磨削技术的最新进展

� 专访专论 ��� � �� � �� ���� ��� � � � � � �� � � 磨削技术的最新进展 � � � � �� �� � � � � �� � � � � � �� � � � �� �� � � �� ��� � �� � � 东北 大学 蔡光起 ‘ 冯 宝富 赵恒华 摘 要 � 本文概述 了近年来磨削技术及其理论研 究领域的最新发展 。其中包括超精 密磨削 、研磨 、抛光 以及超 精密复合磨削 、超高速磨削 、高效深磨技术 , 磨削 自动化 、数控化 、智能化和虚拟化等方面的发展 �另外还介绍 了砂轮修整 、磨削液注入 、绿色磨削和表面 完整性等方面的技术进步与最新成果 。 关键词 � 磨削 , 磨料加工 , 精密磨 削 , 高效磨削 , 磨削 自动化 磨削和磨料加工始终是主要的精 密和超精密加工方法 。 许多工程材料 如陶瓷 、 微晶玻璃等以及其它难加工 材料在工业中的应用不断增加 , 其中 有些材料目前只能用磨削加工 。 近年 来 , 金刚石砂轮和 ��� 砂轮的应用 , 主轴系统 、进给系统 、磨削液及其注入 系统和砂轮修整等相关技术的发展 , 高速磨削和高效深磨技术的应用 , 磨 削 自动化和智能化等技术的发展 , 使 磨削和磨料加工在机械制造领域 占有 越来越重要的地位 。 �� � � 年欧洲机床 展览会 ��� ’ � � 期 间的调查数据表 明 , � �� 的企业认为磨削是他们应用 的最主要加工技术 , 磨床在企业机床 的 占有 比例 达 到 � �� , 而 车 床 占 � � � , 铣床占 � � � 。 � � 超精密磨削 、研磨和抛光 采用超精密磨床 、精密修整 、微细 磨料磨具 、 亚微米级以下的切深和洁 净的环境等 , 可获得亚微米级以下的 磨削尺寸精度 。 使用微细磨粒磨具是 精密磨削的主要形式 。 用于超精密镜 面磨削的树脂结合剂砂轮的金刚石磨 粒的平均粒径可小至 � 卜� 。 中� � � � � 硅片的集成制造系统采用单晶金 刚石 砂轮使延性磨削和光整加工可以在同 一个装置上进行 , 使硅片平面粗糙度 蔡光起 , 国际生产工程学会 ��� � �� 通信会 员 , 东北大学机械学院院长 , 教授 , 博士研究生导 师 , 沈阳 � �� � �� 。 达到 � � �� �。 �脚 � � 一 � � � �和平面 度达 到 � � � � 林� � ��� � 耐 ‘〕。 超精密 研抛加工激光陀螺的反射镜 , 然后再 进行镀膜 , 平面度达 � � �� 卜� , 表面粗 糙度达 � �� � � , 反射率达 �� � �� � 。 �� � � � � � � � �� � �� � �� 郡 ��� �� � � , ��� 生 产的超精密磨床 , 采用的超精密静压 导轨保持 � � � 卜� 的直线度 , 加工几何 精度达 � � �协� , 表面粗糙度 � �� � � 。 超精密研磨通常选用粒径只有几 纳米的研磨微粉 , 以获得极高的表面 质量 。 采用离心抛光机研磨 小�� � � 的 陶瓷 轴 承球 , 表 面 粗 糙 度 可 达 � � � � � , 圆度 � � � � 一 � � � � 协� 汇� � 。 航空 精密机械研究所研制的超精密平面研 磨机床 , 上 一�研磨盘采用液体静压支 承 , 用静压油缸推动上磨盘运动 , 轴向 重复定位精度优于 � � �卿。 在该机床 上 , 微 晶玻璃片 的研磨抛光实 现了 �入� �� 一 入�� �� � 郝。的平 面度 �入 � � � �� � 林� � , � � �� 、 � � �� � � 粗糙度的 超精密抛光 �, 」。 双端面精磨 , 工件既作 自转又作 公转 , 磨料粒度也很小 。 在磨削过程 中 , 微滑擦 、微耕犁 、微切削和材料微 疲劳断裂同时起作用 , 磨痕交叉而且 均匀 。 该磨削方式有和精密研磨相同 的加工精度 , 去除率却高得多 , 另外可 获得很高的平面度和平行度 , 目前成 为磁 盘基片等零件的主要精加工 方 法 。 在线电解砂轮修整 �� �� � �技术也 用于双端面磨削 , 加工精度更高 。 超精密复合加工发展很快 , 如流 体抛光加工 、 超声振动磨削 、 电化学 抛光 、 超声 电化学抛光 、放电磨削 、 电 化学放电修整磨削 、动力悬浮研磨 、磁 流体研磨 、磁性磨料抛光 、动磁性磨料 抛光 、 软粒子研磨 、 机械化学抛光 、摆 动磨料流抛光和电泳磨削技术等 。 