TFT_LCD面板光学检测自动对焦系统设计

收稿日期：2011-01-05； 修订日期：2011-02-13 基金项目：广东省教育部产学研联合项目 （2007A090302071） 作者简介：肖磊（1985-），男，硕士生，主要研究方向为自动对焦系统，图像处理与模式识别。 Email: 2008xiaolei.creat@163.com 导师简介：程良伦（1965-），男，教授，博士生导师，主要从事工业过程运行控制及软测量技术。 Email: llcheng@gdut.edu.cn TFT-LCD 面板光学检测自动对焦系统设计 肖 磊，程良伦，范富明 (广东工业大学 自动化学院，广东 广州 510006) 摘 要： 针对 TFT-LCD面板尺寸大、厚度薄、光透过率高的特性，建立了基于激光三角测距法的自动对焦 系统。采用光学回路和机械结构设计，对激光光斑中心位置准确求取以及自动对焦原理等算法进行了研 究。首先，根据激光三角法测距原理进行了光学回路设计，并以纳米定位平台作为微小行程对焦驱动轴。其 次，通过 分析 定性数据统计分析pdf销售业绩分析模板建筑结构震害分析销售进度分析表京东商城竞争战略分析 光斑图像特性，调节相机快门调整曝光量从而对图像进行噪声消除。另外，采用质心法快速提 取光斑中心，在分析激光光斑中心位置与离焦关系的基础上，说明了自动对焦算法。最后，介绍了系统自动 对焦时间的设定方法。实验结果 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 明：在行程为 100 μm的自动对焦范围内，5X物镜下，自动对焦时间为 0.36 s，重复定位精度为±1.98 μm。50X物镜下，自动对焦时间为 0.41 s，重复定位精度为±0.26 μm。该系统 稳定性好、对焦精度高、抗干扰能力强，基本满足大尺寸玻璃基板光学检测的需要。 关键词： 计算机视觉； 自动对焦； 激光三角法； 光斑中心； 亚像素 中图分类号： TH742.64；TP391.4 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2011)09-1789-07 Design of TFT-LCD panels optical detection auto-focus system Xiao Lei, Cheng Lianglun, Fan Fuming （Faculty of Automation, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China ） Abstract: In connection with the characteristics of TFT-LCD panel large size, thin thickness and high light transmittance, an auto-focusing system based on the distance measuring of laser triangulation sensor was established. Moreover, with the design of optical circuit and mechanical structure, the laser spot center was accurately calculated and the theory of auto-focusing was studied in this paper. Firstly, according to the principle of laser-triangulation, the optical system was design and the driveshaft was auto-focused using the nano-positioning stage as the minor stroke. Secondly, by analyzing the characteristics of spot images, using the camera shutter to adjust the image exposure, the noise of the image was eliminated. Thirdly, employing the center of gravity theory to pick up the spot center quickly, the algorithm of auto-focusing was explained on the basis of analyzing the relationship between the laser spot center and the out-focusing. Finally, the setting methods of auto-focusing was