光学玻璃的精密加工技术
光学玻璃的精密加工技术 光学玻璃的精密加工技术
洪静,高国富,赵波
(河南理工大学机械与动力.T-程学院,河南焦作454000) 摘要:光学玻璃作为一种典型的脆硬材料,采用普通的加工
方法
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难以进行高效精密加工.本文介
绍了光学玻璃的高效精密特种加工技术,对EIID法,激光加工,超声磨削以及精密铣削的最新研究进
展进行了综述.采用ELID技术,通过控制加工工艺参数,使砂轮单个磨粒的最大切削深度小于脆性材料
的临界切削厚度,实现了脆性材料的塑性加_T-,并得到精密光滑的
表
关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf
面;在加工非球曲面时,可使零件的
精加5-抛光量降到最低.最新激光加工技术通过增加预热激光束,极大降低已加工表面的热应力及拉伸
应力,使得加工质量有了大幅提高.超声波磨削加工不仅改善了表面完整性,而且提高了加工效率,通过
选用适当的刀具和工艺参数,使被加工工件表面粗糙度值比普通磨削降低了30---~40V0.光学玻璃精密
铣削技术通过优化刀具,加工方式及工艺参数,可提高加3-质量和效率,降低加_T-成本.
关键词:光学玻璃;精密加工;延性模式
中图分类号:TG54文献标志码:A
PrecisionMachiningTechnologyofOpticalGlass
H()NGJing,GA()Guofu,ZHAOBo
(SchoolofMachineryandPowerEngineering,HenanPolytechnicUniversity,Jiaozuo4540
00,China)
Abstract:Duetothenatureofhard—
brittlematerials,opticalglassisdifficultytogethighmachiningefficiencybyusing traditionalprocessingmethods.Inthispaper,theadvancementinopticalglasshighprecisionmachiningwasreviewed,such
asEIIDtechnology,lasermachining,ultrasonicgrinding,andprecisionmilling.Theplasticremovingmodewasrealized
andsurfacefinishwasachievedinElIDmachiningbrittlematerialsbycontrollingcuttingparameters,whichhasmadethe
biggestcuttingdepthofsinglegrainslessthanthecriticalcuttingdepthofbrittlematerials.InmachiningtheasphericNUt
face,thefinishmachiningallowancewasreducedtothelowestaswel1.Thenewlydevelopedlasermachiningtechnology
greatiyreducedthethermalstressandtensionstressofmachinedsurfacebyaddingabunchofpre—heatinglaserbeam,and
thesurfacequalitywasimprovedclearly.Inultrasonicgrinding,bothsurfaceintegrityandthemachiningefficiencywereim—
proved.Bychoosingthesuitabletoolsandparameters,themachinedsurfaceroughnessofpartwasreducedby30,4O
comparedwithtraditionalgrinding.Forprecisionmillingofopticalglass,themachiningqualityandefficiencywasim—
proved,andtheproductcostwasreducedaswellbyoptimizingthecutterandworkingmethodsandtechnologicalparame
ters.
Keywords:Opticalglass,Precisionmachining,Ductilemode
光学玻璃常被用来制作侦查卫星照相机镜头,
隐形雷达探照镜,高速飞行器窗口以及激光发射装
置中的光学透镜,棱镜等超精密零件.小到各类相
机的镜头,大到天文望远镜的大型反射镜,都有光学
玻璃的应用.由于光学玻璃的广泛使用,传统的加
工方法已不能满足精密加工的需要,尤其是对于非
球曲面零件,特别是具有小曲率半径的非球凹面零 件,用传统的加工方法加工较为困难且不能保证加 工精度,不符合现代高科技发展的要求uJ. 常用光学玻璃精密加工方法有:ELID法,这项 技术使用超细微(或超微粉)超硬磨料制造砂轮,同 时解决了超细微粒度砂轮应用中难以修整及磨削过 程中容易堵塞的问题.由于基体材料是微量去除 的,故在整个磨削过程中砂轮表面的磨粒始终保持 锐利,实现了硬脆材料高精度,高效率的超精密磨 削j;激光加工光学玻璃是一种较新的精密加工方 法,这种加工方式的突出优点是不产生切削力而且 加工的热影响小,同时电脑编程与加工设备可紧密 结合,特别适用于单件加工或小批量生产?3;超声磨 削是一种复合加工方法,主要特点是加一效率高,表 面质量好,工具磨损小,成本低,特别适用于脆性光 学材料的平面加工.在加工非对称且具有复杂功能 表面结构的光学零件模具时,精密铣削加工因其独 特的优点而受到重视,其突出的优点是在提高加工 效率的同时尺寸精度稳定性好,加工过程可控性 强.
1光学玻璃精密加工技术
光学玻璃超精密加工的技术难点在于光学玻璃 是一种典型的脆硬材料,其突出的特性为材料脆性 《新技术新工艺》?数字技术与机械加工工艺装备2011年第4期?21?
高,断裂韧性低.用常规的加工方法难以获得高的 表面质量.以下4种加工方法是常用的光学玻璃高 精加工方法,通过下面的介绍可以看到这些精密加 工方法的优点以及所能达到的加工精度和其最新的 研究进展.
