ASM181T氦质谱检漏仪常见故障分析

ASM181T氦质谱检漏仪常见故障分析 ASM181T氦质谱检漏仪常见故障分析 刘朝晖 摘要阿尔卡特ASM181T氦检漏仪工作原理,离子源维护,机械泵故障及处理,复合 分子泵润滑,质谱室及分子泵故障及处理. 关键词氦榆漏仪分子泵质谱室维护 中图分类号TH7文献标识码B 一 ,工作原理 1.T作气路(图1). 检漏口 网1 漏仪自检完成,可以工作了. 3.检漏仪检漏过程 (1)粗抽.按下遥控器上的循环启动按钮,粗检阀4打开,遥 控器右侧压力显示光柱下降. (2)大漏 检测 工程第三方检测合同工程防雷检测合同植筋拉拔检测方案传感器技术课后答案检测机构通用要求培训 方式.如果按下粗检按钮,当真空达~6x10MPa 时,分子泵排气口阀6打开,遥控器中间光柱显示当前漏率. (3)细检方式.如果不按下粗检按钮,当真空达到2xl0 MPa时,粗检阀4关闭,细检阀5打开,遥控器左侧光柱显示当 前漏率. 4.质谱室工作原理 质谱室工作原理(图2).质谱室是用来检测氦的分压强.当 质谱室内的总压强(真空度)<10MPa时,电离室中由钨丝制成 的灯丝启动,加热后产生高速电子轰击离子源中的气体分子,使 2.检漏仪上作准备过程(自动内部校准) (1)预抽.合上榆漏仪电源开关,粗抽泵启动,循环指示按钮 的绿色指示灯闪亮. (2)当初压力达到设定值(大约5s后),P指示灯亮,分子 泵启动,分子泵转速达到正常转速大约需要2-3min,当分子 泵转速达到正常转速时,分子泵转速指示OK灯亮.同时,灯 丝启动,灯丝开关指示灯亮大约8s后,指示灯亮,灯丝点集电极 亮. (3)检漏仪自动标定.AUTOCAL开关红色指示灯闪亮,如 果没有故障,几秒钟后绿色指示灯亮,内部漏孔通大气. 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 示检 I————, I抑制极\氦离子 I隔板 , 离子/磁场 加速电压20ov . .'.—1-———— IoO...__J —— In,, r1 灯丝 图2 三极规 7.输送带无缝接头(冈7) 接头实际操作时,剥层较为费时,每一层要将帆布层露出, 且将帆布层上的残余胶层}『磨掉,建议使用配套的接头专用机 具定位,剥层,粘接. 8.滚筒包胶 可以在现场用修补剂粘接滚筒包胶,也可以局部用透明硬 塑料膜和双而厚胶带作简易灌注模具,用快速橡胶修补剂进行 图设备管理与维修2009?1 局部灌注修补包胶. (待续)W09.O1—15 作者通联:杨若峰上海市浦东新区庆达路655号 201201 E—mail:yffyffl111@163.corn [编辑利丈] 缝..塑..量.尘鳘..墼. 分子电离.大部分的气体分子都能变成离子,离子在电场中被 (加速电压)加速,从而进入与其垂直的偏转磁场,不同质量数的 离子其偏转半径不同.加速电压使得氦离子可以打到放大器的 入口(电子倍增器),从而检测出氦离子流的强度,氦离子流与容 器内的氦分压成正比,因此对氦离子的测量可以确定被检件的 漏率. 二,设备维护 1.机械泵维护 (1)每月检查机械泵油位,如果油位低于或快接近油位下限 时,须添加机械泵油;如果油呈棕色,褐色,或闻起来有异味,说 明油已变质.应将油放尽后,暂时将放油塞拧上,让泵在进气口 打开的状态下运转约10s,将留在机械泵循环通路中的油也放 出,再拧开放油塞,放出残留的油.必要时,先用新油冲洗一遍, 再加入新油. (2)每3个月更换机械泵油.检查油雾过滤器,若被油浸透, 应更换. 2.离子源维护 在对离子源作维护之前,必须将检漏仪的主电源插头拔 下. (1)拆卸VHS放大器.将VHS放大器和离子源的电源接头 卸下,用内六角扳子拧下两个紧固螺钉,拆下VHS放大器,将 VHS放大器头朝下,放置在清洁处,注意防尘. (2)清洗离子源底座.拧下6个螺钉,然后小心地把底座法 兰垂直地提起来,接着用酒精清洗密封面.完成以上工作后,立 即用密封圈专用模具将离子源开口盖住. (3)取下灯丝.拆下3个紧固螺钉,取下灯丝. (4)拆下收集极.只要将两个紧固螺钉取下即可. (5)换新灯丝和收集极.先将收集极用两个紧固螺钉固定在 离子源座上(不要将螺钉拧紧).接着将新灯丝的两个接头插入 接线柱内,此时不要拧紧两个连接螺钉. (6)部件的调整.灯丝织支撑架的两个安装面和其支撑座的 两个安装面紧贴上,拧紧紧固螺钉.