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ICP_MS仪器的过去_现在和未来 现代科学仪器 Modern Scientific Instruments 第5期2011年10月 No.5 Oct. 2011 29 收稿日期:2011-05-16 作者简介:李金英(1957-),男(汉族),河北饶阳人,研究员,博士生导师,从事质谱在核工业中的应用研究 ICP-MS 仪器的过去、现在和未来 李金英 1 徐书荣 2 (1 中国质谱学会 北京 102413;2 国家地质实验测试中心 北京 100037) 摘 要 本文从 ICP-MS 仪器的各个结构组成,介绍了 ICP-MS 仪器硬件的发...

ICP_MS仪器的过去_现在和未来
现代科学仪器 Modern Scientific Instruments 第5期2011年10月 No.5 Oct. 2011 29 收稿日期:2011-05-16 作者简介:李金英(1957-),男(汉族),河北饶阳人,研究员,博士生导师,从事质谱在核工业中的应用研究 ICP-MS 仪器的过去、现在和未来 李金英 1 徐书荣 2 (1 中国质谱学会 北京 102413;2 国家地质实验测试中心 北京 100037) 摘 要 本文从 ICP-MS 仪器的各个结构组成,介绍了 ICP-MS 仪器硬件的发展历史和展望,其中重点讨论了 ICP-MS 进样 系统、离子透镜和池技术的发展现状和趋势。越来越多的 ICP-MS 配置了提升量小、雾化效率高的雾化器,Peltier 效应半导体精 密控温雾室以及可拆卸式的炬管,而直角偏转的离子透镜也逐渐成为潮流,这些因素提高了 ICP-MS 在 分析 定性数据统计分析pdf销售业绩分析模板建筑结构震害分析销售进度分析表京东商城竞争战略分析 高盐样品时的长期 稳定性的同时,降低了仪器维护的频率和难度。 关键词 ICP-MS; 现在 ;将来 ;评述 中图分类号 TH843 The Past , Current Situation and Developing Trend of ICP-MS Li Jingying1, Xu Shurong2 ( 1Chinese Mass Spectrometer , Beijing 102413; 2 National Research Center for Geoanalysis , Beijing 100037 ) Abstract Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer hardware history and prospect are introduced based on its framework. Current situation and developing trend of ICP-MS sample introduction system, ion lens and cell technology are the main points to discuss. More and more ICP-MS equip with low uptake, high effi ciency nebulizer, Peltier effect temperature precisely controlled chamber and detachable torch, and prevailing right angle defection ion lens, all these factors improve the long term stability for high total dissolved salt samples, and lower the frequency and difficulty of maintenance. Key words ICP-MS; The present;Developing trend ; Review 自 1983 年第一台商品化的电感耦合等离子体 质谱仪(ICP-MS)问世以来,由于它具有灵敏度高、 稳定性好、线性范围宽及多元素同时测定等优点,在 需要极低检出限的分析领域得到越来越广泛的应 用。