合附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。[0009]【附图说明】图1为本发明中IGBT芯片测试设备自动传输物料系统的示意图；图2为本发明中机械传输机构的示意图；图3为本发明中多功能控制卡模块的示意图。[0010]【具体实施方式】为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚、明白，以下结合附图和实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。[0011]请参考图1至图3所示，下面结合实施例说明一种IGBT芯片测试设备自动传输物料系统，其包括机械传输机构，设置于机械传输机构两侧的复数个相互独立的并联方式连接在机械传输机构侧面的功能控制模块。[0012]机械传输机构包括传输面板，设置于传输面板下面的平行设置的两根直线导轨，安装在直线导轨下面一端的传输电机，设置于传输电机上的传输电机转轴，与传输电机转轴另一端连接的主动转轮，安装在直线导轨下面另一端的从动转轮，设置于传输面板下面的用于将主动转轮和从动转轮连接在一起的传输同步带，安装在直线导轨上面的旋转机构，安装在旋转机构一端的吊笼机构，安装在吊笼机构与旋转机构之间的夹持机构，设置于直线导轨上的测试机台；所述测试机台包括设置于直线导轨上端位置处的低温测试机台和高温测试机台，设于直线导轨上下端面的常温测试机台。4CN112707071A说　明　书3/5页[0013]所述的功能控制模块包括控制主机，通过数据线连接与控制主机相互连接的第一运输通道，设置于第一运输通道上的第一轨道工作台，设置于第一轨道工作台与第一传输通道相交处的不同功能性质的测试机台，设置于大测试机台上面的自动引导小车，与第一轨道工作台一端相互连接的仓储设备；所述仓储设备与机械传输机构相互连接。[0014]所述自动引导小车是以实现芯片在两种不同的测试机台之间的自动传送，该自动引导小车具有高准确性，配备灵活性，结构紧凑，可靠性高的特点。[0015]第一轨道工作台是自动引导小车的运行轨道，所述的控制主机是自动传输物料系统的控制机，以WINDOWS操作作为开发环境，接收和分析大小测试机台中传送的数据，并编写自动引导小车的运动控制程序，实现自动传输物料系统的运动控制，数据线是将所述不同的测试机台与芯片，第一运输通道之间的数据传输线，实现自动对接动作。[0016]所述控制主机是由复数个相互独立的管理控制模块构成，所述管理控制模块包括多功能控制卡芯片模块，分别与多功能控制卡芯片模块相互连接的自动引导小车运动控制模块，测试机台开关门模块，被测单元上下料模块，以及PLC控制模块。[0017]所述多功能控制卡芯片模块包括多功能控制卡，与多功能控制卡相互连接的PC机控制卡，与PC机控制卡相互连接的自动引导小车控制模块，分别与多功能控制卡相互连接的常温测试机台模块，高温测试机台模块，以及低温测试机台模块。[0018]所述自动引导小车控制模块包括与PC机控制卡相互连接的第一伺服电机驱动器，第二伺服电机驱动器，第三伺服电机驱动器；与第一伺服电机驱动器相互连接的用于控制X向方向移动的第一电机；与第二伺服电机驱动器相互连接的用于控制Y向方向移动的第二电机；与第三伺服电机驱动器相互连接的用于控制Y向方向移动的第三电机；与多功能控制卡相互连接的小车气源部件，与小车气源部件连接的小车夹持机构。[0019]常温测试机台模块包括分别与多功能控制卡相互连接的常温芯片托盘，第四伺服电机驱动器，常温气源部件；与第四伺服电机驱动器相互连接的第四电机，与常温气源部件连接的常温夹持机构。[0020]高温测试机台模块包括分别与多功能控制卡相互连接的高温芯片托盘，第五伺服电机驱动器，第五气源部件；与第五伺服电机驱动器相互连接的第五电机，与第五气源部件相互连接的高温夹持机构。[0021]低温测试机台模块包括分别与多功能控制卡相互连接的第六芯片托盘，第六伺服电机驱动器，第六气源部件；与第六伺服电机驱动器连接的第六电机，与第六气源部件相互连接的低温测试机台。[0022]在本实施例中所述的机械传输机构中的吊笼机构是以所述芯片托盘为载体，芯片托盘是芯片的载体。所述自动引导小车是吊笼机构进行引导，实现所述芯片在高温，低温以及常温的测试机台之间的传送调度。所述旋转机构包括自动引导小车上旋转机构和测试机台内部旋转。所述直线导轨为自动引导小车在落地导轨上的直线运动提供动力，驱动三种不同测试机台之间的传输调度。