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真空鍍膜技術.ppt

真空鍍膜技術

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2008-04-29 0人阅读 举报 0 0 暂无简介

简介:本文档为《真空鍍膜技術ppt》,可适用于工程科技领域

真空鍍膜技術真空鍍膜技術蒸鍍(Evaporation)濺鍍(Sputter)塑膠外觀金屬化製程簡介FilmDepositionFilmDeposition薄膜沈積(ThinFilmDeposition)薄膜沈積(ThinFilmDeposition)在機械工業、電子工業或半導體工業領域為了對所使用的材料賦與某種特性在材料表面上以各種方法形成被膜(一層薄膜)而加以使用假如此被膜經由原子層的過程所形成時一般將此等薄膜沈積稱為蒸鍍(蒸著)處理。採用蒸鍍處理時以原子或分子的層次控制蒸鍍粒子使其形成被膜因此可以得到以熱平衡狀態無法得到的具有特殊構造及功能的被膜。薄膜沈積的兩種常見的製程薄膜沈積的兩種常見的製程物理氣相沈積PVD(PhysicalVaporDeposition)化學氣相沈積CVD(ChemicalVaporDeposition)薄膜沈積機制的說明圖薄膜沈積機制的說明圖物理氣相沈積PVD(PhysicalVaporDeposition)物理氣相沈積PVD(PhysicalVaporDeposition)PVD顧名思義是以物理機制來進行薄膜堆積而不涉及化學反應的製程技術所謂物理機制是物質的相變化現象蒸鍍(Evaporation)濺鍍(Sputtering)真空電鍍簡介真空電鍍簡介被鍍物與塑膠不產生化學反應環保製程無化學物污染可鍍多重金屬生產速度快可對各種素材加工屬低溫製程最常見的PVD製程最常見的PVD製程蒸鍍與濺鍍常見類型蒸鍍與濺鍍常見類型蒸鍍(Evaporation)蒸鍍(Evaporation)蒸鍍(Evaporation)原理蒸鍍(Evaporation)原理蒸鍍(Evaporation)原理蒸鍍(Evaporation)原理蒸鍍(Evaporation)原理蒸鍍(Evaporation)原理蒸鍍(Evaporation)原理蒸鍍(Evaporation)原理蒸鍍(Evaporation)原理蒸鍍(Evaporation)原理鎢絲鎢舟鉬舟蒸鍍(Evaporation)原理蒸鍍(Evaporation)原理濺鍍(Sputter)濺鍍(Sputter)PLASMAPLASMA物質的第四態什麼是電漿什麼是電漿藉由外加的電場能量來促使氣體內的電子獲得能量並加速撞擊不帶電中性粒子由於不帶電中性粒子受加速電子的撞擊後會產生離子與另一帶能量的加速電子這些被釋出的電子在經由電場加速與其他中性粒子碰撞。如此反覆不斷進而使氣體產生崩潰效應(gasbreakdown)形成電漿狀態。電漿性質電漿性質整體來說電漿的內部是呈電中性的狀態也就是帶負電粒子的密度與帶正電粒子的密度是相同的。因為電漿中正、負離子的個數幾乎是一比一因此電漿呈現電中性。電漿是由一群帶電粒子所組成所以當有一部分受到外力作用時遠處部份的電漿乃至整群的電漿粒子都會受到影響這叫做「電漿的群體效應」。具有良好的導電性和導熱性。濺鍍(Sputter)原理濺鍍(Sputter)原理Ar氣體原子的解離ArAr+e-電子被加速至陽極途中產生新的解離。Ar離子被加速至陰極撞擊靶材靶材粒子及二次電子被擊出前者到達基板表面進行薄膜成長而後者被加速至陽極途中促成更多的解離。濺鍍(Sputter)原理濺鍍(Sputter)原理TargetMaterial(Cathode)SubstrateInlineSputteringSystemInlineSputteringSystemSputteringProcessSputteringProcessSputteringChamberBufferChamberUnloadingChamberBufferChamberLoadingChamberTargetTargetMagneticFieldLinesMagneticFieldLinesTargetErosionTargetErosion濺鍍製程技術的特點濺鍍製程技術的特點成長速度快大面積且均勻度高附著性佳可改變薄膜應力金屬或絕緣材料均可鍍製適合鍍製合金材料各種PVD法的比較各種PVD法的比較各種物理氣相沈積法之比較各種物理氣相沈積法之比較蒸鍍與濺鍍製程上運用之差異蒸鍍與濺鍍製程上運用之差異素材形狀鍍膜材質之要求不透光及半透光鍍膜方向蒸鍍與濺鍍製程產能與成本比較(以惠明為例)蒸鍍與濺鍍製程產能與成本比較(以惠明為例)濺鍍有效面積:mmXmm蒸鍍治具面積:mmXmm一般濺鍍產能:一分鐘一盤一般蒸鍍產能:分鐘一爐,每爐可放個治具蒸鍍須外加治具成本及上下治具人工成本常見的外觀裝飾性PVD之製程常見的外觀裝飾性PVD之製程素材直接鍍膜配合噴塗之鍍膜其他素材直接鍍膜素材直接鍍膜A„thin“coatingofasubstance素材直接鍍膜素材直接鍍膜運用於平面的素材:如FILM鍍膜素材材質:PC,PMMA,PET等等運用:Lens(平板切割,IMD,IMR)銘版按鍵(IMD,IMR)背光板配合噴塗之鍍膜配合噴塗之鍍膜HardcoatedMetalSubstratePrimer配合噴塗之鍍膜配合噴塗之鍍膜運用於立體的素材:如按鍵及機殼鍍膜素材材質:大部分塑膠皆可運用:機殼及按鍵銘版數位相機自拍鏡半透光燈罩配合其他製程之運用配合其他製程之運用搭配印刷搭配雷雕EMIDipping化學蝕刻(退鍍)其他配合其他製程之運用配合其他製程之運用Example:手機按鍵印刷噴塗雷雕PVDMetalPrimerSubstratePrintingLaserEtchingHardcoated配合其他製程之運用配合其他製程之運用Example:LCDLensDipping印刷退鍍PrintingSubstrateMetalLaserEtchingPrintingAnyQuestionsAnyQuestions

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