例如,环境水体(地下水,地表水)的分析,其中 金属元素的限量均小于 10μg/L。相对应的各国 政府也出台了一系列法规和分析 方案 气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载 来完成对水体 质量的监控,如美国的 U.S. EPA 200.8 和中国的 GB5479 - 2006。同时随着人类逐渐进入信息化时 代,半导体产业得到了飞速的发展,ICP-MS 从而也 成为半导体行业所使用的高纯酸(如 HNO3,H3PO4) 等溶剂的质量控制分析的最主要手段。 随着工业和科技的发展,人们的生活水平也在 逐渐提高,但与此同时对于环境的破坏和资源的消 耗式开采进一步引发的人类健康等问题也成为了一 个全球关注的社会问题。如何有效的解决这些问题, 首先就要有一种很好的分析手段来检测污染的来源 和流向,ICP-MS 技术也在这样的背景下飞速发展, 应用领域从最初仅针对基体简单的水体和纯酸的分 析逐渐拓展到应对更加复杂的样品分析,如食品安 全、临床检测、地质勘探、冶金 材料 关于××同志的政审材料调查表环保先进个人材料国家普通话测试材料农民专业合作社注销四查四问剖析材料 等。另一方面,复 杂基体带来的各种干扰,也促进了 ICP-MS 仪器硬 件的不断改进以克服这些干扰,例如池技术是 ICP- MS 目前技术进展的最前沿。 ICP-MS 由如下几部分构成,如图 1 所示。本 文从这几部分结构出发,依次讨论 ICP-MS 仪器硬 件的最新进展。 图 1 ICP-MS 仪器硬件结构示意图 1 进样附件 采用传统的样品引入系统,其应用有一定的局 Modern Scientific Instruments30 No.5 Oct. 2011 限性。这些局限性包括:样品中总溶解固体量必须 低于 0.2%;样品中基体浓度高时需要更长的清洗时 间;样品测量周期受样品进样过程限制;样品制备过 程中步骤多时存在的污染问题;样品的稀释和加入 内标会增大实验强度和时间;如果需要去除基体,就 必须离线测量;对某些样品,基体抑制效应严重;分 析中,基体成分会产生严重的谱线重叠;有机溶剂导 致特殊的问题;固体和悬浮液分析非常困难;不能用 于分析元素的形态或氧化状态。 传统进样系统的改进主要体现在如下几点: (1)雾化器的最佳样品提升量减小。配合使 用内径更细的蠕动泵进样管,样品提升量从传统的 0.5-1.0mL/min 减 小 到 0.25mL/min 以 下,使 得 样品的消耗量更小,产生的废液更少,在样品处理过 程中减少了试剂的消耗,同时降低了样品基体对仪 器的沾污。由于微流量雾化器的喷嘴变小,使得反 压更大,喷雾更均匀,虽然样品提升量大幅降低,但 仪器的灵敏度并未显著降低。传统雾化器和微流量 雾化器的参数如表 1所示。 (2)雾室越来越多地使用半导体控温装置。传 统雾室没有控温装置,导致雾室随实验室温度的变 化而变化,影响了仪器的长期稳定性,制冷雾室可以 提高仪器稳定性,降低氧化物比值,而且随着形态分 析的增多,有机物的引入也需要对雾室制冷,降低 有机物的挥发性,避免等离子体熄灭。目前使用制 冷剂的雾室控温装置已经基本淘汰了,普遍使用半 导体控温实时温度显示的方式,制冷可以达到零下 20℃,控温精度 0.1℃,调节步长 0.1℃,可以实现对 汽油、石脑油、煤油、甲苯、环己烷、乙醇、甲醇等有机 物的直接进样分析。此外,对高盐样品可以进行半 导体加热至 80℃,有利于提高灵敏度,避免雾化冷凝 导致雾化器堵塞。在有机物直接进样分析时,必须 加氧以消除结碳,氧气流量通常在 10-100mL/min 的范围。 (3)可拆卸式炬管成为主流,耐 HF 酸进样系统 应用越来越普遍。可拆卸式炬管可以更方便地配置 耐 HF 酸的进样系统,而且炬管中心管可以单独拆 卸清洗,更方便维护。耐 HF 酸进样系统也可以分 析不含 HF 酸的样品,因而具有更大的适用性,从实 际使用效果来看,耐 HF 酸的进样系统使用寿命(5 年以上)要远远优于不耐 HF 酸的进样系统(1 年左 右)。 非 标准 excel标准偏差excel标准偏差函数exl标准差函数国标检验抽样标准表免费下载红头文件格式标准下载 进样工具,如激光烧蚀进样系统、流动注 射分析系统、自动稀释器、电热蒸发进样器、去溶装 置、直接注射雾化器和色谱分离装置等,在很大程度 上提高了 ICP-MS 分析实际样品的能力。