中华人民共和国国家计量检定规程
JJG 28- 2000
平 E日 日日
Optical Flat
2000一07一09发布 2000一09一15实施
国 家 质 量 技 术 监 督 局 发布
JJG 28- 2000
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JJG 28-2000
代替JJG 89-1986
JJG 28-1991
JJG 29-1991
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平 晶 检 定 规 程
Vrification Regulation of Optical Flat
、 .‘,.‘,.‘,.‘,.‘,.‘,.‘,.‘,.‘,.‘,.‘,.‘,.‘,
本规程经国家质量技术监督局2000年07月09日批准,并自2000年
09月15日起施行。
归 口 单 位:全国几何量工程参量计量技术委员会
主要起草单位:湖南省计量测试技术研究所
本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释
ITG 28-2000
本规程主要起草人:
郭 德 (湖南省计量测试技术研究所)
陈 勇 (湖南省计量测试技术研究所)
刘丽娟 (湖南省计量测试技术研究所)
曾 淡 (湖南省计量测试技术研究所)
.LIG 28-2000
目 录
1 范围···································,················。················。····················⋯⋯ (1)
2 引用文献····················································································⋯⋯ (1)
3 概述··························································································⋯⋯ (1)
4 计量性能要求·...................................................................................(2)
4.1平行度····················································································⋯⋯ (2)
4.2 工作面平面度································。··········································⋯⋯ (3)
4.3 非工作面的平面度····················,················································⋯⋯ (4)
4.4 稳定性。···················································································⋯⋯ (4)
5 通用技术要求·············。····。···························································⋯⋯ (4)
5.1 外观及
表
关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf
面质量·.............................................................................(4)
5.2 外形尺寸·......................................................................................(4)
5.3 长平晶十字刻线位置·.......................................................................(6)
5.4 两端面夹角···································································。··········⋯⋯ (6)
5.5 工作面与圆柱母线的垂直度······················,····················。·············⋯⋯ (6)
6 计量器具控制。。·。································,·········································⋯⋯(6)
6.1 检定项目及主要检定设备····························································⋯⋯ (6)
6.2 检定条件···········································································,·····⋯⋯ (6)
6.3 检定
方法
快递客服问题件处理详细方法山木方法pdf计算方法pdf华与华方法下载八字理论方法下载
······················································。···························。一 (9)
6.4 定型鉴定或样机试验·········································。··。·····················⋯⋯ (12)
7 检定结果处理·................................................................................... (13)
8 检定周期····················································································⋯⋯ (13)
附录A 平晶表面疵病的尺寸及数量 ·········。·········································⋯⋯ (14)
附录B 平晶
材料
关于××同志的政审材料调查表环保先进个人材料国家普通话测试材料农民专业合作社注销四查四问剖析材料
的试验方法 ·................................................................. (16)
附录C 四面法检定长平晶数据处理 ····························。·······。·····。。·······⋯⋯ (20)
附录D 等厚干涉法 ··········································,·····························⋯⋯ (24)
附录E 等倾干涉法 ·········································································。一 (26)
附录F 长平晶自重变形量 ·······························································⋯⋯ (28)
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平晶检定规程
范围
本规程适用于平面平晶、平行平晶和长平晶 (以下统称平晶)的定型鉴定 (或样机
试验)、首次检定、后续检定和使用中检验。
引用文献
本规程引用下列文献:
JB/T 7401-1994平面平晶
JB/T 7402-1994平行平晶
JJF 1001-1998通用计量术语及定义
JJF 1059-1999测量不确定度评定与表示
GB/T 15464-1995仪器仪表包装通用技术条件
GB 903-1987无色光学玻璃
使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
概述
平晶是以光波干涉法测量平面的平面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具。
平面平晶分单、双工作面平晶。按用途又可分为
标准
excel标准偏差excel标准偏差函数exl标准差函数国标检验抽样标准表免费下载红头文件格式标准下载
平晶和工作平晶两大类。工作
平晶分为1, 2级,标准平晶分为 1, 2等 (其外形见图1)0
tx4夕
心 20
tx45
双工作面平晶 单工作面平晶
图 1
平行平晶共分四个系列,每个系列中尺寸相邻的四块可组成一套 (其外形见图2)0
长平晶按尺寸分为210 mm和310 mm两种 (其外形见图3)0
.TJG 28-2000
刻商标编号
??
?
