热载流子测试操作流程

深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 1 页共 13页 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 热载流子注入热载流子注入热载流子注入热载流子注入（（（（HCI））））评估评估评估评估手动测试操作流程手动测试操作流程手动测试操作流程手动测试操作流程 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 2 页共 13页 文件制订履历 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 序号 版本 修订条款号 制(修)订 审核 会审 核准 生效日期 1 A.0 内部 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 3 页共 13页 目录目录目录目录 1、目的............................................................................................................................................. 4 2、适用范围 ..................................................................................................................................... 4 3、职责............................................................................................................................................. 4 4、 定义缩写 ................................................................................................................................... 4 5、程序及说明 ................................................................................................................................. 5 5.1 确定 stress电压 .................................................................................................... 5 5.2 HCI程序测试 ..................................................................................................... 10 6、流程图....................................................................................................................................... 13 7、 相关文件 ................................................................................................................................. 13 8、记录表单 ................................................................................................................................... 13 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 4 页共 13页 1、、、、目的目的目的目的 本文档详细描述了使用 Agilent 4156C 和 Cascade 探针台手动完成热载流子注入 （HCI）测试的流程，方便了深圳市易商仪器有限公司内部各技术人员顺利进行 HCI测 试。 如果使用的是 B1500请参见其他相对应文件。 2、、、、适用适用适用适用范围范围范围范围 本程序适用于公司内部人员对于可靠性测试中热载流子注入评估的规范操作。 3、、、、职责职责职责职责 可靠性工程师负责执行可靠性相关测试。 4、、、、 定义缩写定义缩写定义缩写定义缩写 无。 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 5 页共 13页 5、、、、程序及说明程序及说明程序及说明程序及说明 5.1 确定确定确定确定 stress电压电压电压电压 Step1： ：： ：读取 读取读取 读取 IDVD测试程序 测试程序测试程序 测试程序 插入软盘，在 4156面板上按“get”键，获取软盘上文件信息，按“file catalog”，将 光标移至“IDVD”，按“select”选择文件，按“execute”进行测试文件的读取，完毕后 按“exit”退出。 选择其中一个 Vdstr，扫描 Isub-Vg曲线，确定 Vgstr。 加载 Vdstr、Vgstr，进行 HCI加速测试。 换 device，扫描 device的漏电流。 漏电流是否超出规格 是 否 N=1 测试结束，N=N+1。 N〉3 测试结束 是 否 扫描 Id-Vd曲线，确定 Vdstr。 开始测试 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 6 页共 13页 Step2： ：： ：调整信号通道 调整信号通道调整信号通道 调整信号通道 按“CHAN”键进入“channels”界面，调整信号连入通道：将光标移至 VB，按 channel assign，根据连线调整通道，调整完后按“exit channel assign”。 选择测试 文件 读取文件 退出 文件信息 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 7 页共 13页 Step3： ：： ：输入测试条件 输入测试条件输入测试条件 输入测试条件 按“MEAS”键进入“MEASURE”界面，输入 Vd扫描电压和 Vg电压，Vd一般从 0V扫描至大于 MOS管击穿电压，Vg扫描可选取从 0V到 Vdd相同电压间隔的 5根曲 线。 调整信号通道 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 8 页共 13页 Step4： ：： ：开始测试 开始测试开始测试 开始测试 按“graph/list”进入“graph”界面，按“single”键开始扫描。调整曲线显示范围： 按“scaling”，按“auto scaling”调整曲线显示范围。 调整测试条件 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 9 页共 13页 Step5： ：： ：确定 确定确定 确定 Vdstr电压 电压电压 电压 下图为典型的MOS管 Id-Vd曲线，测试 HCI通常选 3个 Vdstr，3个 stress之间间隔 为 0.3V，最高 stress电压小于雪崩、穿通区，而最小 stress电压一般大于 1.1×Vdd。在 下图例子中的MOS管工作电压为 1.8V，我们可选 2－3V之间的电压作为 stress电压。 0 0.005 0.01 0.015 0 1 2 3 4 Vg=0V Vg=0.4V Vg=0.8V Vg=1.2V Vg=1.6V Vg=2.0V ID ( A ) VD (V) linear region saturation region breakdown region 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 10 页共 13页 5.2 HCI程序测试程序测试程序测试程序测试 Step1： ：： ：读取 读取读取 读取 HCI测试程序 测试程序测试程序 测试程序 选择没测过的 DUT，插入软盘，在 4156面板上按“display”键，选择“get”，输入 测试程序名“HCIRUN.TXT”，回车。 Step2： ：： ：编辑测试条件 编辑测试条件编辑测试条件 编辑测试条件 程序读完后选择“edit”，回车，在程序的 1900行和 1920行分别输入 Vdstr、Vdd电 压，编辑完后选择“end edit”，退出编辑界面。 修改测试 条件 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 11 页共 13页 Step3： ：： ：调整信号通道 调整信号通道调整信号通道 调整信号通道 程序中晶体管对应于 SMU通道为： � SMU1-source � SMU2-sub � SMU3-gate � SMU4-drain 根据程序中设定的通道调整探针台上信号通道接口，如图。注意。调整时将针抬起。 Step4： ：： ：运行 运行运行 运行 HCI测试程序 测试程序测试程序 测试程序 选择屏幕下方 soft-key “run”按钮，开始运行。第一步扫描 Isub-Vg曲线，扫描完毕 后换一个没有测过的 DUT，按“continue”继续测试。 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 12 页共 13页 Step5： ：： ：结束测试 结束测试结束测试 结束测试 测试完毕后导出软盘中的数据文件“Id1、Gm1、Vti1、Vte1”4 个文件。 深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司深圳市易商仪器有限公司 文件名称：文件管理控制程序 www.essun.net 版本号：A.0 保密等级：一般受控 页码：第 13 页共 13页 6、、、、流程图流程图流程图流程图 无 7、、、、 相关文件相关文件相关文件相关文件 无 8、、、、记录表单记录表单记录表单记录表单 无