这些进样 工具并不包含在仪器的标准配置里面,需要用户根 据自己的需要进行选购。对于某些特定的应用而言, 这些可选进样附件具有无可替代的价值。 2 离子源 在 Akbar Montaser 编 著 的《Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry》一书中,对 ICP-MS 的离子源进行了详尽的讨论。已经有大量 的研究表明,在 ICP-OES 中,较高的射频发生器频 率可以获得更好的检出限。当射频发生器的频率从 5MHz 增加到 56MHz 时,Fe(I) 谱线的激发温度从 6600K 降低到 4000K,原子电离的温度也同样随着 射频发生器频率的增加而降低 [13],也就是说,较高的 表 1 传统雾化器和微流量雾化器的参数 雾化器 气流出口截面积(mm2) 毛细管内径(µm) 毛细管壁厚(µm) 1L/min流量时反压(psig) 雾化器死体积(µL) 传统雾化器,0.5~1.0mL/min 同心雾化器 ~0.028 400 60 30-40 ~100 十字交叉雾化器 0.02 500 200 30-40 平行流路雾化器(传统流速) 0.03 425 - 30-40 微流量雾化器(<100-200µL/min) 高效雾化器 (HEN) [1] 0.007~0.008 80-100 30 150 Micromist (MMN) [2] 0.018 140 50 50 PFA雾化器[3] (PFAN) 0.021 270 40 微同心雾化器(MCN) [2] 0.017 100 30 50 0.64 平行流路雾化器 (低流速) [4] ~0.015 75 - 90-110 音速喷雾雾化器[5] 0.019 150 50 72 振荡毛细管雾化器[6] - 50 50 120-200 可拆卸式雾化器 DCN [7] 0.032 95 50 直接注入雾化器 (DIN) [8] 60 30 45/70* <1, 2 pl 直接注入高效雾化器(DIHEN) [9] 0.094 104 20 155 10-55 大孔径直接注入高效雾化器[10] (LB-DIHEN) 0.0371 318 16 36 可拆卸式 DIHEN [11] 0.005 40 10-May 70# 1.2 可拆卸式DIHEN [12] 0.008 100 21 20# 11 31第5期2011年10月 射频发生器频率可以使得待分析元素的原子更容易 激发和电离,从而在分析中获得更高的信噪比。 ICP-MS 和 ICP-OES 相 比 最 大 的 区 别 是, ICP-MS 在点炬之后等离子体会直接打到接口锥 上,由于电子迁移的速度远远快于带正电荷的离子, 导致采样锥、截取锥的电压会升高,与线圈之间会形 成较高的电势差而产生二次放电。采用两路射频的 平衡射频驱动(balanced RF drive system)ICP- MS 能够将二次放电消除,因而具有与 ICP-OES 相 同的规律,即较高的射频发生器频率具有更好的检 出限和信噪比。而对于采用一路射频的不平衡射频 驱 动(unbalanced RF drive system)ICP-MS,普 遍使用接地的圆筒形屏蔽炬将二次放电引出,屏蔽 炬起到了避雷针的作用,研究表明,射频线圈和屏蔽 炬之间会形成电磁感应,频率越高,这种电磁感应越 强,使得屏蔽炬引出二次放电的能力变差,所以在 不平衡射频驱动(unbalanced RF drive system) ICP-MS 上如果使用较高的频率,会导致检出限和 精密度变差,同时双电荷和氧化物的比值升高 [14-16]。 文献[17]在平衡射频驱动的射频发生器上比较了 40.68MHz 和 27.12MHz 的性能,发现较高的频率 可以获得较高的灵敏度,同时氧化物水平更低。较 高的频率可以使得在不同的雾化气流速下的离子密 度响应曲线更加平坦,在氧化物比值都处于最低水 平时,40.68MHz 的灵敏度比 27.12MHz 的灵敏度 高 6倍以上。 