概述光学微电子净化工程

概述光学微电子净化工程光学微电子净化工程是指特别设计的一种密闭空间，排除此空间内一定范围内空气中的污染物，如微尘粒子、有害空气、细菌等，并控制室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电在某一需求范围内，因此也被称为清净室或无尘室净化工程。目前，在半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业中，光学微电子净化工程已是不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术的创新发展，迫切要求产品的高精密度化、细小型化，如研究制造超大型积体电路，已成为世界各...

光学微电子净化工程是指特别设计的一种密闭空间，排除此空间内一定范围内空气中的污染物，如微尘粒子、有害空气、细菌等，并控制室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电在某一需求范围内，因此也被称为清净室或无尘室净化工程。目前，在半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业中，光学微电子净化工程已是不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术的创新发展，迫切要求产品的高精密度化、细小型化，如研究制造超大型积体电路，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。光学微电子净化工程一般包括： 1、洁净生产区 2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等) 3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等) 4、设备区(包括无尘室净化工程空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房) 光学微电子净化工程净化原理气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化重复以上过程，即可达到净化目的。优点： A.处理空气的效果好，因空气经过集中处理，在送风过程中被污染程度较低。能比较精确控制送风的温度、湿度; B.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源; C.比较适用于较大的厂房有集中冷源的的厂房; D.较低的维修频率; E.车间里的噪音小。缺点：光学微电子净化工程需要有一定的室外空间和有空调机房，用以搭配好的冷冻机房的建设、热泵机组的放置以及组合式空气处理机组的放置。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个 20-30┫的机房的;此外，该工程的造价高也是缺点之一。

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