introduced. Experimental results indicate that with less than the 100 μm of auto-focusing and the 5 times objective lens the auto-focusing time is 0.36 s, the repetitive positioning accuracy is ±1.98 μm. Under the conditions of 50 times objective lens, the auto-focusing time is 0.41 s, the repetitive positioning accuracy is ±0.26 μm. It can satisfy the system requirements of non-contact, online, real time, higher precision and rapid speed, as well as strong anti-jamming and stabilization. Key words: computer vision; auto-focusing; laser-triangulation; spot center; sub-pixel 第 40 卷第 9 期 红外与激光工程 2011 年 9 月 Vol.40 No.9 Infrared and Laser Engineering Sep. 2011 红外与激光工程 第 40 卷 0 引 言 自 20 世纪 90 年代 TFT -LCD 开始正式量产以 来，从最初的第一代(300mm×400mm)TFT-LCD 生产 线发展到现在的 G8.5 代 (2200 mm×2500 mm)，产 品 分 辨 率 已 由 CGA ( 320 × 240 )提 高 到 UXGA (1 600×2 400)，更被广泛应用于数码相机、车载显示器、笔 记本电脑和液晶显示等几乎所有的显示器领域[1]。 TFT-LCD 自动光学检测设备是一个集成了光、 机、电、自动化等技术的精密机器视觉识别系统 ，在 液晶显示屏缺陷检测中， 需要一种调焦装置实现高 精度非接触的自动对焦系统来获取清晰玻璃基板图 片。 自动对焦技术是现代光学成像系统的一项重要 技术，已有大量学者对其进行了研究 [2-3]。 自动对焦 可分为两大类：主动对焦和被动对焦。主动对焦技术 主要基于测距原理，如超声波测距法、反射能量法以 及一些基于三角测距原理的方法。 被动对焦技术利 用获取的图像信息分析对焦方向， 并调整焦距到最 佳位置。激光三角法由于其具有非接触、测量准确度 高、抗干扰能力强、材料适应性广，在现代测量领域 中得到了广泛的应用 [4-6]。 针对 TFT -LCD 面板尺寸大 (G8 . 5 代玻璃基 板尺寸达 2200 mm×2500 mm ，但玻璃厚度却不到 1 mm)、厚度薄、光透过率高的特性，提出了一种基于 激光三角测距法的主动对焦方法， 通过获取的光斑 图像信息分析对焦方向和离焦距离， 采用纳米定位 平台进行自动对焦， 建立了基于激光三角测距法的 自动对焦系统。 1 对焦系统的构成及工作原理 1.1 硬件构成 图 1 所示为自动对焦系统 。 其主要由显微镜 本体 、物镜切换平台、压电聚焦系统、光斑图像采集 系统、Z 轴大行程粗调焦系统以及计算机等组成。 显 微镜本体包括相机和图像采集卡等。 XY 轴的移动实 现显微物镜不同倍数镜头的切换，XY 轴使用的是大 功率直流伺服电机和滚珠丝杆 ， 运动速度可达到 200 mm/s， X 轴行程为 100 mm，Y 行程为 80 mm，分 辨率为 1 μm，单向重复定位精度为 5 μm。 显微物镜 固定在可沿 Z 轴运动的压电陶瓷 （PZT）纳米定位 平台上 ，行程为 100 μm，闭环分辨率高达 2.5 nm， 重复定位精度为 8 nm，直线度为 0.2 %，压电陶瓷响 应速度快， 从上层界面发送指令到压电陶瓷移动到 目标位置花费时间约为 8 ms。 光斑采集系统由发光 二极管、反射镜、测量镜头、半反半透镜、分光棱镜、 IR滤波片、图像传感器和图像采集卡组成。 Z轴大行程 粗调焦系统行程为 15mm，运动速度可达到 15 mm/s， 分辨率为 0.25μm，单向重复定位精度为 1μm。 图 1 自动对焦系统 Fig.1 Auto-focus system 1.2 软件设计 图 2 为自动对焦系统原理图 ， 通过 Visual C++实现软件编程 ， 1394 图像采集卡实现电脑和 相机的通信 ， 串口实现电脑和压电陶瓷运动控制 器 、 电机控制器的通信 。 软件设计上通过调用相 机软件开发包和压电陶瓷运动控制器动态函数库 进行第二次开发 。 实现了相机 、电脑 、控制器之间 的通信 。 图 2 自动对焦系统框图 Fig.2 Block diagram of auto-focus system 1790 第 9 期 1.3 工作原理 图 3 为光学系统原理图。 