表面轮廓仪(Surface表面轮廓仪(Surface 表面輪廓儀(Surface Profiler)一.廠牌與型號, Dektek 150 二.用途, 量測各種膜厚 三.重要規格, 1.試片大小須小於3? × 3?。 2.量測的sample上需有一部分的膜及一部分的基板,且基板部分 不可預留太少,以增加量測準確度。 3.鍍膜不均勻將增加量測之不準確度,需由使用者自行判斷。 4.適用膜厚範圍約為200?至數萬?,為其準確範圍。 四.注意事項 認證後才可操作或委托實驗室操作 五.開放時間, 10:00-18:00 六....