此外,安捷伦在最新推出的 ICP-MS 中放弃了 一贯使用的晶控式射频发生器,改用了自激式设计, 根据样品基体的不同,通过频率的波动,以调频的方 式稳定功率,可以使得 ICP-MS 分析高盐和挥发性 有机物时等离子体稳定性更好,更不容易熄火。 3 接口和真空系统 回顾一下 ICP-MS 的发展历史,我们就可以看 到接口和真空系统对 ICP-MS 的重要性。英国利物 浦 (Livepool) 大学的 J.Moruzzi 建立了第一套实验 设备,使用一个小的用于发射研究的实验室用直流 等离子体,等离子体的中心的温度可高达 5000 K。 尾焰接触到安装在第一级真空系统壁上的锥端小 孔,使用的锥孔直径为 70μm。使用镇南关发现仪 器的响应明显依赖于样品溶液中总的元素浓度,很 明显分析实际样品时基体效应很严重,而且电离能 在 9eV 以上的元素如A s、Se、Cd 和 Hg,其电离度 都低,这些元素的灵敏度令人失望。后来在 Iowa 州 立大学的 Ames 实验室的研究也使用了同样小的采 样锥孔径。这些孔径对于从很大的高温等离子体中 提取离子来说太小,并被 0.5 mm 厚的冷却气体边 界层所覆盖,效果同样令人失望。使用大锥孔的尝 试一开始也遭到失败,因为有太多的气体进入机械 泵,它会停止工作。直到加拿大 Toronto 大学的一 个新的研究小组采用涡轮分子泵和机械泵的组合真 空系统,才在 1982 年第一次实现了从大体积的 ICP 中提取出离子。到 1983 年诞生了两台商品仪器,一 台是由英国 VG 同位素有限公司生产的基于英国研 究小组的 PlasmaQuad,另一台是由加拿大 Sciex 公 司生产的基于 Toronto 研究小组的 Elan,该仪器由 美国 PE 公司经销。 由此可见,ICP-MS 锥孔的大小,与其说是技术 问题,还不如说是经济问题,越大的锥孔就需要配备 越大的真空系统,而真空系统是 ICP-MS 上最昂贵 的部件。炬管中心管的直径通常在 2mm 左右,锥被 循环水机冷却,会形成 0.5mm 的冷却边界层,高温 的等离子体接触到冷却边界层的温度会急剧下降, 本来已经电离的成分会重新化合成多原子离子干 扰,因此锥孔的直径应该在 3mm 以上才是合理的。 但出于成本的考虑,目前的 ICP-MS 锥孔直径都小 于 3mm。 从厂家的角度考虑是尽可能用较小泵速的真空 系统以节约成本,而从用户的角度则是真空系统泵 速越大越好。由于泵速很难测量,因而仪器在彻底 关机后进行冷启动的时间是衡量 ICP-MS 真空系统 大小的唯一可行手段。如果配备了足够大的真空系 统,冷启动时间小于 10 分钟是很容易达到的。冷启 动时间长的 ICP-MS,涡轮分子泵的故障会显著升 高,因为 ICP-MS 在点炬时,真空阀自动打开,会对 涡轮分子泵产生瞬间的冲击,超过小涡轮分子泵的 容量上限。 目前普通的 ICP-MS 采用两锥三级真空的设 计,而 GBC 和 PerkinElmer 最 新 推 出 的 ICP-MS 都采用了三锥四级真空的设计,使得离子束的聚焦 效果更好,真空系统更稳定。 4 离子透镜 离子从接口锥进入质谱,由于真空差而产生的 速度高达 2.5×105cm/s,由此可以计算出离子的轴 向动能 0.5×mV2 会随着质量数的增大而增大,从 6 amu 到 240 amu,相应的动能在 0.5—10eV 之间 [18]。 此外轴向动能还受到等离子体形成的空间电荷 李金英 等 :ICP-MS 仪器的过去、现在和未来 Modern Scientific Instruments32 No.5 Oct. 2011 层电压的影响。不平衡射频驱动的 ICP 在采样锥 和线圈之间形成 5 ~ 20V 的电势差 [19],该电势差的 能量壁垒已经超过了由于真空压力差而使离子获得 的 0.5 ~ 10eV 轴向动能,阻碍离子进入质谱仪真空 系统。为解决这个问题,在不平衡射频驱动的 ICP- MS 上,接口锥后面一定要使用提取透镜,以强负电 压将离子拉入质谱仪。但强负电压的加速作用会使 得离子偏转变得更加难以控制,因此离子透镜一般 采用离轴式设计,即先用一个向下的电场将离子束 偏转下来,然后再用一个向上的电场将离子束来回 水平状态,这两个电场组合在一起,被称为 W透镜。 而采用两路射频的平衡射频驱动设计,空间电 荷层电压只有 0.2 ~ 2.0V,无需提取透镜 [20],可以 采用直角偏转式的设计,将待分析离子与样品基体 彻底分离,仪器的维护更加简便,甚至可以实现离子 透镜的终身免维护。