光学系统主要由激光 器、激光聚焦镜、反射镜、光栏片、偏振分光片、1/4滤 波片、聚焦镜、分光镜、图像传感器、激光滤波片、红 外截止滤波片以及显微镜主体组成 。 其主要由 入射光路和反射光路两部分组成 ，激光器的功率 为 10~50 mW，光谱为 808 nm 的红外波段。激光光源 能够聚焦为两部分，入射光路聚焦在样本表面，反射 光路聚焦在 CMOS 传感器上呈现一个半圆光斑或者 不规则的亮点，在不同的离焦情况下，光斑的中心位 置不同。 根据光斑的中心位置和离焦的相关性来驱 动焦轴上下移动，实现自动对焦。 图 3 光学系统原理图 Fig.3 Schematic diagram of optical system 1.4 存在的问题 图 4 是在不同离焦情况下 ， 采集到的 TFT- LCD 面板图片以及其对应的光斑图片 (其中图 (a) 是在 5X 物镜下采集到的图片，图 (b)是在 50X 物镜 下采集到的图片 )。 从图中可以看到， 当 TFT-LCD 面板图片从模糊到清晰， 再到模糊的变化过程中 ， 光斑图像从左半圆变为圆点 ， 然后变为右半圆 ；在 5X 物镜下 ，光斑图像中还夹杂着 TFT-LCD 面板反 射的噪声。 因此，对焦系统亟待解决的问题包括以下两点： (1) 如何消除 TFT-LCD 面板反射的噪声， 快速提取 光斑中心。 (2) 如何根据光斑的中心位置和离焦量的 关系实现自动对焦。 (a) 5X (b) 50X 图 4 TFT-LCD 面板图片对应的光斑图片 Fig.4 TFT-LCD panel images and their corresponding spot images 2 光斑中心求解 在激光三角测距中， 目标光斑对应的物距由该 点 CMOS 所成像点 （光斑 ）的位置决定 ，因此 ，激光 光斑位置的准确确定是决定其测量分辨率的关键因 素 [7]。 常用的光斑中心检测算法有质心法、圆拟合法 和 Hought 变换法 [8]。Hought 变换占用系统资源大，运 行效率低，不能满足系统的实时性需求。实际光斑图 像在离焦量较大的时候， 是一个同心的半圆或者圆 环， 在焦平面附近是一个椭圆或者不规则图形 ，因 此， 圆拟合的方式并不适宜。 在实时跟踪对焦过程 中， 质心法能够明确表示光斑的运动情况， 计算量 小，而且不受光斑形状、大小的影响。 2.1 灰度最大值自动调节阈值 在实际应用中， 散射的弱光亮度低于光斑中心 规则部分的亮度，当光斑图像信号较强的时候，其噪 声信号也较强， 可以根据光斑图像的灰度最大值调 节阈值，以滤除衍射、散射弱光或者干扰光线。 假设有图像 f(x,y)，其灰度最大值为 fmax(x,y)，阈 值为 T(阈值的选取是根据实际数据测试得到)，阈值 分割后图像数据为 g(x,y)，那么： fmax(x,y)= (1) max[f(s,t)] (s,t)∈N(x,y) 肖 磊等：TFT -LCD 面板光学检测自动对焦系统设计 1791 红外与激光工程 第 40 卷 T= 40， fmax(x,y)=255 15，20＜fmax(x,y)＜255 0，0＜fmax(x,y)＜1 � � � �� � � � �� � 5 (2) g(x,y)= f (x,y)-T，T＞0 f (x,y)， T= � 0 (3) 2.2 相机快门和增益的调节以消除噪声 在目标和背景亮度变化较大的环境下， 相机获 得的图像容易饱和或者亮度不够， 以至于无法获得 精确的图像特征，因此，快速及方便的调光方法对于 视觉系统具有重要意义。 通常对相机进行调光的主 要方法包括光圈机械控制 (或变密度盘 )，电子快门 设置和增益调节。 一般快门时间和增益优于光圈机 械控制。 虽然快门和增益的基理不同(前者基于自动 曝光控制 ，后者基于自动增益控制 )，但其目的都是 将图像调整至期望值。然而在视觉系统中，增益控制 一般在获得清晰场景后不再频繁改变，以避免图像特 征提取时由于增益变化改变目标与背景的对比度，失 去跟踪目标的的鲁棒性。 由于电子快门的动作独立于 光学系统， 所以在光学系统光通量控制的基础上，快 门控制成为视觉系统中的基本调节方法 [9-10]。 在实际的光斑图像中， 通过调节相机快门和增 益 ，控制曝光量 ，可以在一定程度上减少 TFT-LCD 面板上反射回来的能量，消除噪声。 2.3 求解光斑质心 灰度重心法可以看成是以灰度为权值的加权型 心法。假设采集的图像处于二维平面坐标系中，图像 数据为 g(x，y)，大小为 M×N，则重心计算的光斑中 心(x0，y0)公式为： x0= M i = 1 Σ N j = 1 Σig(x,y) M i = 1 Σ N j = 1 Σg(x,y) (4) y0= M i = 1 Σ N j = 1 Σjg(x,y) M i = 1 Σ N j = 1 Σg(x,y) (5) 3 调焦评价函数 实际使用的光学系统只能对一定距离内的目标 清晰成像，如果目标太远，所成像就会模糊不清。 