1.1在线电解修锐法(ElectrolyticIn—process Dressing,简称ELID法)
光学零件的加工不仅要求精度高,加工表面超 光滑,而且要求加工表面没有加工变质层.在这样 的加工要求下就产生了硬脆材料的延性方式磨 削l5].当每个砂轮磨粒切除的材料体积小到足以塑 性流动而不产生脆性断裂,即产生裂纹时,就实现了 延性方式"无损伤"磨削
日本学者大森整等人从1987年开始对铸铁纤 维结合剂金刚石砂轮等高强度金属结合剂的超硬磨 料进行研究,开发了借用ElectrolyticIn—process Dressing(ELID)的磨削法.利用ELID法在线修锐 金刚石砂轮磨削硅片,陶瓷或其他硬脆材料可获得 纳米级加工表面,实现了硬脆材料的超精密磨削,现 在已成功应用于球面,非球面透镜,模具的超精密加 工_7].英国Cranfield大学的精密工程研究所 (cUPE)已研制出超精密三轴CNC磨床,能对小范 围玻璃材料进行延性方式磨削.日本学者宫下等人 通过带有微量进给的立式平面磨床磨削水晶,工件 的表面粗糙度达到了Ra一2nm_8].在超精密非球 面加工机床上,借助ELID磨削技术,加工光学玻璃 BK7的非球面透镜,成功地达到面型精度优于0.2 btm,表面粗糙度Ramax=2Onm,而对于稍软质的 LASFN3O和Ge等材料的非球面也得到了面型精 度0.2,O.3m,表面粗糙度Ramax一30nm级良 好镜面.ELID磨削技术作为非球面光学零件的实 用制造技术,可使零件的最后抛光量减小到最小限 度妇
用ELID磨削光学玻璃,脉冲频率的大小也是
十分重要的,在其他参数保持不变的情况下,脉冲频 率较高时得到的被加工工件表面质量较好,但频率 过高时反而会使表面质量下降;如果频率过低,表面 质量则会明显下降.要使磨削过程中保持较好的出 刃状态,必须使氧化膜的状态薄且致密性适中,选择 较小的电压可以提高加工质量_1.
1.2激光加工
激光加工是一种比较适用于单件和小批量加工 的现代精密加工方法,其独有的优点是无接触,无切 削力,热影响小,加工环境干净整洁.在生产和试验 中,已利用激光的高能量密度使玻璃局部瞬问熔化 以至汽化来进行打标,内外雕刻,打孔,切割,或是利 用热应力使材料内产生内裂纹并使裂纹沿规定的方 向扩展而达到切割的目的.理论上讲,激光可将任 何材料铣削至所要求的尺寸口.
最新的一种加工方式是采用2束二氧化碳激光 束进行加工_】,在这项研究中使用2束激光束进行 加工,其中的一束是用来预热光学玻璃工件以降低 温度梯度,另一束则用来加工工件.预热激光束在 加工激光束的前方,2束激光之间始终保持固定的 距离.加工中使用的工件为碳酸钙玻璃,试验分为 有预热以及无预热2种情况.结果表明,采用单束 的二氧化碳激光束加工时(即无预热),工件表面温 度的变化较为迅速.尽管采用单束二氧化碳激光束 与2束二氧化碳激光束都使工件表面达到适合的加 工温度,但使用2束二氧化碳激光束加工产生的热 应力为23.6MPa,大大低于单束二氧化碳激光束产 生的热应力34.7MPa.同时,使用单束激光加工时 产生的最大拉伸应力远大于使用2束激光.故使用
2束激光加工在提高加工质量的同时还可以有效地 降低试件表面的热应力.
1.3超声磨削
超声磨削加工是把超声技术和磨削技术相结合 的一种复合加工方法,超声磨削包括超声研抛和超 声珩磨.超声磨削具有加工效率高,表面质量好,工 具磨损小,成本低等优点.采用超声磨削的方法加 工脆性光学材料时,工艺参数对表面质量影响较大, 已加工表面粗糙度随着超声波振幅,切深和工具横 向进给速度的增加而增大,随着超声波频率,磨粒粒 度号和工具转速的增加而降低.超声磨削的材料去 除率很高,约为普通磨削的2,2.5倍,而且工具的 磨损量很小,仅为普通磨削的1/5,1/10.在玻璃 上进行超声珩磨钻孔,随着磨料粒度的增加,加工表 面质量提高,边崩处的直径也随之增大,但是试件没 有发现有热变形和内应力变形等加工缺陷.超声波 研抛属于超精密加工的范畴,可用作超精密加工的 最后加工工序来保证被加工工件的尺寸精度和表面 质量,其应用广泛,可加工各种硬脆材料,既可以加 工平面也可以加工复杂曲面[】..超声珩磨的加工 表面与普通珩磨相比,磨削沟槽不仅宽且平坦,网纹 均匀,而且沟槽的顶部平整且不存在断续现象.普 通珩磨延性域加工临界磨削深度小于1.5肛m,而在 超声珩磨时,临界磨削深度可达3p.m,并且在较高 的转速下取得的粗糙度值比普通珩磨高1,2 级.