调节收集极,使灯丝在左右 方向位于收集极的中心(收集极开口两边应有同样的圈数);继 续调整收集极,使灯丝在垂直方向平行于收集极的开口,且处于 开口的中央.拧紧收集极的两个紧固螺钉.拧紧灯丝的两个连接 螺钉. (7)安装离子源和VHS放大器.仔细检查离子源的导向块 上不要粘有其他物体,小心地将导向块慢慢地放入质谱室腔中, 均匀拧紧6个螺钉即可.将VHS放大器仔细放在密封面上,均 匀拧紧两个螺钉.最后,将VHS放大器和离子源的电线连接好. VHS放大器,离子源等部件,对任何形式的污染及灰尘都十分 敏感,在维护过程中必须特别注意. 3.复合分子泵润滑 此维护过程每6个月进行一次.润滑脂注人器上带有一个 黑色夹子和一个红色夹子,这些夹子是用来确定注入轴承的油 脂用量的. (1)润滑前端轴承.将注入器插入螺钉孔,直到无法插入为 止,按下注入器手柄直到其在夹子的红色标记处停止. (2)润滑后端轴承.将红色夹子取下,把油脂(红色夹子宽 ..—i缝.幢塑..一 度)分别均匀地注入两个注入孔(两个对称的通孔)中. (3)让轴承中润滑脂分布均匀.将分子泵电源板CD2上的 开关SW1扳向"R"位置,开机让泵运转约10min,然后关机.再 将开关扳向"N"位置.改变SW1的位置时,均要求在不带电的 情况下进行. 4.内部标准漏孔的更换及重新标定 标定周期为两年.使用标准漏孔可以使检漏仪自动校准.当 开机时,校准就自动进行,或在操作面板上按下AUTOCAL键, 也能达到校准的目的. (1)拆下内部校正漏孔.关闭检漏仪,拔下主电源;打开前面 板;卸下温度传感器上的连接插头(3针插头);拆下法兰的连接 卡箍,取下漏孔.将漏孔送计量室计量. (2)待漏孔计量结束后,安装校正漏孔,连接好法兰卡箍和 传感器插头. (3)设置新的漏率.修改主电路板(固定于前盖板上)上3个 可调旋钮的位置,就可以完成此项工作.如:漏孔标签上漏率在 2O?时为1.5x10-gMPa?L/s,可以这样设定3个按钮,S4为1,S3 为5,2为7,同时检查s1是否置于OFF位置,当置于OFF位 置,位于s1旁边的红灯熄灭,内部漏孔就可以使用了.内部漏孔 的漏率必须在1xl0~-8x10MPa?L/s之间. (4)关上前盖板,拧上4个螺钉;插上主电源插头;开启检漏 仪,在检漏仪完全启动后,自动校准就会自动进行. 5.用外部校准漏孔校准仪器 (1)打开检漏仪.关闭检漏仪主电源,将前盖板打开. (2)计算外部标准校准漏孔的正确漏率.根据环境温度和 标定此漏孔的时间长短,来计算此漏孔的漏率值.如:外部漏孔 ?时于2005年2 的标定漏率值是1.1xl0MPa?L/s(He),在20 月标定的.现在环境温度为25?,温度影响系数为3%/'C,时间 系数为2%/a.因此,此漏孔在2006年1月,环境温度为25~CH~ 的漏率,就可以计算出来,即1.1~10(1+O.03x5)(1—0.02~1)= 1.2x10MPa. (3)输人外部漏孔的漏率值:在主板的3个旋钮(像输入内 部漏孔值一样),调整3个旋钮的位置,以得到正确的漏率值.例 如S4为1,s3为2,s2为7表示1.2x10MPa?L/s的漏率.同时 将主板开关s1置为ON位,其旁边的红色指示灯亮,此时外部 漏孔就可以使用了.注意:此时内部自动校准无法使用;仪器启 动时,自动校准不再进行;只有外部漏孔可以自动进行校准,当 检漏仪在测试状态时,按下AUTOCAL键即可进行. (4)重新开房检漏仪. (5)测试.把外部校准漏孔连接到检漏口上,按下测试键,等 几分钟,让信号稳定. (6)校准过程.当氦信号稳定后,按下操作面板上的AU— TOCAL键,键上的红色指示灯亮并闪烁,外部自动校准开始.当 外部自动校准完成后,可停止检测,取下漏孔之后,检漏仪就可 以正常使用了.如外部自动校准无效,AUTOCAL键上的红灯 亮,以前存储之值仍然保留,检漏仪可以继续使用. 三,设备故障处理及分析 1.机械泵故障及处理 (I)机械泵不动作.检查项目有:电源电压是否正常,开关是 设置一理与维修2009?1固 否打开,绕组是否断路或接地,电机是否过热(泵冷却后是否能 启动). (2)机械泵声音异常.检查油位是否合适,油质是否变坏,油 温是否<10~C,油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排 出,更换油雾过滤器). 