另 一方面，当光学系统聚焦在某个距离时，它对该距离 上下一定范围内的景物所成像的清晰程度都可以满 足要求。 此时，这个距离被称为景深。 当 TFT-LCD 面 板图像清晰的时候，在景深范围内，求取光斑中心的 动态区间为[a,b]，定义对焦完成时光斑中心基准点为 x軃，光斑中心允许误差为 ρ，则光斑中心计算公式为： x軃= a+b2 ,(0≤ρ≤ b-a 2 ) (6) 当光斑中心落在允许动态变化范围 x軃-ρ,x軃+ρρ ρ 内的时候 , 判定对焦完成。图 5 是自动对焦系统的流 程图，从图中可以看出，ρ 的变化范围在一定程度上 影响着自动对焦的精度和速度。当 ρ 较小时，光斑中 心允许的动态范围较小，对焦的时间相对较长，但重 复定位精度相对较高。 图 5 自动对焦流程图 Fig.5 Flowchart of auto-focusing 4 实验分析 光斑图像采集系统相机采用的是 Point Grey Research 的 FFMV-03 MTM/C， 分辨率设置为 640× 480，60 帧/s， 物镜选用的是 Mitutoyo Corporation 的 M Plan Apo 5X/0.14(378-802-6)，50X/ 0.55(378-805- 3)。 计算机处理器为 Pentium (R) Dual-Core CPU E540@2.70 GHz，内存为 2 G，操作系统为 Windows XP。 4.1 调节相机快门消除噪声 影响光斑中心准确求取的因素为背景噪声 ，通 过调节相机快门调整曝光量可以有效消除背景噪 声，提高光斑中心位置提取精度。 在不同的快门下， 会呈现不同的光斑图像，背景噪声也会有明显不同。 将相机增益设置为 0 dB，图 6 是分别在 5 X，50 X 物 1792 第 9 期 镜下 ， 调整相机快门和 PZT 位置采集到的光斑图 像，其中，S 表示相机快门时间，ms；PZT 表示压电陶 瓷的位置 ，μm；C 表示当光斑图像格式为 480×640 时，所求的光斑中心相对于列的位置，即相对于图像 的宽度，可利用公式(5)计算得出，单位为 pixel； PZT=45 PZT=50 PZT=55 PZT=60 C=347.34 C=347.14 C=347.41 C=347.26 (a) 5X，S=63 PZT=45 PZT=50 PZT=55 PZT=45 C=401.08 C=401.30 C=401.58 C=401.88 (b) 5X，S=0.25 PZT=47 PZT=48 PZT=49 PZT=50 C=391.40 C=394.49 C=399.12 C=403.99 (c) 50 X，S=63 PZT=47 PZT=48 PZT=49 PZT=50 C=389.36 C=393.69 C=397.74 C=401.41 (d) 50X，S=3.937 5 图 6 采集的光斑图片 Fig.6 Grabbed spot images 从图 6 中采集到的光斑图像数据可以看出 ，在 5X 物镜下，快门时间为 0.25 ms 时，光斑中心位置随 着 PZT 位置增加而增加；快门时间为 63 ms 时，光斑 图片存在过多噪声导致光斑中心求解不准 ；50X 物 镜下 ，当快门为 3.937 5 ms 时 ，光斑信号较微弱 ，噪 声基本消除。 故通过调节相机快门时间可以有效消 除噪声。 4.2 光斑中心位置和离焦相性分析 在 5 X 物镜下，根据经验值将增益设置为 0 dB， 相机快门时间调整为 0.25 ms，让 PZT 从 0 μm 开始， 以 1 μm 为步长移动到 100 μm。 表 1 是在 5 X 物镜 下， 焦平面附近时， 所建立的光斑中心位置对应的 PZT 位置查找表。 表 1 5 X 物镜下光斑中心对应的 PZT 位置 Tab.1 Corresponding PZT position of spot center under the condition of 5X objective lens 在 50X 物镜下，根据经验值将增益设置为 0 dB， 相机快门时间调节到 3.937 5 ms， 让 PZT 从 0 μm 开 始，以 0.1 μm 为步长移动到 100 μm。 表 2 是在 50 X 物镜下，焦平面附近时，所建立的光斑中心位置对应 的 PZT 位置查找表。 图7 是根据表 1 和表 2 中的数据绘制的光斑中 心 C 和 PZT 的关系 ，从图 7 中可以看出 ，光斑中心 位置随着 PZT 位置的增加而增加， 而且成近似线性 关系，同时也验证了光斑中心求解的准确性。 