微力传感器FT-S100微力传感器 FemtoTools的FT-S100系列微力传感探头是一种沿着传感器轴径方向的微力传感器(传感器构造如图1所示)。该系统的测量范围可达5nN到10mN,其探头尺寸为50μm×50μm×3mm(如图2所示),在10Hz时的分辨率为0.005μN。能同时测压缩力和张力,FT-S微力传感探头设计用于整合到FemtoTools微机械检测系统中,能够独立的校准并拥有较好的长期稳定性保障,使其在这一受力范围内比其他任何力传感系统有更好的测量精度。当传感器探头沿轴径发生压缩或拉伸时,芯片中电容间距发生...