油扩散泵（见图7）是一种蒸气射流泵，当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。其工作极限真空度在10-2～10-5 Pa范围内。应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2～10-4 Pa范围内。性能曲线见，见图8
影响扩散泵性能的因素：
① 扩散泵油蒸气的返流。
a. 泵壁表面油膜和油滴的蒸发。
b. 喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射。
c. 一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发。
d. 喷口边缘高速油蒸气流的散射。
e. 室温下油沿泵壁向表面迁移。
② 气体分子的反扩散。
③ 扩散泵油的裂化分解（油氧化没抽速）。
④ 清洗不干净的真空泵，污染物留在泵内并重复循环。
针对以上原因，在使用油扩散泵过程中，增加了一些装置来防止上述现象的出现，真空系统上所加的冷阱就是为了防止扩散泵油蒸气的返流。加罗茨泵和双机械泵是为了减少扩散泵出气口的压力（≤40Pa）。尽量减少气体分子的反扩散。采用合格的扩散泵油是为了防止扩散泵油的裂化分解。
油扩散泵性能曲线（图8）
扩散泵的维护与保养及常见问题的处理：
① 扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
② 扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
③ 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
④ 扩散泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。并将冷却水套内的剩水吹净。保存场地的室温应在10℃～40℃之间。
⑤ 扩散泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。
⑥ 扩散泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。
a. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。
b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。
c. 处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
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