图 2
非工作面
图 3
计,性能要求
平行度
平行平晶两工作面的平行度 (见表1的规定)。
表 1
系 列 两工作面的平行度 (Ym)
I,II 0.6
fu 0.8
N 1.0
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4.2 工作面平面度
4.2.1 平面平晶工作面的平面度
4.2.1.1 工作平晶工作面的平面度在任意两个相互垂直的截面上的要求 (见表2)0
两个截面的平面度之差对于 1级平晶不大于0.03 tm,对于2级平晶不大于
0.05 tm,在有效直径外只允许塌边,但1级平晶在有效直径外0.5 mm内不得有塌边。
4.2.1.2 只有规格尺寸为 150二 的1级平晶才可检定为标准平晶。1等标准平晶测量
的扩展不确定度 U (k二3或p=0.99)不大于0.010 rLm,有效直径内的平面度不大于
0.03 [m,任意两个截面平面度之差不大于0.015 fcm, (2/3) d内的平面度不大于
0.015 Km; 2等标准平晶测量的扩展不确定度U (k=3或p=0.99)不大于0.020 tim,
有效直径内的平面度不大于0.05 tLm,任意两个截面平面度之差不大于0.03 tim,
(2/3) d内的平面度不大于0.03 pmo (2/3) d内的平面度应与总偏差方向一致,两个
截面的偏差方向也应一致。
4.2.2平行平晶工作面的平面度不大于0.1 pm(距工作面边缘0.5。 范围内只允许
塌边),中间三分之二直径范围内的平面度不大于0.05 ttmo
4.2.3 长平晶工作面的平面度 (见表3的规定)。
.UG 28-2000
表 3
规格 (mm)
平 面 度 (gym)
在工作长度内 (在无自重变形时) 在横向40 mm内
210 一0.3一0 0.1
310 一0.45一一0.15 0.1
注:“一”表示凹
4.3 非工作面的平面度
4.3.1 平面平晶非工作面的平面度不应超过3 tmo
4.3.2 长平晶非工作面的平面度在任意100 mm内不应超过1.0 prna
4.4 稳定性
1等标准平晶和210 mm长平晶两次周期检定的平面度之差应不大于0.010 [m, 2
等标准平晶和310 mm长平晶两次周期检定的平面度之差应不大于0.020 pmo
通用技术要求
5.1 外观及表面质量
平晶非工作面上应标有制造厂厂名(或厂标)、出厂编号、砸}标志,长平晶非
工作面上还应刻有受检点位置的十字刻线。刻字、刻线应清晰。
平晶表面应无破损,玻璃材质应透明,无明显的气泡和条纹,对于新制造的和修理
后的平晶表面疵病的尺寸和数量见附录A。使用中的平晶工作面允许有不影响准确度和
不损伤被测量具工作面的划痕和破损。
5.2 外形尺寸
5.2.1平面平晶的外形尺寸 (见表4的规定)。修理后的平晶厚度尺寸H允许对基本
尺寸减少3 mm,
表 4
、享赢Rf',Pa n1 D H t b
30 30士0.8 10士1.35 1十8a 6一8
45 45士0.8 15士1.35 1十8a 10
60 60士0.95 20士1.65 1十8a 10
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表 4 (续 )
、草赢R }'-Vam4 D H t b
80 80士0.95 20土1.65 1.5十8a 10
100 100士1.1 25士1.65 1.5'吕a 10
150 150士1.25 30士1.65 2十吕a 10
200 200士1.45 40士1.95 3十8a 10
5.2.2 平行平晶的外形尺寸 (见表5的规定)。对于修理后的平晶,其规格尺寸不应小
表 5
尺 寸 极限偏差
规 格尺寸 系列
I II In N
H 士0.01
15.00 40.00 65.00 90.00
15.12 40.12 65.12 90.12
15.25 40.25 65.25 90.25
15.37 40.37 65.37 90.37
15.50 40.50 65.50 90.50
15.62 40.62 65.62 90.62
15.75 40.75 65.75 90.75
15.87 40.87 65.87 90.87
16.00 41.00 66.00 91.00
D 士0.8 30 30 40 50
b 6一8 6一 8 8 8
H, 9 34 59 84
t 1十84
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于H1,但四块平晶尺寸H的递差必须在0.11--0.14 nim之间。
5.2.3 长平晶的外形尺寸 (见表6的规定)。两面角倒角为 (0.5士0.1) rim ,三面角
倒角为 (1士0.15) nmmo
表 6
长平晶长度 宽 度
厚 度
新 制 的 修 理 后
210士1 40士1 25土0.5 )23
310士1 40士1 30士0.5 )27
5.3 长平晶十字刻线位置
长平晶的非工作面上有表示受检点位置的十字刻线,对于210 mm长平晶有7个十
字刻线,刻线间隔为30 mm,两端十字刻线距端面为15 nim;对于310 nim长平晶两端
十字刻线距端面为20 mm,刻线间隔为30 rnm,共有9个间隔,另外在对称中点位置增
加1个十字刻线,共 11个十字刻线。
以非工作面向上,厂标刻字顺序为准,左边第1个十字刻线为零位十字刻线,从零
位十字刻线至其他各十字刻线的距离对标称尺寸的偏差应不大于0.1 nim,两端十字刻
线距端面的距离对标称尺寸的偏差应不大于0.2 nim,十字刻线在平晶上的位置应对称。
54 两端面夹角
平面平晶工作面与非工作面的夹角对于D30 mm--D100 mm平晶为10‘一20'之间,
对于D150 mm-D200 rnm平晶为7'一12'之间。
长平晶工作面与非工作面的夹角,在纵向两端厚度差应不大于0.1 mm,在横向两
端厚度差应在0.1一0.2 mm之间。
5.5 工作面与圆柱母线的垂直度
平行平晶工作面与圆柱母线的垂直度不大于100
6 计f器具控制
计量器具控制包括首次检定、后续检定、使用中的检验、定型鉴定或样机试验。
6.1 检定项目及主要检定设备
检定项目和主要检定设备见表70
6.2 检定条件
6.2.1平面平晶、长平晶检定前必须放置在 (20士5)℃和湿度不大于80 % RH的检定
室内进行等温,等温时间不少于表8的规定。
6.2.2 平行平晶检定前必须放置在 (20士3)℃和湿度不大于80 % RH的检定室内进行
等温,等温时间不少于10 ho
6
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表 7
序
号
检 定 项 目 主要 检定 工具
检 定 类 别
新
制
的
后续检定 使
用
中
的
检
验
平
行
平
曰
日日
平
面
平
晶
长
平
晶
修
理
后
周
期
检
定
1 外观及表面质量 放大镜 + + + + △ △ △
2 外形 尺寸
游标卡尺、立式
光学计、6等或
3级量块、测长仪
+ + △ △ △
3 两端面夹角 百分表、专用
台架、表式卡规
+ + △ △
4 十字刻线位置 万能工具显微镜 + + △
5
工作面与
母线垂直度
游标角度规 + + △
6 非工作面平面度 平面平 晶 + + △ △
7 两工作面的平行度
光学计或激光
平面等厚干涉仪
+ + + + △
8 工作面平面度
标准平晶、
平面等厚干涉仪、
平面等倾干涉仪
+ + + + 艺、 Z、 △
9 长平晶自重变形量
平面等倾干涉仪、
长平晶及专用祛码
+ + △
注:表中 “+”表示应检定,“一”表示可不检定,“△”表示该类平晶有此项目
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表 8
平晶类别 平晶规格 (, ) 等温时间 (h)
平
面
平
晶
30, 45 10
60 16
80 18
100 20
150 30
200 35
长 平 晶
210 10
310 16
6.2.3 检定平面度前,平晶在仪器内等温的时间和室温变化见表9的规定。
表 9
平晶类别 平晶规格 (mm ) 等温时间 (h) 24 h室温变化 (℃)1h室温变化 (℃)
平面平晶
30, 45, 60 0.5 2.5 0.5
80, 100 1 1.5 0.2
巧0, 200 2 1.0 0.1
I,II系列 0.5 2.5 0.5
m,N系列 1 2.5 0.5
长 平 晶
210 1 1.0 0.1
310 1.5 1.0 0.1
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6.3 检定方法
6.3.1 外观及表面质量
以黑色屏幕为背景,在8-15 W日光灯照射下,借助4-6倍放大镜,目力观察。
6.3.2 外形尺寸
平行平晶中心长度尺寸H用6等或3级量块在光学计上进行比较检定,也可以用
测长仪直接检定或用测量的扩展不确定度U (k=2或p=0.95)不大于2.5 tm的其他
方法进行。
其他外形尺寸用游标卡尺进行检定。
6.3.3 长平晶十字刻线位置
在万能工具显微镜上检定。
6.3.4 两端面夹角
平面平晶两端面夹角用1级百分表和专用台架或表式卡规检定。检定时,在任意直