2.分子泵故障及处理 (1)开机2rain后压力指示灯不亮.此时分子泵未转动,即 分子泵入口压力未到设定值或未检On.0到压力(通常压力应 <10,MPa,压力过高分子泵将无法启动).因此,主要检查导致 压力过高的因素.检查的项目有:PI1真空规管是否有问题, 分子泵出口是否打开,机械泵油是否太脏或机械泵是否转动, 系统是否有泄漏. (2)分子泵加速指示灯不亮.CD2电路板上的保险丝烧断, 更换保险丝或检查是否有短路现象. (3)分子泵故障灯亮.检查CD2电路板设置开关是否处于 ,此时应该在N位置.检查风扇是否停止,如果风扇正 R位置 常,请和厂家联系. 3.质谱室故障 (1)灯丝指示灯不亮.检查灯丝开关键是否处于关闭位置 (再按一下),检查I/O短接插头是否仪器后面的接口. (2)灯丝指示灯闪烁.用万用表检查质谱室航空插座1和 5接线柱是否开路,若开路,更换灯丝;若不开路,检查接线柱6 是否和其他接头导通,消除短路现象. (3)遥控面板无压力指示.检查PI3规管是否有问题. (4)当检漏开始时压力不下降.检查电路板PO318保险丝是 否有问题. (5)检漏口压力>0.01MPa.机械泵油失效或PI3规管坏. 4.检测开始时出现的故障 (1)检漏键无效(绿色指示灯亮):检查灯丝是否启动.如果 灯丝没有启动或者灯丝断,按检漏键将没有反应. (2)检漏键无效(指示灯不亮).I/O短接插头未插入仪器后面 插座.如果I/O短接插头未插入仪器后面插座,这时检漏仪将接 受I/O口输入信号,而不接受遥控器信号,检漏键无效. 5.自动校准结束时出现的故障 )红色校准灯亮.首先检查自动校准 自动校准失败(灯丝亮 设置,开关s1是否处于OFF位置,所设置的漏率值和标准漏孔 值是否一致.温度传感器是否接上;其次是检查灵敏度(如果用 外部校准漏孑L检查显示值和实际值一致,仪器也可使用),清洗 质谱室. 6.检漏时出现的故障 (1)不向细检方式转换,检漏口压力<2xlOPa:检查粗检 指示灯是否亮,如果亮,说明检漏仪置于粗检方式.再按一下粗 检开关切换到自动转换状态. (2)灵敏度低.检查三极规所测压力,等到质谱室压力 <10—6MPa时再检漏;如果压力达到,检查离子源是否被污染, 清洗离子源. (3)氦本底太高.检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变 质会吸附较多的氦气,导致氦污染),检查仪器系统是否有漏,真 空管路是否污染,检查三极规上压力是否达到10MPa,离子源 是否污染.另外还要注意环境的污染问题,如果车间内有多台检 漏仪,且氦气的使用量较大时,车间通风不好时;或者车间通风 良好,但洁净厂房多采用上送风方式,气流方向是自上而下,由 于氦气分子量较小,向上扩散,致使氦气扩散慢,也会导致氦污 染.解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处,安装 一 个几升容量的气瓶,该气瓶与低压氦气管路连接.这样,就大 大减少了环境的氦污染. (4)通常车间检漏生产之前,会拿样件试检漏(此样件通常 是生产过程中产生的废品,漏率接近设定漏率),会发现漏的样 件不漏的现象.这是因为漏的样件本身漏率较小,经过多次检漏 后,微孑L被灰尘堵塞而不漏了.一般不要完全相信漏件,漏件多 次使用后就不要使用了. (5)工装设计不合理导致检漏通不过.初检时工作正常,工 作几次后,抽速大大减慢,检漏不过;加死堵检漏仪不漏,工作正 常.这是因为工装设计不合理所致,比如工装结构不合理,内表 面太粗糙,导致过多的氦气残留;或者密封设计不合理导致密封 不可靠(由于工装设计人员对专业真空设计不熟悉). (6)操作不合理导致故障.如工作中,有一个大漏的工件,由 于操作人员判断错误,不认为工件漏,而去检查工装的连接或者 检漏仪,多次对这一工件检漏.这样就会发现,所有工件都不过. 原因是大漏的工件经多次检漏后,有大量的氦气进入质谱室,造 成质谱室污染.解决的办法是,清理质谱室,反复吸气排气. W09.01-16 作者通联:艾默生(北京仪表)有限公司北京市东城区和 平里北街6号100013 E—mail:zhaohui.1iu@emerson.eom [编辑利文] 团il/tft/IN_~m2009?1.=耋.盘鱼鳌.塞皇望复.避塑..一: