85型单晶炉验收报告

85型 拉晶炉验收 报告 软件系统测试报告下载sgs报告如何下载关于路面塌陷情况报告535n,sgs报告怎么下载竣工报告下载 （一）  按装调试验收 客    户                机器编号      　   调 试 员（签字）　     客户确认（签字）　　   　 调试日期    　     公司名称 85单晶炉验收报告 序号 检查 项目 检查方法 示意图 允许值 实测值 （客户填写） 1 炉盖炉筒提升机构的行程 手动操作按钮提升炉盖至极限位置用直尺测量下法兰面与中炉筒上法兰面之间的距离 ≥200mm   手动操作按钮提升中炉筒至极限位置，用直尺测量中炉筒下法兰与下炉筒上法兰之间的距离 ≥680mm   2 坩埚升降的行程 安装20英寸的热场。手动操作按钮提升石墨坩埚至极限位置，测量石墨坩埚上平面与加热器上端面之间的距离 ±5mm   安装20英寸热场。手动操作按钮下降石墨坩埚至极限位置，测量坩埚上端面与加热器上端面之间的距离 ±2mm               85单晶炉验收报告 序号 检查 项目 检查方法 示意图 允许值 实测值 （客户填写） 3 籽晶绳上极限 操作手动盒上的按钮，使籽晶绳上升，在上极限位置时，测量籽晶夹头下端偏离观察窗口下边的距离，重复操作三次取其最大值 ≥20mm   4 籽晶绳下极限 手动操作按钮使籽晶绳下降，在下降到极限位置时测量籽晶夹头上端面偏离中炉筒法兰上端面的距离，重复三次取其最大值。 ±20mm   5 籽晶绳的对中 在籽晶夹头上安装上锥形对中工具，籽晶绳下降接近刻度盘（不能碰到），转速12rpm时，目测锥形工具头部偏离刻度盘中心的刻度。 ≤ф5mm               85单晶炉验收报告 序号 检查 项目 检查方法 示意图 允许值 实测值 （客户填写） 6 到达真空度 打开主泵阀门抽真空，在打开手动阀，对空炉腔体进行抽真空，待真空压力传感器读数稳定后，读取真空度的数值。待真空度小于6Pa在关闭主阀一小时，看压力读数上升值。 ≤22.5 mTorr   7 保压试验 ≤45 mTorr/h   8 上炉腔压力 打开主泵抽真空，打开炉盖上的Ar阀门控制炉腔体内压力在20Torr左右，关闭隔离阀，打开上炉腔Ar阀门，充Ar气到上炉腔内，压力为760Torr时，打开辅泵对上炉腔进行抽真空，确认上炉腔最小压力，重复测量三次取其最大值为测量值。 ≤5Torr               85单晶炉验收报告 序号 检查 项目 检查方法 示意图 允许值 实测值 （客户填写） 9 空烧时炉体外侧最高温度和 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 面最大温升 调整阀门的大小保证冷却水总流量在320L/min左右，进出水管压差大于等于0.20MPa的条件下，按照功率从30KW到110KW逐步加热，按图示测量点，用红外线温度计测量各处温度。 ≤320 L/min   压差 ≥0.20 MPa   10 最高温度≤50℃   温升 ≤35℃               85单晶炉验收报告 序号 检查 项目 检查方法 示意图 允许值 实测值 （客户填写） 11 Ar 气 压 力 打开Ar气阀门，调节Ar气压力表上的旋钮 ≥0.2 MPa   12 Ar 气 流 量 点操作界面上ArGAS，设定Ar流量分别为40、100、120L/min电脑显示器上Ar流量的读数与其设定的流量最大差值。 ±3 L/min               （二）空烧前验收 客    户                机器编号      　   调 试 员（签字）　     客户确认（签字）　　   　 调试日期    　     公司名称 85单晶炉验收报告 检 查 项 目 检 查 方 法 客户判定 客户签名 真空检查 到达真空度22.5mTorr以下 保压试验45 mTorr/h以下 阀门关闭后保压试验45 mTorr/Hr 阀门关闭后上炉腔辅泵抽真空极限压力小于5 Torr 合 否 合 否 合 否 合 否   冷却水检查 进水压力0.3-0.35MPa IN-OUT压差：0.20 MPa以上 进水温度：15℃～25℃ 进出水管的阀门应全部打开 各水管接头连接牢固不渗水或漏水 提升机构上升、旋转120度范围内而水管无干涉 炉腔内外壁无渗水或漏水 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否   Ar气检查 Ar流量计设定流量、实际流量的读数正常 Ar压力表：0.2MPa以下 上炉体、炉盖Ar气管接通检查 Ar管路接头是否拧紧 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否   籽晶头部件 提升速度：低速：0.2～8mm/min 高速：＜500 mm/min 回转速度（CW）:2-20rpm 籽晶绳对中 静态: 在Ф1.0mm以内 动态:转速12rpm,在Ф5.0mm以内 籽晶绳上限位 籽晶绳下限位 真空状态下调整籽晶旋转部件水平 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否   坩埚升降轴机构 坩埚轴旋转速度（CCW）：0.5-20rpm 行程大于（ 标准 excel标准偏差excel标准偏差函数exl标准差函数国标检验抽样标准表免费下载红头文件格式标准下载 热场）：260mm（热场不同行程应相应调整） 升降速度 低速：0.04-0.625mm/min 高速：100 mm/min 坩锅升降轴上限位 坩锅升降轴下限位 中炉筒上下限位 坩埚升降轴水平 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否 合 否   提升机构 上炉筒炉盖上升行程大于200mm 中炉筒上升行程大于600mm 提升机构上炉盖提升试验灵活无卡滞 旋转范围:0-120°以内灵活无卡滞、干涉 合 否 合 否 合 否 合 否   辅泵 辅泵动作正常 合 否   电气检查 拉晶程序的自动运行 拉速控制 温度控制 相机控制 合 否 合 否 合 否 合 否           （三）拉晶检验标准 客    户                机器编号      　   调 试 员（签字）　     客户确认（签字）　　   　 调试日期    　     公司名称 85单晶炉验收报告 序号 检 查 项 目 检 查 方 法 示意图 允 许 值 实 测 值 客户填写 1 Ingot 外径差 用游标卡尺测量各个截面直径，去最大差值（测量截面距两端30mm）。 ≤±2mm   2 Ingot 扭曲 用直尺测量如图所示等径线扭曲。 ≤3mm   3 DF率 有效长度部分占实际长度部分的百分比 注：由于 材料 关于××同志的政审材料调查表环保先进个人材料国家普通话测试材料农民专业合作社注销四查四问剖析材料 或非设备本身原因所造成的不达标，不属于上述范围 ≥80％   需方： 供方：公司名称 代表： 代表：