径方向两端的读数差 (见表10的规定)。
长平晶两端面的夹角用分度值为0.02 mm的游标卡尺检定。
表 10
平 晶 规 格 百 分 表 读 数 差
30 0.09一 0.17
45 0.13-0.26
60 0.17一 0.35
80 0.23--0.47
100 0.29--0.58
150 0.31一0.65
200 0.41一0.87
6.3.5 工作面与圆柱母线的垂直度
用分度值不大于5’的游标角度规进行检定。
6.3.6 非工作面的平面度
平面平晶采用不小于被检平面平晶直径的2级平晶检定,长平晶用D100 mm2级
平晶检定。
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6.3.7 两工作面的平行度
用光学计或测量的扩展不确定度U (k二3或p二0.99)不大于。. 2 jLm的其他方法
进行检定。
检定时,在4个均匀的直径方向距边缘 1二 的8个点上进行测量,每点测量两次
取平均值,在8个测得值中,取其最大差值作为平行度。
平行度也可以在激光平面等厚干涉仪上检定。检定时,将平行平晶放人干涉仪工作
台上,调整工作台,使视场中出现平行平晶上下两工作面产生的干涉条纹,测量条纹的
间隔a和视场中平行平晶工作面直径D,则平行度为:
D _A
己 = — 入 一万一
a 乙n
(1)
式中:a- 激光波长,mm;
n— 平行平晶玻璃材质的折射率。
6.3.8 工作面的平面度
6.3.8.1 与标准平晶比较法
平行平晶及D30 mm--D100二 的工作平晶用平面等厚干涉仪与2等标准平晶比
较检定;D150 mm的1级平晶用平面等倾干涉仪与1等标准平晶比较检定,D150二
的2级平晶用平面等倾干涉仪与2等标准平晶比较检定;D30 mm -D150 mm的1级、
2级平晶也可在带标准平晶的平面等厚干涉仪上检定。平面度的检定应在任意相互垂直
的截面上进行。
6.3.8.2 多面互检法
参加互检的平晶其外形尺寸、材料应一致。平面平晶被检两个截面应与刻字成450
(见图4),长平晶只检一个截面。
a)三面互检法
D150二 以上的1级、2级平面平晶及长平晶可采用三面互检法在等倾干涉仪上
dJG 28- 2000
进行检定。三面互检组合时必须选用一块已知平面度 (平面平晶应为 1级)的平晶参加
互检,该平晶此次的检定结果与原已知的平面度之差应不大于0.015 pm,否则应重新
检定。平面平晶互检时应注意直径截面方向要一一对应。
用三面互检法检定,每块平晶每点的平面度偏差值由 (2)式求出:
A = (Tabi+T 一Tbci)
2
式中: A,B,G— A, B
T,&< ,Tar,Tbc,- A,B
b)四面互检法
〔T-1+T 一工 )
= 一 (2
2
(T.,, +Tba一Tb)
2
C三块平晶在i点的平面度偏差值;
C三块平晶互检时,在2点的平面度偏差值之和。
1等、2等标准平面平晶及长平晶在等倾干涉仪上用四面法检定,4块平晶依次组
合 6次互检,每块平晶的平面度偏差值按 (3)式计算:
2(Tb,+T +Tadi)一(Tb}+T ,d,+Tad,)
6
2(Tb,+Tba+Tad,)一(T +T'di+Tadi)
6
2(T ,i+Tb,+Td,)一(Tbi+Tad,+Tbdi)
6
(3)
2(T}d,+Tbdi+Td,)一(Tlh,+Tom,十T}i)
6
并由公式 (4)计算检定结果的残差:
4`i=大+Ki一Tiki (4)
式中:今ki— 平晶J和K互检时,在2点的残差;
J, K— 分别为A, B, C, D四块平晶中的某两块;
rjk— 互检的某两块平晶在Z点的平面度偏差值之和;
Ji, K— 分别为平晶J, K在i点的平面度偏差值。
测量两平晶平面度之和时的标准不确定度u、由下式计算:
。,一八Y- 2L (5)
式中:1 },弘— 6二个残差平方之和;
n- 截面被测点数。对于D150二 平面平晶,n=5;对于210 nim长平
晶,n=7;对于310二 长平晶,n=10o
测量每块平晶的平面度的标准不确定度。:可由公式 (6)求出:
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u2一薇 (6)
对于1等平面平晶、210二 长平晶,其平面度测量的扩展不确定度U (k=3或p
二0.99)应不超过0.010 14m;对于2等平面平晶、310 mm长平晶,其平面度测量的扩
展不确定度U (k=3或p =0.99)应不超过0.020 tm。否则应重新检定。
6.3.8.3 如果三种方法检定结果出现争议时,应以 “四面法”互检的结果为准。四面
法检定平晶数据处理见附录Co