直角偏转可以用弯成直角的四 极杆来实现,也可以用立起来的四极杆实现,此时离 子束从四极杆的一个侧面进入,直角偏转后从另一 个侧面飞出。此外还可以用弯曲的磁场来实现直角 偏转,而在电磁双聚焦 ICP-MS 中则用了磁场和电 场的组合,实现了离子束近乎 180 度的偏转,从而获 得极低的背景噪音。 从市场上来看,目前采用直角偏转离子透镜的 厂家有精工、布鲁克(瓦里安)、GBC、PerkinElmer、 Spectro、Finngan、NU、GV 等厂家,而采用同轴离 轴式设计的只有热电和安捷伦两家,而且也 计划 项目进度计划表范例计划下载计划下载计划下载课程教学计划下载 在 不久的将来改为直角偏转式设计。 图 3 采用一路射频的设计(需要配合使用屏蔽炬)和采用两路射 频的平衡射频驱动设计(无需使用屏蔽炬)。 5 池技术 无论使用何种池技术,在池中通入气体后,虽然 人们希望其消除干扰,但事实上通过气体后的随机 碰撞会导致大量副反应,从而产生大量的副产物干 扰离子。如何在消除干扰的同时抑止副反应的发生 图 2 接口区电势差的形成。 A、不平衡射频驱动的线圈;B、电感耦合等离子体区,10000K;C、 来自雾室含有 Y元素的气溶胶;D、初始辐射区,Y原子和 YO 分 子发出红色的光,7500K;E、标准分析区,Y+ 离子发出蓝色的光, 6500K;F、采样锥,基座由循环冷却水进行冷却,400K;G、截取 锥,基座由循环冷却水进行冷却,300K;H、高温的等离子体接触 到采样锥后温度急剧下降而形成的冷却边界层;I、由于真空压力 差而形成的超声喷射流,经过截取锥后速度高达 2.5×105cm/s, 离子的动能在 0.5 ~ 10eV 之间;J、由于电子迁移速度快而 Ar+ 离子迁移速度慢而形成的空间电荷层,采样锥和线圈之间形成 5~ 20V 的电势差。 表 2 碰撞反应池工作原理的区别 工作原理 池体 池名称 池气体 使用效果 DBT 质量甄别 四极杆 动态反应池(DRC) 或通用池(UCT) He、H2 O2、CH4、NH3等各种气体 可以消除比分析物高107倍的干扰 彻底消除干扰,分析物灵敏度不变 碰撞反应气体种类选择余地大 类似于专业相机,对操作者要求高,适合于复杂的研究工作 KED 动能甄别 四极杆 六极杆 八极杆 通用池(UCT) 碰撞池(CCT) 碰撞反应池(ORS) He、H2 He、H2 He、H2 可以消除比分析物高100倍的干扰 消除干扰不彻底,分析物灵敏度剧降 只适合消除由Ar离子形成的体积较大的干扰,对于ClO+、CN+、NO+、OO+等干扰没有效果 碰撞反应气体种类选择余地小 类似于傻瓜相机,对操作者要求低,适合于简单的例行分析 表 3 ICP-MS 的工作模式和不同模式的适用范围 工作模式 标准模式 碰撞模式(KED模式) 反应模式(DBT模式) 干扰消除方法 校正公式干扰消除模式 碰撞气体: 氦气(He)、氢气(H2) 氦气、氢气小分子量气体碰撞以降低离子动能, 并将大体积的离子动能与小体积的离子动能拉开 差距,最后以反向正电场动能甄别KED将大体积 的干扰消除。 反应气体: 还原性气体:CH4、NH3 氧化性气体:O2、N2O 甲烷、氧气、氨气反应消除干扰离子的电荷,或者使分析物转化为 质量数不同的分子离子避开原质量数处的干扰,同时以四极杆动态 质量带宽调谐DBT控制副反应的形成。 适用范围 干扰/分析物强度比<1 干扰/分析物强度比<100 并且干扰/分析物体积比>1.5 可以消除107以上的干扰 与干扰的体积无关 必须用反应活性强的气体 33第5期2011年10月 是各种池技术最本质的区别,这个最大的区别就是 四极杆动态带宽调谐(DBT)与动能甄别(KED)的 区别。 表 4 池技术中常用的气体以及性质 气体 分子量 电离能(eV) NH3 17 10.16 O2 32 12.07 CH4 16 12.51 H2 2 15.43 Ar 40 15.76 He 4 24.59 碰撞气体的特点是分子量小(低于 5),而且电 离能高,接近或者超过 Ar 的电离能,通过碰撞气体 的多次碰撞后,体积大的干扰物动能降低更多,在动 能甄别(KED)的正电场作用下被阻挡,无法进入主 四极杆而被消除。