设置于直线导轨一端 的上料区和下料区分别实现吊笼机构装入自动引导小车的夹持机构1和从自动引导小车上的夹持机构1上卸下吊笼的操作区域。[0023]所述芯片物料被装入自动引导小车上的夹持机构1，然后通过直线导轨将自动引导小车传送到常温测试机台，当吊笼机构与常温测试机台内的夹持机构1实现对接后，常温5CN112707071A说　明　书4/5页测试机台内的夹持机构夹取吊笼机构，所述自动引导小车退出常温测试机台。在测试过程中，常温测试机台内的旋转机构旋转，带动吊笼机构旋转，使吊笼机构在满足在0度至360度范围内，进行旋转测试。当常温测试结束后，自动引导小车将吊笼机构从常温测试机台内夹出，送入高温测试机台内，依次完成高温测试。同理按照此 流程 快递问题件怎么处理流程河南自建厂房流程下载关于规范招聘需求审批流程制作流程表下载邮件下载流程设计 完成低温测试，测试结束后自动引导小车将吊笼机构传送至直线导轨的下料区，将吊笼机构从夹持机构1上卸下，然后再装入需要测试的吊笼机构，继续此循环即可。[0024]所述的多功能控制卡模块内部的多功能运动控制卡主要对自动引导小车控制模块中的电机进行控制，此模块中的电机第一电机，第二电极，以及第三电机。所述第一电机与第二电机是控制自动引导小车模块的直线运动，所述的第三电机是控制自动引导小车模块的旋转运动。所述多功能控制卡控制自动引导小车模块，常温测试机台模块，高温测试机台模块以及低温测试机台模块的运动模块。所述多功能控制卡模块包括电机控制，气源部件控制和数据信号接收和反馈。其中电机控制是指在高温、低温、常温的测试机台内工作室中的旋转机构的原动机控制，原动机包括 第四电机、第五电机与 第六电机，此三个电机都通过传动机构实现芯片的旋转运动，使芯片在0度至360度空间角度范围内旋转的条件下进行温度性能测试。气源部件控制包括夹持机构1和开关门控制两方面，其中夹持机构1在自动引导小车（AGV）、常温测试机台、高温测试机台与低温测试机台四个模块中都被包含，主要用于对芯片托盘的载体即吊笼机构实现抓取和卸下的操作。开关门控制是实现常温测试机台、高温测试机台与低温测试机台门开与门闭控制的操作。[0025]在本结构中的数据总线是多功能控制卡与芯片托盘之间的数据传输线，此数据传输线是双向的， 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 明多功能控制卡与芯片托盘之间的数据是接收与反馈的关系。吊笼机构上有 6 块芯片托盘，每块芯片托盘中有若干根数据线。当芯片托盘在常温、高温、低温测试机台中测试时，测试机台通过设定程序测试芯片托盘的性能，测试完毕后，芯片托盘将测试结果反馈到测试机台，芯片托盘中的数据线组成了半导体芯片测试线温度测试区设备控制结构的数据总线。 所述控制总线包括电机控制线与气动控制线；其中电机控制线包括六个电机的控制线，电机控制线是双向线，由于每个电机控制都有传感器和限位开关来反馈，因此电机控制信号通过这些传感器和限位开关将运动信号传递到控制主机，控制主机通过这些信号做出相应的判断。气动控制线在自动引导小车，常温测试机台、高温测试机台与低温测试机台四个模块中都具有，其中自动引导小车的气源部件控制是指三种测试机台与芯片托盘的载体，即吊笼机构之间的夹持和卸下操作的控制；三种测试机台的气动控制线包括夹持机构操作与开关门操作两部分，其中夹持机构操作是指三种测试机台工作室内的旋转机构与吊笼机构之间的夹持和卸下操作的控制；开关门操作是指三种测试机台门的开门与关门操作。[0026]综上所述，因本技术方案通过在机械传输机构两侧分别设置复数个相互独立的并联方式的功能控制模块。使用时，通过功能控制模块中的多功能控制卡模块控制自动引导小车上的所述芯片托盘上面的芯片，能够在三种不同的测试机台之间调度移动，实现所述芯片在三种不同测试机台上面的测试分析的目的，避免了现有技术中因操作人员的人为因素而导致产生的技术缺陷，有利于提高自动化程度，降低生产成本，提高产品检测质量的目的。[0027]以上参照附图说明了本发明的优选实施例，并非因此局限本发明的权利范围。本6CN112707071A说　明　书5/5页领域技术人员不脱离本发明的范围和实质内所作的任何修改、等同替换和改进，均应在本发明的权利范围之内。7CN112707071A说　明　书　附　图1/2页图1图28CN112707071A说　明　书　附　图2/2页图39