null薄膜技术薄膜技术任课教师：刘章生概述概述薄膜与厚膜的区别
工艺上，厚膜电路一般采用丝网印刷工艺，薄膜电路采用的是真空蒸发、磁控溅射等工艺 ；
厚度上，厚膜电路的膜厚一般大于10μm，薄膜的膜厚小于10μm，大多处于小于1μm .
概述概述薄膜技术在电子封装中的应用:
（1） 生成UBM(under barrier metal)層（2）薄膜电阻概述概述薄膜技术在电子封装中的应用:
（3）薄膜基板（4）导线
材料
关于××同志的政审材料调查表环保先进个人材料国家普通话测试材料农民专业合作社注销四查四问剖析材料
薄膜技术薄膜技术1.薄膜技术
2.薄膜材料
3.薄膜表征1.薄膜技术1.薄膜技术1.1 溅射1.薄膜技术1.薄膜技术1.1 溅射
分类：
直流溅射（DC sputtering deposition）
射频溅射（RF sputtering deposition）
双阴极溅射（dual cathodes sputtering deposition）
三级溅射（triode sputtering deposition）
磁控溅射（magnetron sputtering deposition）1.薄膜技术1.薄膜技术1.1 溅镀
高真空： 增加粒子的平均自由程；
增加靶材使用壽命.1.薄膜技术1.薄膜技术1.2 蒸镀
将被蒸镀物体加热（电阻丝或电子束），利用其在高温
时所具有的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积.
1.薄膜技术1.薄膜技术1.2 蒸镀
降低蒸镀温度；
增加原子平均自由程；
去除污染物如氧和氮.真空度（
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