最新的一项超声磨削光学玻璃试验是对不同钻 心形状的金刚石砂轮及不同型号的磨粒进行研 究口.分别选用3种砂轮:1号是直角砂轮,钻心无 ?
22?《新技术新工艺》?数字技术与机械加工工艺装备2011年第4期
槽;2号是顶端带有一定的倾角但钻心无槽的砂轮; 3号是顶端直角且钻心带有2条槽的砂轮.超声波 加在砂轮上,不加超声波时为普通磨削.当进给速 度低于0.03Inril/s时,用超声磨削加工质量较好, 而高于这个值时,普通磨削加:质量较好.在所有 条件下,用2号砂轮加工出的工件表面质量要比其 他2种砂轮加工的表面质量高.3号砂轮的磨粒比 其他砂轮小,当进给速度大于0.03mm/s时,用3 号砂轮加[出的表面比1号砂轮好,但仍然不及2 号砂轮.这说明.较小的磨粒可能加工出较好的表 面质量,但对表面质量影响最大的是刀具形状. 1.4精密铣削及超声铣削
用铣削的方式加工光学玻璃这种脆硬材料,并 使其表面达到极高的精度看似是不可能的,但采用 适当的设计方法就可使这种不可能变为现实.根据 KevinFoy等人的研究u,在铣削加:[中,当刀具倾 斜一定角度对加工表面质量的提高作用是非常大 的.当刀具倾斜一定角度时,选择适当的加工参数 可使铣削加工一直处于延性加工模式之下.对已加 工表面进行观测发现,已加工表面无任何裂纹,而且 表面粗糙度Ra控制在60nm以下.
超声波铣削是近年来新兴的一种加工方法,特 别适合硬脆材料复杂型腔的加工.超声波铣削加工
使用简单形状工具,在计算机控制下利用CNC程序在y平面内实现二维轮廓加工,同时在Z轴方 向上实现逐层进给,把复杂型面的成形加工转变为 逐层去除加工L1.].磨粒在工具的3种运动的综合 作用下,不断地锤击,冲击,抛磨和刮擦工件表面来
完成加工【..通过铣削力的试验发现超声铣削的 铣削力大大低于普通铣削.在加工中,铣削参数和 进给量对铣削力的影响较大,对切削深度的影响较 小.与传统的超声波加工相比,超声波铣削大大简 化了超声波加工工艺过程的控制,不仅提高了整个 系统加工的柔性,而且还降低了加工成本,这种加工 方式适合于中小型腔,薄型面,复杂曲线型面和组合 型面的加工,采用超声波加[可以缩短5倍的加工 工时,所以说因解决脆硬材质加工而发展起来的超 声波铣削加工是加工光学玻璃的最好选择之一ll2. 2未来研究方向
光学玻璃在加工中易产生切削过程不稳定及刀 具磨损严重的现象,为获得无微缺陷的高品质加工 表面,需要精确控制加工条件以保证加工精度.现 阶段对ELID磨削技术的研究大多是关于使用 ELID方法提高各种硬脆材料加工的加工质量,对 于ELID电解机理,氧化膜的生成,物理化学性能, 力学性能方面研究较少,而这砦因素决定着EIID 磨削过程和质量.此外,EII11)磨削过程的在线监 控与优化以及磨削生产线试验加强研究等也是未来 研究的重点.由于磨削工具和工艺的复杂性,振动 磨削的磨削机理一直是超声磨削加l[技术研究和探 讨的重点,超声加工过程中的影响因素较多,随机性 较大,如何建立超声加工设备的自适应系统,以解决 随机性问题也是研究关键之一.激光加工的难点在 于对激光束参数的控制,其与工件材料性能和切削 参数密切相关.激光器和计算机数控技术,先进的 光学系统及高精度自动化的『=件定位相结合,研制 和生产加工中心,是激光加工发展的一个重要趋势.
由于我国的超精密铣削加:I:技术落后,超精密加工
机床功能单一_,因此,对精密铣削加工表面形貌预测
以及仿真来改进精密加工方法,对提高工件表面质
量和加工效率变得越加重要.近年来超精密加工技
术飞速发展,发展光学零件的超精密铣削加工技术,
研制高性能超精密铣削加工机床的需求越加迫切.
对光学玻璃的各种精密加工方法的研究日的不仅是
提高加工表面的质量,还包括如何减少工件表面残
余应力和亚表面裂纹的产生等,并且要简化加工工
艺过程,提高加工效率和加I:经济性.
参考文献
《新技术新工艺》?数字技术与机械加工工艺装备2011年第4期?23?
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作者简介:洪静(1987一),女,研究生,研究方向为精密与超
精密加工技术.
收稿日期:2010年12月2日
责任编辑李超
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——
摘自中国兵器工业集团公司网
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24?《新技术新工艺》?数字技术与机械加工工艺装备2011年第4期