6.3.8.4 等厚干涉法和等倾干涉法见附录D和附录Eo
6.3.9 长平晶横向40 mm内平面度
用D60 mml级平晶检定。
6.3.10 新制造的和修理后的长平晶需检定其自重变形量,检定方法见附录Fo
6.4 定型鉴定或样机试验
6.4.1总则
6.4.1.1 平晶制造厂对新研制的各型式的平晶都要申请办理定型鉴定或样机试验。
6.4.1.2 未经许可,不得对已批准的型式作修改和补充。
6.4.2 定型鉴定的技术文件
根据 (UjF 1015-199()计量器具定型鉴定通用规范》的要求,提供相应的技术文件。
6.4.3 定型鉴定项目和样品的抽样方法
6.4.3.1 定型鉴定时,除包括本规程中的全部检定项目 (见表7)外,还应对平晶材
料的应力双折射、条纹度、气泡度进行试验,其试验方法和步骤应按附录B进行。必
要时,还可对平晶的包装及储运基本环境条件进行试验,其试验可参照 《GB/1'
15464-1995 仪器仪表包装通用技术条件》进行。
6.4.3.2 定型鉴定的样品应从出厂检验合格的产品中随机抽取,抽样采用GB 2829中
一次抽样检查。
6.4.3.3 定型鉴定的项目分组,判别水平 (DL),不合格质量水平 (RQL)和抽样方
案见表11的规定。
表 11
不合格类别 技术条款 RQL 抽样
方案
气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载
DL
A 计量性能要求 30 Ac=O; Re=1
IB 附录B 65 八c=1; Re=2
c 通用技术要求 100 Ac=2; Re=3
6.4.3.4 申请系列新产品的定型鉴定,每系列产品中选取三分之一有代表性的规格进
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行试验。系列新产品的试验规格的选择,应由定型鉴定的技术机构根据申请单位提供的
技术文件确定。
6.4.4 样机试验的申请与新产品定型鉴定的申请一样。样机试验的试验项目和试验方
法,应与已定型的试验项目和试验方法一致,其技术指标不得低于已定型的型式。
7 检定结果处理
经检定符合本规程要求的平晶,出具检定证书;对于1, 2等标准平晶和长平晶,
检定证书中应给出检定结果及其扩展不确定度。不符合本规程要求的平晶发检定不合格
通知书,并注明不合格项目。
8 检定周期
工作平晶根据使用情况确定检定周期,最长不超过1年。
标准平晶和长平晶检定周期为 1年,5年后可延长至2年。
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附录 A
平晶表面疵病的尺寸及数量
A.1 平晶工作面的表面疵病 (见表A的规定)。
A.2 平晶的工作面表面疵病不应密集。对非工作面表面疵病未超过表A规定时,在限
定D20 mm范围内,D (0.4--0.7) rim的粗麻点允许3个,宽度为0.04-0.07 mm
的粗擦痕总长度允许20 rnmo
表 A
序
号
名 称
单
位
平 面 平 晶 (mm)
平 行平 晶
D30 D45 D60 080
一
D 100 D150 D200
各
工
作
面
1卜
工
作
面
各
工
作
面
I卜
工
作
面
各
工
作
面
A卜
工
作
面
各}
工
作
面
I习卜
工
作
面
各
工
作
面
翔卜一
工
作
面
一各
工
作
面
习卜
工
作
面
各
工
作
面
习卜
工
作
面
I II fu 1V
l
D (0.015
--0.2)
mm麻点
总数量镇
个 20 31 43 57 73 112 150 22 22 30 38
2
D (0.015
一0.7)
mm麻点
总数量(
个
一
25
}
39 54
一
92 140 188
3
D (0.1一
0.2) mm
粗麻点 (其
中)镇
个 3 4 5 7 9 14 19 3 3 4 5
4
D (0.4一
0.7) mm
粗麻点 (其
中)毛
个 3 4 5 7 9 14 19
5
宽度为
0.006一
0.02 mm
擦痕总
长度(
】1刀r:50 78 108 142 184 280 376 56 56 76 96
dJG 28-2000
表 A (续 )
序
号
名 称
单
位
平 面 平 晶 (mm)
平行 平 晶
D30 D45 D60 D80 M OO D 150 D200
各
工
作
面
习卜
工
作
面
各
工
作
面
I卜
工
作
面
各
工
作
面
I卜
工
作
面
各
工
作
面
刁卜
工
作
面
各
工
作
面
习卜
工
作
面
各
工
作
面
A卜
工
作
面
各
工
作
面
」卜
工
作
面