PZT C 20 405.23 21 405.29 PZT 40 41 C 406.60 406.68 PZT 60 61 C 407.86 407.94 22 405.39 42 406.73 62 408.03 23 405.44 43 406.83 63 408.07 24 405.48 44 406.88 64 408.13 25 405.57 45 406.95 65 408.19 26 405.65 46 407.00 66 408.27 27 405.70 47 407.07 67 408.35 28 405.76 48 407.14 68 408.39 29 405.86 49 407.21 69 408.47 30 405.91 50 407.26 70 408.51 31 406.00 51 407.31 71 408.56 32 406.06 52 407.38 72 408.65 33 406.12 53 407.44 73 408.71 34 406.19 54 407.51 74 408.79 35 406.26 55 407.56 75 408.80 36 406.35 56 407.62 76 408.82 37 406.40 57 407.71 77 408.91 38 406.48 58 407.78 78 409.00 39 406.53 59 407.82 79 409.05 肖 磊等：TFT -LCD 面板光学检测自动对焦系统设计 1793 红外与激光工程 第 40 卷 表 2 50X 物镜下光斑中心对应的 PZT 位置 Tab.2 Corresponding PZT position of spot center under the condition of 50X objective lens 图 7 光斑中心和 PZT 位置的关系 Fig.7 Relationship between the spot center and PZT position 4.3 自动对焦数据分析 在 5 X 物镜下， 相机快门时间为 0.24 ms 时，在 景深范围 ±14 μm 内 ， 光斑中心动态变化区间在 [406.76，407.18]范围内 ，此时 TFT-LCD 图片都是清 晰的。 这样由公式(6)可得，光斑中心基准点 x 设置 为 406.97， 设定光斑中心允许误差为 0.15， 其变化 区间为[0，0.21]。 表 3是让 PZT分别处于 1μm和 95μm 处重复对焦 5 次的结果 ， 表中记录了对焦完成时 PZT 位置 (End PZT/μm)、 自动对焦花费时间(Focus time/s)、对焦次数 (Focus number)、以及开始时光斑 中心位置 (Start center/pixel)和对焦完成时光斑中心 位置(End center/pixel)。 其中，最大差异(Max-Min)表 示对焦完成时 PZT 位置的最大值与最小值之差，均 值(Average)表示取平均。 表 3 5X 物镜下自动对焦结果 Tab.3 Results of auto-focusing under the condition of 5X objective lens 在 50X 物镜下，相机快门为 3.937 5 ms 时，在景 深范围 ±0.9 μm 内 ， 光斑中心动态变化区间在 [404.10，404.80]范围内 ，此时 TFT-LCD 图片都是清 晰的。 由公式(6)可得，光斑中心基准点 x 为 402.95，光 斑中心允许误差 ρ 为 0.8，ρ 的变化区间为 [0,1.85]。 表 4 是让 PZT 处于 11 μm 和 95 μm 处分别重复对 焦 5 次所记录的结果。 50 X 物镜下，离焦较远时，光斑能量较低，如果 快门时间较小会导致没有光斑图像，在焦平面附近， 快门过大会导致光斑中心求解不准。因此，在离焦较 Start PZT /μm End PZT /μm 1 49.27 1 50.57 Focus number 5 2 Focus time /s 0.40 0.28 Start center /pixel 402.94 403.18 End center /pixel 406.81 407.02 1 48.24 5 0.41 403.19 406.91 1 51.54 4 0.38 403.17 407.09 1 49.61 6 0.45 403.15 406.94 95 51.17 3 0.29 408.58 406.96 95 51.51 4 0.36 408.59 407.02 95 51.57 6 0.45 408.53 407.13 95 51.58 3 0.30 408.52 407.11 95 52.20 2 0.25 408.56 407.11 Average 50.73 - 0.36 - 407.01 Max-Min 3.96 - - - 0.32 PZT C 45.4 381.46 45.5 381.84 PZT 47.8 47.9 C 390.49 390.88 PZT 50.2 50.3 C 401.34 401.78 45.6 382.18 48.0 391.24 50.4 402.19 45.7 382.59 48.1 391.67 50.5 402.58 45.8 382.93 48.2 392.06 50.6 402.97 45.9 383.30 