但 KED 无法消除 ClO、NO、O2、 CN、CaCl、CaO 等键能极高而且体积很小的多原子 离子干扰。KED 的另一个主要缺点是动能不是一个 严格的值,而是一个分布范围,因而动能甄别的正电 场只能挡住一部分干扰,干扰消除不彻底,而且待分 析物的灵敏度也会大幅降低。 而 DBT 用的反应气体分子量都在 15 以上,可 以使用 100% 的纯反应性气体以提高反应效率,并且 电离能比 Ar 的电离能小 3eV 以上,其电子很容易 被 Ar+ 离子夺走,将 Ar+ 中和成不带电的原子,从 而将干扰物解离而消除。反应气的主要缺点是反应 的副产物非常多,消除一个干扰,可能形成几百个干 扰,必须将这些副产物离子及时清除,而只有四极杆 质量甄别 DBT 具有质量过滤的功能,可以立即消除 这些副产物。对于六极杆和八极杆而言使用反应性 气体并不能带来性能上的提高。 图 4 采用 DBT 技术 40Ar+ 的背景信号降低了 8个数量级,40Ca+ 的检出限 <0.5ppt。 如图 4 所示,NH3 的流速为最佳值时,40Ar+ 的 背景信号大约降低了 8 个数量级,使得 40Ca+ 的检出 限 <0.5ppt。虽然六极杆和八极杆也可以采用 H2 或者 1% 的 NH3 作为反应气(通过动能甄别 KED 来 消除副产物)可以有效降低 40Ar+ 的背景,但它比使 用 100% 的强反应性气体需要发生更频繁的碰撞,由 于 40Ca+ 经历了与 40Ar+ 同样多次的碰撞也损失了部 分动能,它们的体积几乎一样大,这意味着通过动能 的差别无法将它们区分开。 6 质量分析器和检测器 对使用离散打拿极检测器的 ICP-MS 而言,除 极个别厂家的检测器是 108 数量级线性动态范围外, 绝大多数厂家的检测器都可以达到 109 数量级的线 性动态范围,而且使用寿命一般都可以达到 5 年以 上。线性范围窄,意味着打拿极的个数少,这样的检 测器使用寿命一般在 2年左右。 检测器技术的最新突破性进展是 Spectro 公司 采用的 4800 个通道的检测器同时获取从 Li 到 U 的 全谱,无需四极杆或者磁场扫描,实现了 ICP-MS 中 的“全谱直读”测量。 表 5 ICP-MS 的质量分析器和检测器 质量分析器类型 检测器数量 仪器厂家 四极杆、串级四极杆 1个 PerkinElmer、Agilent、Thermo、 Bruker 飞行时间 1个 GBC、LECO 电磁双聚焦 1个或多个 Finngan、NU、Spectro、GV 7 展望 从 ICP-MS 目前发展态势来看,因食品安全法 规和药典的更新和加强,ICP-MS 有逐渐取代石墨 炉原子吸收的趋势,在今后相当长的一段时间将迎 来快速发展的阶段,尤其是在亚洲。 从 ICP-MS 制造商来看,有越来越多的国家具 备了 ICP-MS 的生产能力,相信很快所有的 ICP- OES 制造商都会推出自己的 ICP-MS 产品。在不 久的将来,作为制造业大国的中国,也必将出现多个 中国的 ICP-MS 制造商,为 ICP-MS 的技术进步和 推广应用做出贡献。 从 ICP-MS 硬件而言,进样系统、射频发生器、 接口和真空系统都已经是相当成熟的技术。离子透 镜、池技术、质量分析器和检测器将是未来 ICP-MS 发展的热点。直角偏转式的离子透镜将成为潮流, 离轴式的设计将逐渐被淘汰。池技术将不仅作为例 行分析的工具,更将成为重要的研究手段,而且不仅 会用作四极杆类型的 ICP-MS 上,今后池技术也将 应用到飞行时间和电磁双聚焦的 ICP-MS 上。日立 在 ICP-MS 中尝试了离子阱作为质量分析器,但由 于整体性能不佳而放弃,不过其特点还是值得继续 进行研究的。 ICP-MS 的软件比硬件更新的更快,最突出的 李金英 等 :ICP-MS 仪器的过去、现在和未来 Modern Scientific Instruments34 No.5 Oct. 2011 是形态分析软件模块的不断成熟,此外为便于开拓 中国市场, 各 ICP-MS 厂商纷纷推出了全中文版本的 ICP-MS 软件。 参考文献 [1]  H. 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