I II 19 IV
6
宽度为
10.01- 0.07
rnm擦痕总
长度镇
rrrn 50 78 108 142 184 280 376
7
宽度为
0.01一
0.02 mm
粗擦痕
(其中)
rnn 5 7.8 10.8 14.2 1凡 , 28 37 〔 5.6 5.6 7.69.6
8
宽度为
10.04一0.07
二 粗擦痕
(其中)
】1〔 5 7.8 10.8 14.3 18.4 28 37.61
注:长平晶表面疵病参照D 150二 平面平晶的表面疵病要求
JJG 28- 2000
附录 B
平晶材料的试验方法
B. l 中部应力双折射试验
B.1.1 试验目的
确定平晶材料的中部应力双折射是否符合 《GB 903-1987无色光学玻璃》中
2.2.3.1的要求,即中部应力双折射以最长边中部单位长度上的光程差8 (nm/cm)表
示时,应达到2类 ((3小于或等于6 nm/cm) o
B.1.2 试验设备
B.1.2.1 试验设备可采用普通检偏器偏光应力仪或半影检偏器偏光应力仪。
B.1.2.2 测量范围不小于300二 的游标卡尺。
B.1.2.3 试验设备的主要光学元件技术指标要求:
— 干涉滤光片的峰值波长为 (540 1 5) nm,半宽度6 rim,在可见光区不允许有
次峰。
- A /4波片的光程差为 (135土5) nmo
— 偏振片的偏振度不低于0.990
B.1.3 试验要求
B.1.3.1 平晶按尺寸大小在实验室的恒温时间 (见表B.1的规定)。
表 B.1
B.1.3.2
B.1.3.3
为3 nm;
折射液与平晶的折射率之差不大于0.0150
采用普通检偏器时,对总光程差测量的扩展不确定度 U (k=2或p=0.95)
采用半影检偏器时,总光程差测量的扩展不确定度 U (k=2或p二0.95)为
1 nmo
B.1.4
B 1.4
试验步骤
采用普通检偏器偏光应力仪时,通过检偏器观察平晶,
条,则干涉级次N=0。转动检偏器,两条干涉暗带向中部靠拢,
16
如发现干涉暗带为两
直至最暗。读取度盘
JJG 28-2000
转角a,按下式计算总光程差:
“一 NA+180' (B.1)
式中:8-,x— 总光程差,nn;
N— 干涉级次;
A— 测量用单色光波长,nm;
a— 检偏器偏转角,(“)。
如发现有成对多条干涉暗带,则将干涉滤光片撤离光路,记下两条黑色暗带间的干
涉条纹数N;再将干涉滤光片置人光路,转动检偏器,使最靠近平晶中部的两条暗带
向中部靠拢,直至最暗。读取度盘转角a,按公式 (B.1)计算总光程差8,
B.1.4.2 采用半影检偏器偏光应力仪时,通过检偏器观察平晶的两条干涉暗带,转动
检偏器,使两条暗带向中部靠拢,直至最暗,确定干涉暗带的收缩中心与半影检偏器的
中心重合,并使半影检偏器的分界线与平晶的干涉暗带方向垂直。然后转动半影检偏
器,直至两半视场亮度相同,读取度盘转角a,按公式 (B.1)计算总光程差8.0
B15 试验结果
B.1.5.1 按下式计算平晶每厘米长度上的光程差 8?(nm/cm):
8.?n
an=下 (B.2)
式中:8-— 最大总光程差,nm;
L - 测量方向的长度,cm.
B.1.5.2 按 《GB 903-1987无色光学玻璃》中的2.2.3.1的规定,确定平晶材料的中
部应力双折射的类别。
B.2 条纹度试验
B.2.1 试验目的
确定平晶材料的条纹度是否符合 《GB 903-1987无色光学玻璃》中2.2.4.1和
2.2.4.2款的要求,既每300 cm3平晶材料中允许有长度小于12 mm的条纹影像10根,
但彼此相距不得小于 10 mm;观察方向数为20
B.2.2 试验设备
B.2.2.1 投影条纹仪
B.2.2.2 投影条纹仪的技术指标为:
— 在正常工作时投影屏上照度不小于20 Ix.
-— 检测边长或直径小于150 mm的平晶时聚光镜的组合焦距为40一60 mm。检
测边长或直径小于300 mm的平晶时则组合焦距为80--100 mm.
一 应带有直径为 (1士0.05) rim, (2士0.05) nun, (a士0.05) mm的光阑各一
个,并能快速定位。
— 滤光片系厚度为1 rim 的有色玻璃,其牌号为AB,, ABS, A氏、AB,, AB16,
17
JJG 28-2000
LB?、QB22各一块,并能快速转换。
B.2.3 试验要求
B.2.3.1折射液与被检平晶的折射率之差不大于0.001,并保持清洁。
B.2.3.2 检测时,液槽沿通光方向的液层厚度不大于40 mm,
B.2.3.3 平晶与投影屏间的距离为 (250 1 10) mm;光阑与投影屏间的距离为 (750
士30) mm.
B.2.4 试验步骤
B.2.4.1 用辐射状分划板校正仪器,使仪器处于正常状态。
B.2.4.2选择适当的液槽和折射液,将液槽置于载物台上,倒人适量折射液,放人被
检平晶,检测时载物台转动士45。角,以便正确判断被检平晶内条纹的程度。
B.2.5试验结果
按 《GB 903-1987无色光学玻璃》中2.2.4.1和2.2.4.2款的规定,进行条纹度
的分类定级,应达到2类B级。
B.3 气泡度试验
B.3.1 试验目的
确定平晶材料内部含有的气泡程度,从而按 《GB 903-1987无色光学玻璃》中
2.2.5.1和2.2.5.2款的规定对平晶的气泡度分类定级。
B.3.2 试验设备
B.3.2.1 专用气泡度仪
B.3.2.2 标准气泡样品,尺寸为10 mm X 10二 X 10 rim,内含气泡的直径 (见表
B.2)o
表 B.2
B.3.3
B.3.3.1
B.3.3.2
B.3.4
I8
试验条件
折射液的折射率与被检平晶的折射率之差不大于0.001a
测量时,被检平晶上的照度不低于5 000 lxa
试验步骤
J.JG 28- 2000
B.3.4.1 调整照度,使平晶内直径为0.05--2.0 mm的气泡依次可见。
B.3.4.2 对照标准气泡样品判断和记录平晶内的气泡直径和个数。
B.3.4.3 量取被检平晶的尺寸并计算其体积。
B.3.5 试验结果
B.3.5.1平晶的气泡度类别根据其直径或最大长边所含最大气泡的直径,按 《GB
903-1987无色光学玻璃》标准第2.2.5.1款中的气泡度分类图,确定平晶材料的类
别。应达到0类。
B.3.5.2 平晶的气泡度级别根据每100。耐平晶内含有气泡的总截面积 (扁长气泡取
最长轴与最短轴的算术平均值为直径计算截面积),按 《GB 903-1987无色光学玻璃》
标准第2.2.5.2款中表 12的规定,确定平晶材料的级别。应达到B级。
平晶的气泡度级别也可根据100 cm3平晶材料中所含的气泡数量,按 《GB 903-
1987无色光学玻璃》标准中的附录A的规定,确定其级别。应达到b级。
JJG 28- 2000
附录 C
四面法检定长平晶数据处理
表 C.1
检定
位置
(mm)
干涉
一环级
1序N’
干涉环直径 (mm) 干涉
环级
数K;
△K,=
K,一K?
E;=
(L/
L?) K?
△,=
F.,一
△K
F; _
4; l /2
温度
(℃ )
备注
d, d2
D吐二
d,一d2
0 0 6.10 3.23 2.87 0.525 0 0 0 0
19.5
>
to
组
Z
口
30 +1 5.75 3.60 2.15
l
1.295
l
0.770 0.016 一0.754-0.222
60 +1 6.33 3.05 3.28 1.686 1.161 0.032 一1.129一0.333
90 + 1 6.48 2.09 3.58 1.817 1.292 0.048 一1.244一0.3(刃
120 +1 6.40 2.98 3.42 1.746 1.221 0.064 一1.157 一0.341
150 +1 5.92 3.55 2.37 1.358 0.833 0.080 一0.753一0.222
180 0 6.29 3.17 3.12 0.621 0.096 0.096 0 0
检定
位置
(mm)
干涉
环级
序N,
F涉环直径 (nmi) 干涉
}环级
1数“
4K,二
K 一Ka
E 二
(乙/
L?) K?
△ =
E,一
△K
F,-
O,a 2
温度
(℃ )
备注
dl d2
D,=
d,一d2
0 0 6.02 3.46 2.56 0.418 0 0 0 0
19.8
>
门
组
Z、
口
30 0 6.75 2.61 4.14 1.093 0.675 0.032 一()6431一0.190
60 +1 6.15 3.30 2.85 1.518 1.100 0.065 一1.035一0.3巧
90 +1 6.38 3.01 3.37 1.724 1.306 0.098 一1.208一0.356
120 +1 6.22 3.29 2.93 1.547 1.129 0.130 一0.999 一0.295
150 十 1 5.53 3.93 1.60 1.163 0.745 0.162 一0.583 一0.172
180 0 6.32 3.22 3.10 0.613 0.195 0.195 0 0
20
JJG 28- 2000
表C.1(续)
检定
位置
(二 )
干涉
环级
序N,
干涉环直径 (, ) 干涉
环级
数K;
4K;=
K;一Ko
F:,二
(L/
L?) K,
△ 二
E;一
4K
F;幸
A, A i2
温度
(℃)
备注
d, d2
DI=
dl一d2
0 0 6.20 3.33 2.87 0.525 0 0 0 0
20.5
>
口
组
a
口
30 0 6.84 2.61 4.23 1.141 0.616 一0.030一0.646 一0.191
60 +1 6.17 3.38 2.79 1.496 0.971
一
一0.061一1.032 一0,一304
90 +1 6.28 3.28 3.00 1.574 1.049 一0.091一1.144 一0.336
120 +1 6.01 3.56 2.45 1.383 0.858 一0.121一0.979一0.289
150 0 6.70 2.82 3.88 0.960 0.435 一0.152一0.587-0.173
180 0 5.97 3.65 2.32 0.343 一0.182-0.182 0 0
检定
位置
(mm)
千涉
环级
序N,
于涉环直径 (mm) 干涉
环级
数K;
△K;=
K,一Ko
E;二
(L/
L,)K?
△,二
一
E,一
△Ki
一:-
4; l 2
温度
(℃)
备注
d, d2
D,二
d,一d2
0 0 6.51 3.33 3.18 0.645 0 0 0 0
19.2
to
n
组
之
目
30 0 6.96 2.79 4.17 1.109 0.464 0.004 一0.460 一0.136
60 + 1 6.04 3.74 2.30 1.337 0.692 0.008 一0.684 一0.21理
90 + l 6.22 3.62 2.60 1.431 0.786 0.012 一0.774 一0.228
120 +1 6.26 3.54 2.72 1.472 0.827 0.016 一0.811 -0.239
150 +1 5.93 3.92 2.01 1.258 0.613 0.020 一0.593 一0.175
180 0 6.56 3.32 3.24 0.669 0.024 0.024 0 0
21
JJG 28-2000
表C.1(续)
检定
位置
(mm)
干涉
环级
序N,
干涉环直径 (。 ) 干涉
环级
数K;
AK<=
K,一K,
E;二
(L/
L?) K?
△f=
E;一
AK;
F;-
p泳 /2
温度
(℃)
备注
d, d2
DI=
d,一d2
0 0 6.42 3.62
一
2.80 0.500 0 0 0 0
19.4
to
口
组
Z、
目
30 0 6.94 3.03 3.91 0.97_5 0.475 0.020 一0.455 一0.134
60 +1 5.95 4.08 1.87 1.223 0.723 0.039 一0.684 一0.21泛
90 +1 6.14 3.90 2.24 1.320 0.820 0.058 一0.762一0.225
120 +1 6.25 3.72 2.53 1.408 0.908 0.078 一0.83C 一0.245
150 + 1 5.84 4.16 1.68 1.180 0.680 0.098 一0.582 一0.172
180 0 6.57 3.46 3.11 0.617 0.117 0 0 0
检定
位置
(二 )
干涉
环级
序 NI
干涉环直径 (二 ) 干涉
环级
数K;
4K,二
K。一K,
E;=
(L/
L?) K?
4;=
F`,一
△K
F;-
4;.l /2
温度
(℃ 少
备注
d, d2
DI=
d,一d2
0 0 7.32 2.85 4.47 1.274 0 0 0 0
19.2
自
C7
组
合
30 +1 6.73 3.47 3.26 1.678 0.404 0.062 一0.342 -0.101
60 +1 7.12 3.07 4.05 2.046 0.772 0.125 一0.647 一0.191
90 +2 6.04 4.15 1.89 2.228 0.954 0.188 一0.766 一0.226
120 +2 6.02 4.24 1.78 2.202 0.928 0.250 一0.678:一0.2(幻
150 +1 7.11 3.10 4.01 2.025 0.751 0.312 一0.439 一0.130
180 +1 6.73 3.54 3.19 1.649 0.375 0 0 0
22
7.IG 28-2000
表 C.2
检定位置 (mm)
工作面无自重变形平面度 (Fm)
平晶A 平晶B 平晶C 平晶D
0 0 0 0 0
30 一0.139 一0.085 一0.053 一0.050
60 一0.215 一0.112 一0.093 一0.092
90 一0.240 一0.120 一0.116 一0.104
120 一0.194 一0.144 一0.099 一0.099
150 一0.110 一0.111 一0.064 一0.063
180 0 0 0 0
U=0.010 Fun
注:Do = 3.96 rum, A = 0. 590 pun
23
JJG 28-2000
附录a
等 厚 干 涉 法
D.1在等厚干涉仪上检定平晶时,应调整干涉条纹的间隔,使被检区域出现3或5条
干涉条纹。
D.2 平面度F的大小,由通过直径的最大弯曲量b与条纹间隔a的比值乘以A i2。
为所用光源波长)来确定 (见图D.1),即
(D.1)
?
????
?
?????
??
图 D.1
D.3 评定平面度时,当所检定二截面出现的平面度符号相同时,取其中绝对值最大值
为平面度 (见图D.2 (a)),符号相反时,则取两者绝对值之和为平面度 (见图D.2
(b))0
D.4 工作面呈凸形时,平面度取正号;工作面呈凹形时取负号。符号的判别按下述方
法确定:
在图D.3的a或b轻轻加压,如果条纹变密,加压处是 “接触点”(或低级条纹所
处位置);如果条纹变宽,则加压另一端是 “接触点”。当条纹的曲率中心与 “接触点”
同侧,则表明呈凸形,测得值取正号;反之,则表明呈凹形,测得值取负号。
24
JJG 28-2000
(a) (b)
图 D.2
凸表面 凹表面
图 D.3
D.5 检定结果减去标准平晶的平面度,方为被检平晶的平面度。当被检工作平晶直径
小于或等于100 rum时,应按下式计算标准平晶在该区域的平面度,即
AF一(d296 ) X F96 (D.2)
式中:d— 被检平晶有效直径,rim;
F96— 标准平晶在%。 范围内的平面度。
JJG 28- 2000
附录E
等 倾 干 涉 法
E.1 在等倾干涉仪上检定平晶时,D150 mm的平面平晶检定+70, +48, 0,一48,
一70五点;D200 mm的平面平晶检定+94, +70, +48, 0,一48,一70,一94七点;
2i0 mm长平晶检定七点(十字刻线位置