XPS设备信息(863)

XPS设备信息(863)【仪器名称】X射线光电子能谱仪【仪器型号】PHI 1800 【测试项目】本仪器适合测试固体或粉末材料的表面元素组分和化学状态分析，并可深度刻蚀，分析镀层的表面分析，深度剖析、化学态的分析。【所在城市】广东-深圳-深圳材料表面分析检测中心【联系方式】负责人：贺工联系电话：联系电话 18672196601 电子邮件：hett@sz863.com 704752617@qq.com 仪器说明：厂家：ULVAC -PHI 启用时间：2006.04 主要技术指标： 1. 能量范围： 0-1200eV 2...

【仪器名称】X射线光电子能谱仪【仪器型号】PHI 1800 【测试项目】本仪器适合测试固体或粉末材料的表面元素组分和化学状态分析，并可深度刻蚀，分析镀层的表面分析，深度剖析、化学态的分析。【所在城市】广东-深圳-深圳材料表面分析检测中心【联系方式】负责人：贺工联系电话：联系电话 18672196601 电子邮件：hett@sz863.com 704752617@qq.com 仪器说明：厂家：ULVAC -PHI 启用时间：2006.04 主要技术指标： 1. 能量范围： 0-1200eV 2. X-ray类型：单色聚焦X射线（Al）或双阳极Mg/Al 3. 最小X射线束斑：30μm 4. X射线源扫描面积：最大800*2000 μm 5. 最佳能量分辨率：小于0.5eV（Ag3d5/2） 6. 最大灵敏度：大于1000Kcps；FWHM小于1.0eV（Ag3d5/2） 7. 分析器：半球型能量分析器 8. 分析腔室真空：小于6.7*10-8 9. 样品台尺寸：25 mm 或 65 mm 主要附件：Ar离子溅射枪，电荷中和枪，计算机数据分析系统，UPS供电系统。

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