ITO导电膜玻璃88.doc

ITO导电膜玻璃88.doc ITO导电玻璃 ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。 在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象;有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带;另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 一、ITO导电玻璃的分类: ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃(电阻在150~500欧姆)、普通玻璃(电阻在60~150欧姆)、低电阻玻璃(电阻小于60欧姆)。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。 ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格;按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。 ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。 根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型: 二、ITO玻璃的基本结构: ITO膜 sio2 膜 玻璃基板 Si02层: (1)Si02层的作用: 主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中,影响ITO层的导电能力. (2)SiO2层的膜厚: 标准 excel标准偏差excel标准偏差函数exl标准差函数国标检验抽样标准表免费下载红头文件格式标准下载 膜厚一般为250?50埃 (3)SiO2层中的其它成份: 通常为了提高ITO玻璃的透过率,在SiO2中会掺入一定比例的Si3N4 ITO(Indium Tin Oxid)层: 为氧化铟锡的透明导电层,其中I表示In2O3，T表示SnO2,一般Sn(即Tin)的含量约为10%。 随着ITO层厚度的增加,ITO层的厚度逐渐减小.通常面电阻与ITO层膜厚的对应关系如下: 三、ITO玻璃的生产工艺 流程 快递问题件怎么处理流程河南自建厂房流程下载关于规范招聘需求审批流程制作流程表下载邮件下载流程设计 主要分为以下三个步骤: (1)切割倒角; (2)抛光; (3)镀膜 注:TN型玻璃不需要抛光。生产工艺流程更简单。 ITO玻璃简要生产工艺流程如下: 原片来料检磨边切割 清洗 检验 验 倒角 SI02抛光 ITO镀清洗 检查 镀膜 膜 入库 包装 检验 (1)玻璃基片切割磨边的工艺流程: 磨边倒切割 检查 入库 清洗 角 磨边类型及规格要求:通常分为C型和R型两种 倒边 C倒边(0.05mm?宽度?0.40mm) R倒边(0.20mm?宽度?1.00mm，曲率半径?50mm) 倒角(浮法方向2.0mmX5.0mm;其余1.5mmx1.5mm) W W R型 C型 ，45?角 曲面半径 倒角的形状及公差 (2)抛光工艺流程: 用研磨料将玻璃表面磨平，使玻璃表面平整。对于STN型ITO玻璃是必须经过 的一道生产流程 倒角后原片抛光 包装 检查 入库 清洗 (3)镀膜工艺流程: 镀膜方法: 镀膜的方法有:喷雾法;涂覆法;浸渍法;化学气相沉积法;真空蒸发法;测射法，但目前工业化最有效的方法是磁控测射法。 磁控测射法: 在高真空反应室中充入一定比例的02和Ar的混合气体，在直流高压下，Ar被电离，在电场作用下轰击靶材，使铟和锡以原子和离子形式溅射出来，沉积在基板玻璃表面，同时被氧化，形成氧化铟锡膜。 四、ITO玻璃的 评价 LEC评价法下载LEC评价法下载评价量规免费下载学院评价表文档下载学院评价表文档下载 参数 (1)透过率 在波长为550nm的光波照射下，具有SI02阻挡层玻璃的透过率不小于80%，其主要取决于玻璃材料、ITO厚度和折射率。 透过率定义: 透过玻璃的光通量T2与入射光通量T1之比的百分率 Tt=T2/T1X100%。 (2)方块电阻:如图 d为膜厚，I为电流，L1为膜厚在电流方向上的长度，L2为膜层在垂直电流方向的长度，ρ为导电膜的体电阻率。ρ和d可以认为是不变的定值，当L1=L2时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率为定值ρ/ d，这就是方块电阻的定义，即R?= ρ/ d R=ρ×L1/(d×L2) L2 I d L1 (3)平整度: 平整度可用h/1表示，意思为在长度为L的范围内，表面最高点与最低点的差值为h。 h 玻璃微观表面 L ITO玻璃基板平整度参数包括: 1、玻璃表面粗糙度; 2、基板表面波纹度; 3、基板翘曲度; 4、基板垂直度; 5、ITO膜表面粗糙度; 6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。 基板表面波纹度; 指基板玻璃表面平整度.通常要求基板表面波纹度如下: 基板翘曲度:用h/L表示(如图) 即翘曲的高度与翘起边的长度之比 h L 其中要求如下: —— 厚度?0.7mm的基片玻璃， 翘曲度(h/L)?0.1%。 ?? 厚度?0.55mm的基片玻璃，翘曲度(h/L)?0.15%。 —— 不允许有S形翘曲 基板垂直度:用a/L表示(如图) 用来描述玻璃基板四条边互相垂直的程度， L 通常a/L?0.1% a 长度、宽度、厚度及允差:(?0.20) (4)ITO层光学、电学、蚀刻性能 (蚀刻液:60?2?，37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3):见下表 (5)ITO镀膜层的化学稳定性: a) 耐碱性 镀层在温度为60?2?, 浓度为10%的氢氧化钠(分析纯)溶液中浸泡5分钟, ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。 b) 耐酸性 在25?2?, 6%盐酸(分析纯)溶液中浸泡2分钟, ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。 c) 耐溶剂性能 将镀膜玻璃放入丙酮(分析纯)、无水乙醇(分析纯) 中浸泡5分钟后，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。 d)热稳定性: 在空气中经30分钟300?5?(触摸屏用ITO玻璃是在200?5?)高温后，ITO膜的方阻的变化率小于300% e)附着力: 用3M胶带粘在玻璃表面迅速撕开,ITO层无明显开裂现象 f)摩擦力 在1KG条件下用橡片摩擦ITO层表面1000次,无明显开裂现象., 外观质量: 裂纹:不允许。 粘附物:包括尘粒、玻璃碎等凸起物，TN型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0.1mm的粘附物;STN型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0.05mm的粘附物。 沾污:不可有不溶于水或一般清洗剂无法除去的沾污。 崩边:长X宽?2.0mmx1.0mm;深度不超过玻璃基片厚度的50%;总长度?总边长的5%。 划痕:见下表 玻璃体点状缺陷: 包括气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。点状缺陷的直径定义为:d=(缺陷长+缺陷宽)/2。见下表 玻璃体线状缺陷 (宽度W):包括玻筋、光学变形见下表 膜层点状缺陷: SIO2阻挡层和ITO导电层的点状缺陷包括针孔、空洞、颗粒等，点状缺陷的直径定义为:d=(缺陷长+缺陷宽)/2。见下表 五、通常ITO玻璃选用原则: 模数在240以上的产品，一般可选用供货商B级品玻璃; 模数在40模以上，240模以下的产品，一般选用普通A级品玻璃; 模数在40模以下的产品，STN产品，一般选用低电阻抛光玻璃。 COG产品，一般选用15欧姆抛光玻璃。 通常ITO玻璃厚度的选用原则: 常见ITO玻璃异常对LCD产品的影响: 六、ITO导电玻璃的使用方法: 任何时候都不容许叠放; 除规定外，一般要求竖向放置;平放操作时，尽量保持ITO面朝下;厚度在0.55mm以下的玻璃只能竖向放置; 取放时只能接触四边，不能接触导电玻璃ITO表面; 轻拿轻放，不能与其它治具和机器碰撞; 如果要长时间存放，一定要注意防潮，以免影响玻璃的电阻和透过率; 对于大面积和长条形玻璃，在设计排版时要考虑玻璃基片的浮法方向。 七、ITO导电玻璃的贮存及搬运方法: 1、由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。ITO玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，温度5~3O度，湿度不大于70%RH为宜;贮放时 玻璃保持竖向放置，玻璃间堆放不可超过二层，木箱装ITO导电玻璃货物堆放不可超过五层。纸箱装货ITO导电玻璃货物，原则上不能堆放。 2、ITO玻璃的贮存期不应超过半年，包装打开后应尽快用完，如不能尽快用完，应重新密封; 3、拿取玻璃时应使用无尘手套，应用双手“夹持”玻璃的两边，严禁裸手接触玻璃表面; 4、严禁一支手拿两片以上的玻璃 5、在拿取玻璃时应轻拿轻放，保持玻璃的垂直放置，严禁水平叠放; 6、严禁玻璃间的直接接触 附:工厂ITO玻璃参考选用原则: ITO导电膜的主要参数有:表面电阻、表面电阻的均匀性、透光率、热稳定性、加热收缩率、加热卷曲等。其中光透过率主要与ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面电阻有关。在基底材料相同的情况下，ITO膜的表面电阻越小，ITO膜层的厚度越大，光透过率相应的会有一定程度的减小。 以下是两种不同的ITO导电膜的参数: 高阻抗ITO导电膜(PET-ITO) 高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要应用于移动通讯领域的触摸屏生产。 产品参数: 面电阻:300,500 Ω/? 面电阻均匀性:MD??3%，TD??6% ITO薄膜厚度:0.188?10% 线性度(MD):?1.5% 全光线透过率:?86% 表面硬度(铅笔硬 度):?3H 热稳定性:(R-R0)/R: ?20% 热收缩率:MD?1.0%，TD?0.8% 加热卷曲:?10mm 低阻抗柔性ITO导电膜(PET-ITO) 适用于柔性电致变色器件、柔性薄膜太阳能电池、柔性EL发光器件的制备和生产。 产品参数: 薄膜厚度:0.175?10 mm 雾度:<2% 宽度:406/360?2 mm 粘附:100/100 卷曲:?10 mm 透过率:? 80% 表面电阻:90?15 Ω/? 面电阻均匀性:<7% 热收缩:MD?1.3，TD?1.0 热稳定性: 高温:80oC,120hr ?1.3 低温:-40oC,120hr ?1.3 热循环:-30oC—80oC ?1.3 热/湿度: 60oC, 90% RH,120hr ?1.3