48.3 392.46 50.7 403.45 46.0 383.70 48.4 392.89 50.8 403.86 46.1 384.07 48.5 393.34 50.9 404.36 46.2 384.44 48.6 393.85 51.0 404.68 46.3 384.79 48.7 394.29 51.1 405.04 46.4 385.20 48.8 394.85 51.2 405.51 46.5 385.61 49.9 395.39 51.4 406.44 46.6 386.03 49.0 395.92 51.5 406.83 46.7 386.41 49.1 396.43 51.6 407.29 46.8 386.80 49.2 396.90 51.7 407.69 46.9 387.16 49.3 397.48 51.8 408.13 47.0 387.51 49.4 397.97 51.9 408.58 47.1 387.87 49.5 398.34 52.0 408.99 47.2 388.22 49.6 398.79 52.1 409.42 47.3 388.64 49.7 399.33 52.2 409.87 47.4 389.05 49.8 399.68 52.3 410.35 47.5 389.42 50.9 400.14 52.4 410.87 47.6 389.75 50.0 400.57 52.5 411.34 47.7 390.08 50.1 400.91 52.6 411.84 1794 第 9 期 表 4 50X 物镜下自动对焦结果 Tab. 4 Results of auto-focusing under the condition of 50X objective lens 远时，需要将相机快门时间调节为最大 63 ms，实现 粗调焦。 然后将相机快门时间调节为 3.937 5 ms，实 现焦平面微调焦。 在 5 X 物镜下，当相机快门时间调 节为 0.24 ms 的时候， 在焦平面±50 μm 都有光斑图 像。 然而，每调节一次相机快门约存在 50 ms 的延时 （经验值）才能保证光斑图像更新完成，故 50 X 对焦 花费时间较长。 由上述测量结果可知，在行程为 100 μm 的自动 对焦范围内，5X物镜下， 自动对焦平均时间为 0.36s， 对焦完成时 PZT 位置差异最大值为 3.96 μm， 重复 定位精度为±1.98 μm；50 X 物镜条件下，自动对焦平 均时间为 0.41 s， 对焦完成时 PZT 位置差异最大值 为 0.52 μm，重复定位精度为±0.26 μm。 5 结 论 根据 TFT-LCD 面板的光学检测自动对焦系统 精度高、对焦速度快的要求，提出了一种基于激光三 角测距法的主动对焦方法， 根据光斑的中心位置和 离焦量的相关性实现快速对焦。在行程为 100 μm 的 自动对焦范围内，5X物镜下， 自动对焦时间为 0.36s， 重复定位精度为±1.98 μm，50 X 物镜下，自动对焦时 间为 0.41 s，重复定位精度为±0.26 μm，基本满足了 大尺寸玻璃基板检查的需要。 在实际对焦过程中，相机快门时间过短或者增益 过小，会导致没有光斑图像或者自动对焦范围变小；快 门时间过长或增益过大，会导致光斑图像求解不准。同 时， 每调节一次相机快门需要延时一段时间等待图像 更新。 在未来的研究中，将激光器的功率设置为可调， 根据最大灰度值来实时调节激光器功率， 防止过度曝 光消除背景噪声，由此减少自动对焦的时间。 参考文献： [ 1 ] Pai Pingfeng, Wu Tzungmin, Lin Kuoping, et al. 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( in Chinese ) Start PZT /μm End PZT /μm 89 50.74 89 50.71 Focus number 6 6 Focus time /s 0.50 0.51 Start center /pixel 609.55 609.42 End center /pixel 403.44 403.19 89 50.51 3 0.31 609.49 403.55 89 50.57 3 0.32 609.49 403.52 89 50.47 3 0.33 609.42 403.13 11 50.26 6 0.50 210.71 402.28 11 50.23 5 0.44 210.71 402.496 11 50.32 5 0.43 210.88 402.054 11 50.30 5 0.44 210.95 402.52 11 50.22 3 0.32 209.83 402.10 Average 50.43 - 0.41 - 402.83 Max-Min 0.52 - - - 1.49 肖 磊等：TFT -LCD 面板光学检测自动对焦系统设计 1795