使 用 � �� � 技术可 以保持极细粒度超硬 磨料 磨具的容屑空 间和磨具 的锋 锐 性 , 加工光学玻璃非球面透镜 , 面型精 度 达 到 � � � 卜� , 表 面粗 糙度 � � 达 �� � � ��了。 采用超声振动磨削加工微型 硬质合金刀具 比不采用超声振动时磨 削直径可减小 �� � 一 � � � , 长径比可 增加 ��� , 能够获得直径 � � 一 �� 协� , 长度 � � 一 � � �协� 的圆柱刀具 。 电化学 抛光可获得表面粗糙度 ��� � , 自由磨 料抛光达 �� , 而将两者结合后可达 � � � , 若 将 磨 料 粒 度 由 �卜� 换 为 � � � 协� , 则可获得� � � 的表面粗糙度 �� 。 采用振动磁性磨料抛光 , 磨料粒度 �� 林� , 可获得表面粗糙度 � �� � � 困 。 � �� � 方法用于轴承环 内圈的镜 面加 工也获得 良好的效果 。 经流体抛光加 工零热膨胀 的玻璃陶瓷试件其表面粗 糙 度 � � 低 于 � � �� � , 断 裂 强 度 � � � � � , �〕。 流体抛光加工不锈钢毛细 管内壁表面粗糙度优于 � �� · � 卜� 。 超精密加工要求超精密测量作支 持 。超精密光栅尺 、双频激光干涉仪测 量精度高 , 可进行纳米级的测量 。扫描 隧道显微镜 、原子力显微镜 、扫描探针 � � � � � � 期 � � � 年 � 月 � 专访专论 �� � � ��� �� ���� �� � � � � � � �� � � 显微镜的出现 , 实现了直接观测到原 子和分子 , 进行纳米级的测量和微观 表面质量检测 。 将原子力显微镜安装 在三坐标测量机的三维测头上 , 使较 大尺寸和微细尺寸的检测 , 都可能在 同一台测量机上进行 。 将激光干涉仪 应用在超精密机床测量反馈系统上 , 使测量精度进一步提高 , 分辨率可达 � � � � � � 。 测控技术的发展从另一方面 促进了超精密磨削的发展 。 � � 超高速磨削 、高效深磨技术 � � � 超高速磨削 超高速磨削技术在欧洲 、 日本和 美 国等发达国家发展很快 。早在上世 纪 � � 年代末期 , 欧洲实验室磨削速度 已达 � �� 一 � � � �� � � 。 � � 年代 , 已 有砂 轮 圆周 速度 �� �� � � 的实用 高速 磨 床 。德 国的 � � ���� � � � �� � � ��� � 公 司 �� � � 年 制 造 了 功 率 �� �� 、 转 速 �� � � � � � � �� 、砂轮直径 � � � � � 的强力 磨床 。阿亨工业大学的 目标为 ��� � � � 的超高速磨床也是该公司制造 的 。在 欧洲 , 目前 已经实际应用 的高速磨削 和精 密磨削 最大磨 削 速度 在 � � � � �� � � � � 之间 , 实验室磨削速度已经达 � � � � � � 。 瑞士 �� � 高 速 ��� 砂轮磨 床 , 在 � �� � � � 时 , 高速磨削性能发挥 最为充分 , 在 ��� � � � 也能照常工作 。 美 国的 高效 磨 削磨 床 主要 是 应 用 ��� 砂轮 。美 国 � � � � � � ��� � � 大学磨削 研究与发展中心的无心外圆磨床 , 最 高 磨 削 速 度 � � ! ∀ � , 主 轴 功 率 � � �� , 修整盘转速 �� � � � � � � �� , 砂轮 自动平衡 , 自动上料 , 实现以 ��� � � � 的 速度和 �� � 耐 � � � · � 的高切除率 , 对高 温合金 �� � � � � � ’� ��进行高效磨削 , 加工 后 � �� 一 �协� , 尺寸公差 士 �� 林� 。美 国 高速磨削的一个重要研究方向是低损 伤高速磨削 陶瓷材料 。采用粗精加工 一次磨削 , 以高的材料去除率和低成 本加工高质量的氮化硅陶瓷零件 。 日 本 目前 实用 的磨 削 速度 已 达 到 了 � � ! ∀ #∃%& 。 已 研 制 出 主轴 最 高转速 300 00r/ m in 、最 大功率 22kw 、砂轮圆 周速度 400m / S 的实验室超高速平面 磨床 「9〕。超高速磨削可以大幅度提高 磨削效率 、延长砂轮寿命和改善表面 粗糙度 。超高速磨削可以对硬脆材料 实现延性域磨削加工 , 对高塑性等难 磨材料也有良好的磨削表现 。 2 . 2 高效深磨技术 缓进给磨削是一种应用较早的高 效率 磨削方法 , 切深是普 通磨削 的 10 00 一 10 0 00 倍左右 。 大切深和低工 件速度是这种加工方法的主要特征 。 它在沟槽磨削 、成型磨削 、平面磨削和 外圆磨削中都有应用 。 图 1 B loh m 公 司的 PA L N O M A T 系列平面和成形数控磨床 高速磨削的最终 目的是优化工艺 参数和磨削表现 , 减少生产时间和光 整加工时间 ,提高磨削质量 , 减少生产 消耗 。 因而人们开发 了集砂 轮超高 速 、高进给速度 (0 , 5 一 I O m / m i n ) 和大 切深 (0. 1 一 3 O m ln) 为一体的高效深磨 技术 。 高效深磨可直观地看成是缓进 给磨削和超高速磨削的结合 。 但磨削 机理和磨削工.艺的研究尚不充分 。 3 . 磨削 自动化 、 数控化 、 智能化 和虚拟化 3.1 磨 削自动化和数控化 近年来 , 数控磨床 、磨削加工中心 发展很快 。国外 CN C 工具磨床 已从五 轴发展到十轴 。许多专用磨削数控软件 和系统已经成熟 。柔性更好的磨削数控 软件和系统也正在开发 。磨削加工中心 可实现联机测量 、自动交换砂轮和 自动 装卸工件 。对于非球面的磨削和研抛加 工 , 近年来采用计算机控制光学表面成 形 (C om puter C ontrolled O ptieal Su rfa e- in g, C C O S) 技术 , 能根据加工面上某一 点的需求材料去除量 自由调整和控制 磨盘压强及磨削点的相对速度 。 采 用 C N C 控 制 的 快 速 点 磨 (Q uiekpoint G rinding)机床 , 可以实现 轴类零件在一次装夹后用一个砂轮完 成外 圆 、锥面 、曲面 、螺纹 、台肩和沟槽 等全部磨削工序 , 生产效率 比普通磨 削提高 6 倍 。应用连续轨迹数控 , 可实 现成型曲面磨削和其它非圆柱面的磨 削加工 , 也可用于高精度非球面镜的 镜面磨削 。 机器人磨削已经可以实现较大去 除率的磨削 , 以 30ON 的压力加工硬 钢 , 每分钟可去除 8鲍 金属 「’“〕。 东北 大学与大连钢厂合作研制的水平滑块 式三杆并联机器人已经实际应用于钢 锭表面缺陷的 自动修磨 。 该机器人可 实现在 0 “和 900 两种水 平位置修磨 , 最大修磨压力达 2520 N , 最大金属磨 除率达 17 809/ m in 。 3 . 2 磨 削的智能化 智能磨削成为一个重要的研究方 向 。由计算机实现加工过程中的决策 、 监测与控制的自动化 , 其中关键是决 策 自动化 。 通过对磨削过程和磨削机 理认识的不断深人 , 已经积累了大量 可靠 的工艺数据 , 为实现磨削过程的 有效控制建立了良好基础 。 进一步可 建立有实用价值的知识库与数据库 , 利用 有关加工过程 的先验知识 和模 型 , 为磨削智能化控制提供了可靠的 技术知识基础 。 另外美国还研究 了一 种 “智能 ” 砂轮 , 可在线监控陶瓷磨削 的磨削力和修整过程等 。 机床智能磨削系统利用多传感器 信息融合技术 , 对加工过程信息进行 处理 , 为决策与控制提供更加准确可 靠的信息 。 根据传感器模块提供的加 工过程信息和磨削数据库 , 作出决策 VV M E IVl l期 20 0 3 年 2 月 17 专访专论 Speoial Interv iew & R eports * 规划 , 确定合适的控制方法 ,产生控制 信息 , 通过 N C 控制器作用于加工过 程 , 以达到最优控制 , 优化磨削条件 , 实现要求的加工任务 。 此外 , 还可实 现自学习与 自维护功能 。 国内许多单 位也先后进行过智能制造技术或智能 制造系统等的研究工作 。 3 . 3 磨 削的虚拟化及仿真 利用计算机进行磨削过程的仿真 研究是一个重要方向 。 使用建立的砂 轮地貌模型对砂轮进行仿真 , 并考虑 磨削和几何参数 , 磨削力和磨削热 , 磨 削振动和受力变形等 , 对磨屑形成过 程 、 能量转换 、 磨削力变化 、磨削区温 度 、 磨削精度和磨削表面质量进行仿 真 , 并使用动态仿真方法 , 再现磨削过 程 。 其三维动态模型逼真 , 进一步加 深了人们对磨削加工的认识 。 虚拟磨 床可 以建立一个逼真的虚拟磨削 环 境 , 可用于评估 、预测磨削加工过程和 产品质量以及 培训 焊锡培训资料ppt免费下载焊接培训教程 ppt 下载特设培训下载班长管理培训下载培训时间表下载 等 。 将分子动力学理论引人磨削机理 的分析研究并进行计算机仿真 , 是 目 前国际上磨削机理研究的新方法 , 并 已取得新的进展“卜 ‘2 , 川 。 4. 其它方面 4.1 砂轮修整 砂轮的修整可分为整形和修锐两 个步骤 。 砂轮整形 的方法较多 , 常用的有 车削整形法 、滚压整形法 、磨削整形法 等 。 近年来又出现 了电加工 整形法 , 激光整形法 。 电加工整形法只能用于 金属结合剂砂轮 , 主要有电解法 、电火 花法等 。 电火花整形法则是利用旋转 砂轮与工具电极之间产生脉冲火花放 电的电腐蚀现象来蚀除砂轮表面的金 属结事剂 。 在电火花整形过程中 , 电 火花脉冲放电形成的放电凹坑相互重 叠 ,逐渐将砂轮修整到所需形状 , 其加 工力小 、 适于小直径和极薄砂轮的修 整 , 如配以高精度电极和合理的放电 参数 , 可方便地实现对成型砂轮的快 速 、 高精度整形 〔’4] 。 采用激光修整砂 轮是一种新型的砂轮修整技术 。 通过 控制激光放射参数和砂轮相对于激光 束的运动 , 可以获得期望的几何形状 和精度 。 在激光整形过程 中 , 树脂结 合剂分解 , 青铜结合剂熔化或气化 , 并 伴随着结合剂材料的溅射 , 从而达到 去除结合剂的目的 。 而金刚石磨粒损 伤较小 , 只是部分被去除 。 在一个循 环的整形之后 ,砂轮表面形貌好 、圆度 误差 明显减小 。 如必要 , 可进行第二 次整形来进一步提高砂轮表面形貌和 精度 。 激光修整为非接触加工 , 无机 械作用力 , 无修整工具的消耗 , 不受砂 轮材料的限制 , 热影响区小 ,超硬磨料 砂轮的修整损耗小 , 修整效率高 , 容易 实现自动化 , 是一种很有前途的砂轮 整形和修锐技术‘, 5“。 砂轮修锐方法常用的有气体喷砂 修锐 、超声振动修锐法 l‘叭弹性修锐法 、 游离磨粒挤压修锐 、液压喷砂修锐 、固 结修锐工具修锐法等 , 此外 , 还有修锐 棒 、修锐膏 、金属丝刷 、硬质合金块 、低 碳钢磨削修锐法 、磁性磨料修锐法等 。 近年来人们又开发了电加工修锐法 、激 光修锐法 、高压水喷射修锐法等 。 电加工修锐法常用的有电解在线 修整法 (E IJ D ) 、 电火花修锐法 、 电解 电火花复合修锐法 t‘7〕等 。 电加工修锐 法的效率高 ,可进行在线 、在位修锐。 电火花修锐法包括电火花放电法修锐 法 、接触放电修整 (E C D D) 法等 , 其工 作原理与电火花整形相同 。 E C D D 修 锐技术可使磨粒 凸出量为常数 , 并能 获得高的材料去除率。 应用 ECD D 在 线修锐磨削 , 可减少磨削力 , 延长砂轮 寿命 , 提高磨削质量 「]8J 。 激光修锐法是将激光束垂直照射 于砂轮上 , 利用激光产生的热量使砂 轮表 面的结合剂部分熔化蒸发或汽 化 , 从而增加砂轮表面磨粒高度和有 效磨粒数 , 改善容屑空间和磨粒等高 性 。 当扫描能量密度一定时 , 激光的 脉冲频率和占空 比对修锐效果有一定 影响 , 其中激光频率的影响更为显著 , 频率越高 ,修锐效果越差 ;增大占空 比 有利于改善修锐效果 ; 增大激光功率 有助于增大磨粒凸出高度 「‘叭20 ’。 高压水喷射修锐法系将高压水柱 垂直喷射于砂轮表面 , 利用水柱的高 压冲击力去除砂轮表面的磨屑及部分 结合剂 , 从而增加 磨粒凸出高度 , 形成 足够的容屑空间。 合理控制喷射压力 和喷射距离 , 可获得 良好 的修锐效 果 。 高压水喷射修锐法的特点是无需 考虑修锐工具的磨损 , 修锐装置简单 , 易于控制和操作 [21] 。 为提高砂轮的修整技术水平 ,应加 快对新型修整技术原理及其应用技术 的研究 。修整系统的发展应优先考虑通 用的高效修整系统的 设计 领导形象设计圆作业设计ao工艺污水处理厂设计附属工程施工组织设计清扫机器人结构设计 与应用122] 。 4 . 2 磨削液注入 磨削表面质量 、 工件精度和砂轮 的磨损在很 大程度上受磨削热 的影 响 。采用恰当的磨削液注人方法 , 增加 磨削液进人磨削区的有效部分 , 提高 冷却和润滑效果 , 对于改善工件质量 , 减少砂轮磨损 ,极其重要 。 常用的磨削液注人方法有 : 手工 供液法和浇注法 、高压喷射法 、空气挡 板辅助截断气流法 、砂轮内冷却法 、利 用开槽砂轮法等 。 基于空气挡板理论 , 人们开发了 靴状喷嘴和新型的石墨管浮动喷嘴!23, 卿 。靴状喷嘴 , 可在砂轮接触 区前一个 较大的区域对砂轮进行直接地润湿 。 与自由喷射喷嘴相比 ,应用靴状喷嘴 , 砂轮磨损小 , 烧伤小 , 磨削液流量和压 力低 。靴状喷嘴的缺点是调整困难 , 必 须相对于砂轮预先调整好 。新型的石 墨管浮动喷嘴将固体石墨润滑与冷却 液使用结合起来 。石墨管由低刚度弹 簧压 向砂轮 。初期磨合后 ,石墨管与砂 轮紧密配合 , 通人磨削液后 , 在磨削液 的压力作用下 ,产生轻微浮起 , 与砂轮 间存在微小间隙 。石墨管浮动喷嘴既 阻挡了砂轮周围的空气流 , 起到空气 挡板的作用 , 又可使磨削液与砂轮有 较好的附着力 , 始终供应于磨削区 。 、加M E M I 期 2003 年 2 月 ★ 专访专论 Sp eeial Interv iew & R eport s ★ 对于多孔结构的砂轮采用砂轮内 冷却法 , 是利用砂轮轴上的径向孔供 液或利用砂轮盘的侧孔供液 , 利用离 心力渗漏作用将磨削液通过砂轮气孔 从周边甩出 , 进人磨削区 。 系统需配 置 高精 度的过滤装置 , 以免砂轮堵 塞 。 对于像电镀砂轮或陶瓷结合剂砂 轮可采用砂轮基体上的径向孔提供内 冷却液 。 提高供液压力 , 将高压液体 射流引人内冷却 , 可突破成膜沸腾的 障碍 , 提高弧区换热效率 125] 。 主轴频 繁启动时 , 应注意先排净滞留在砂轮 内的磨削液 , 以免偏心振动 。 高速下 应用时 , 应充分考虑 自动平衡系统和 动静环密封的可靠性 [26] 。 混合磨削油和合成水基磨削液的 联合应用 , 对于磨削难加工材料很有 效 。 用少量油润湿砂 轮提高润滑效 果 , 用水基磨削液注人磨削弧提高冷 却效果 。 另一方法是 , 油在磨削区前 加人 ,在砂轮表面形成粘着层 ,使润滑 液可靠地进人磨削点 ; 而水则从工件 下方由弹性喷嘴供应 , 冷却工件表面 山 〕。 通过联合应用水和油 , 获得的表 面粗糙 度和金属去 除率 与乳化液相 当 。 与单纯使用乳化液相比 , 能降低 砂轮的磨损 。 其缺点是需要后续的油 水分离 。 喷嘴位置 、. 几何形状对冷却和润 滑效果有很大的影响 。 喷嘴应尽可能 靠近磨削弧区 , 以提高进人磨削弧区 的有效流量和压力 。 对喷嘴结构进行 优化 , 均化液流 , 产生较长的高聚射 流 , 能提高冷却和润滑效果 【23] 。 为减少使用磨削液对环境的负面 影响 , 人们还开发 了微量油润滑磨削 和低温气体冷却磨削等 。 微量润滑磨 削 , 采用的流量极低 , 每分钟几毫升 。 采用液氮冷却 的效果好 , 表面热损伤 小 , 残余压应力大 , 且分布区域变宽 , 可显著提高零件的抗疲劳强度和使用 寿命 。 正确合理地使用液氮冷却 , 可 有效控制磨削区温度 , 使磨削温度保 持在材料发生相变之下而不发生磨削 烧伤 ; 并且在材料塑性增大和较大进 给情况下 , 这种效果更加显著 。 东北 大学开发了高压低温二氧化碳进行内 冷却 的磨削试验装置 。 气体 内冷却避 免了采用液体内冷却时 , 由于滞留液 体 , 引起的启动偏心振动 。 高速下应 用时 , 也要考虑 自动平衡系统和动静 环密封的可靠性 [26, 2“l 。 4 . 3 磨 削加工表面 完整性 磨削加工表面完整性 (表面粗糙 度 、 表面残余应力 、 表面变质层 、 表面 形态等) 对加工.后零件的使用性能有 重要影响 。 磨削表面层的残余应力会引起零 件变形 、降低零件疲劳强度 、抗应力腐 蚀和导致裂纹产生 。 通过控制磨削过 程和合理选择磨削条件 , 获得低应力 的磨削表面 , 对于保证关键零部件的 使用性能非常重要 。 预应力磨削是控制表面残余应力 的一种有效的方法 。此外 , 强冷磨削可 以使工件表面获得残余压应力或降低 工件表面残余拉应力 。 而低应力磨削 技术 则是通过减 少磨 削用量来 实现 的 , 这明显降低 了生产率 。西北工业大 学在超高强度钢 、 高温合金和钦合金 等难磨材料磨削表面残余应力的研究 作了大量 的工作 。 近年来天津大学开 展了工程陶瓷磨削表面残余应力的研 究 , 并对磨削表面变质层 、表面形态和 纹理进行了研究 。 陶瓷磨削变质层是 由碎 晶层和非晶层组成 ,其形成速度 、 稳定性和平均厚度因材料而异 。 在反 复磨削和光磨之后 , 陶瓷表面硬度值 有所降低 。 东北大学对缓进给强力磨 削表面残余应力进行了研究 , 分析讨 论了磨削表面残余应力的性质 、大小 、 分布特点和形成机理 , 以及各种条件 对表面残余应力的影响 。研究表明 , 冷 却条件和砂轮特性对缓进给强力磨削 表面残余应力性质有决定性的影响 , 高压大流量的强冷 措施 《全国民用建筑工程设计技术措施》规划•建筑•景观全国民用建筑工程设计技术措施》规划•建筑•景观软件质量保证措施下载工地伤害及预防措施下载关于贯彻落实的具体措施 和大气孔超软 砂轮是此种磨削表面残余应力低的两 个关键条件 。 缓进给强力磨削的热应 力近似为零且无相变应力 。 其表面残 余应力是塑性压粗效应和挤光效应引 起的切削应力和挤光应力的叠加 。 砂 轮速度 、 工件速度和切深对缓进给磨 削表面残余应力有比较明显的影响 。 材料的可塑性和硬度对其表面残余应 力也有比较显著的影响 。 图 2 Studer公 司的 S3 l lean C N C 高精度外圆磨床 5 . 结束语 磨削技术在各方面均取得迅速发 展 , 已成为先进制造技术的关键技术 之一 。 我们的研究要紧跟国际科学研 究的前沿 , 缩短与工业发达国家的差 距 。 要有所创新 , 进一步完善磨削理 论 , 确立我国发展磨削技术的方 向和 适向国情的具体指标 , 迅速提高磨削 加工应用技术与理论研究水平 , 推动 我国机械制造业工艺技术的进步 。 参考文献 (28 篇)略 VV M E M I 期 20 0 3 年 2 月 19 , e t a l . ( N o rt h e a s t e rn U n i v e r s i t y , S h e n y a n g 1 1 0 0 0 6 , C h i - n a ) ( 1 6 ) A b s t r a e ts : T h e art i e l e i n tr o d u e e s l a s t d e v e l o p m e n t i n t h e fi e l d o f g ri n d i n g t e e h n o l o 留 and its th eo巧 study in re sent year s , i n e l u d i n 鉴‘th e d ev e lo p m en ts o f u ltra一p r e e i s e 邵inding , l a p p i n g , p o l i s h i n g , u l t ra 一 p n o e i s e e o m p o u n d 群in din g , u l t ra 一h i g h s p e e d g r i n d i n g an d h i g h effi e i e n t d e e P 邵in din g as w ell as the d evelopm ents of autom ation , C N C , i n t e l l i g e n e e a n d v i rt u a l t e e h n i q u e fo r gr i n d i n g . I t a l s o i n t ro d u e e s t h e t e e 卜n o lo ;盔ie a l p ro 『ess and last re sults of w heel dressing , g ri n d i n g fl u i d i n l e t , g 丁e e n g rin d in g a n d th e in te盯ity of gro u nd su rfa ee. K ey w ord s: G ri ndin g , a b ra s i v e m a e h i n i n g , P re e i s e g ri n d i n g , h i gh e ffi - e i e n t g r i n d i n g , g r i n d i n g a u t o m a t i o n t i o n s i n C h i n a . K ey w o r d s : E ffi e i e n t m a e h i n i n g , p r e e i s i o n m a e h i n i n g , r o b o t , s P e e d E D M fo r s m a l l h o l e s , m a rk e t H i gh · P r o d u c tvi ty ul tr a P r e ci s e m a c h i n i n g te c h n i q u e o f si l i c o n wi th d i a . o ve r 3 0 0 n l n l N e w P r o g r e s s a n d m a r k e t a n a l y s i s o n E D M 一R eview of E D执度 at 】M T S 2 0 0 2 C H E N D e 一 z h o n g . ( S u z h o u E D M R e s e a r e h I n s t i t u t e , S u z h o u 2 1 5 ( ) 0 5 , C h i n a ) ( 3 0 ) A b s t r a e t s : A n a n a l y s i s 1 5 m a d e o n t h e m ar k e t o f E D M s i n a e e o r d a n e e w i t h a r e v i e w o f t L L e n e w p ro d u e t s , t e e h n o l o g i e s a n d p r o e e s s e s s u e h a s l o w 一 s p e e d w i r e 一 e u t E D M , C N C s i n k i n g E D M , h i g h 一s p e e d E D M fo r , m a l l h o l e s , e t e . s h o w e o l a t I M T S 2 0 0 2 a n d i n e o m b i n a t i o n o f e u rre n t e 。, n d i - G U O D o n g 一 m i n g , K A N G R e n 一 k e , J I N Z h u j i . ( D al i a n U n i v e r s i t y o f T e c h n o l o g y , D al i a n 1 1 6 0 2 4 , e h i n a ) ( 3 5 ) A b s t ra e ts : B a s e d o n t h e r e q u i r e m e n t s o f n e x t g e n e r at i o n o f I C o n s u r- fa e e s h ap e a e e u r a e y a n d i n t e g ri t y of s i l i e o n w afe r s w i t h d i a m e t e r o v e r 3 0 O m m , a n a n a l y s i s 1 5 m a d e o n k e y p ro b l e m s r e l at e d t o u l t ra 一 p re e i s e m a e h i n i n g o f s i l i e o n w i t h l a 笔er size.Th e art iele in tro duees th e stat e 一o f- t h e 一a rt s a n d t h e l a s t d e v e l o P i n g t r e n d s i n fi e l d o f u l t ra 一 P r e e i s e m a e h i n i n g t e e h n o l o g y a n d t h e e q u i p m e n t fo r s i l i e o n w afe r w i t h l a玛er sizes in advan eed in dustrial eou ntri es.It points out th at th e developing trend in hi沙 effi eientultra一 p r e e i s e m a e h i n i n g o f b i g s i z e s s i l i e o n w afe r , a n d l即5 a stre ss on th e im port an ee to stre n gthen b asie researc h on ul- tra一 p re e i s e m a e h i n i n g t h e o叮 an d th e key teehn ologies fo r la嗯e sizes silieon w afe rs aeeording to th e an alysis on eu rr en t eon ditions of su eh teehn ologies in C hina. K ey w ord s: S ilieon w afe r , u l t r a 一 P r e e i s e m a e h i n i n g , g ri n d i n g , P o l i s h i n g , I C 广告客户索引 A dV()rt iS6FS’ I n d e X 北京阿奇夏米尔工业电子有限公司B eijing A gie C harm illes Industrial Eleetronie C o., L t d ” . .⋯ ⋯ , ⋯ ⋯ 9 5北京机床研究所B eij hi g M ac hi ne T ool R es ear ch In sti tu te ⋯ , . . , . . . . . . . . . . . . . . . . ⋯ ⋯ , . . ⋯ , . ⋯ 3 北京第一机床厂B eij in g N o. 1 M ac hi ne T ool Pl ant ..⋯⋯ , . . , . . . . . . . . ⋯⋯ , 二 , . . . . . . . . . . . . ⋯⋯ 8 5 青岛前哨朗普测量技术有限公司 Br ow n & S ha 甲e 叨ngda o , C hi na . . . . . . . . . . . . . . .⋯⋯ In si de Fr o nt C( w e1 沧州市远东机床附件制造有限公司C angzhou Far E ast M aehine T ool A eeesso巧 M an u fa etu ri n gC O . Lt d ....................⋯⋯ , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ⋯⋯78 中国海关统计谱询服务中心C hina C ustom s Statisties Info rm ation Se伪iee C en ter............⋯⋯ 8斗中国机床工具品牌C hifla Fam olls B lallds of M achille T 00ls & T 00ls.⋯ , 二 , , 二 , 二 , ⋯ 9 吕,一 9 斗 2 0 0 3 中国(宁波)国际模具和模具加工 。 注塑 、 锻压设备展览会C hina InternationalExhibition on D ie & M ould, M e t a l W o r ki n g , Pl a s t i e I nj e e t i o n 。 M e t a l F o r m i n g (N in gh 。 ) 2 0 0 3 ⋯ , . . ⋯⋯ , 二 , 二 , . . . . . . . . . . . . . . . ⋯ ⋯ , . . . . . . . . . . . . . . . ⋯ ⋯ , 二 , . . . ⋯ ⋯ , . 9 2 第八届中国国际机床展览会C IM T 2003 ........................⋯ ⋯ , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ⋯ ⋯ In si d e B a c k C o v e r 远州株式会社EN SH U Lim ited ............⋯⋯ , 二 , ⋯ , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ⋯⋯ 8 3 桂林机床股份有限公司G ul hn M ac hi ne T oo lC o., Lt d . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .⋯⋯ 8 7 哈尔滨量具刃具厂H ar bi n M eas uri ng & C utti ng T ool W or ks ⋯ ⋯ , . . . . . . . . . ⋯ ⋯ , . . . . . . . ⋯⋯ 8 8 哈斯中国北京办事处H A A S C hi na B eij in g R ePres ent at iv e O ffi ce .............⋯⋯ , . . . ⋯ ⋯ , . ⋯ 8 9 本间金属工业株式会社H O M M A M ac hi ne ry C O., Lt d . . . ⋯⋯ , 二 , . . ⋯ , . . . . . . . . . ⋯ ⋯ , . . . . . . . . . . . . . ⋯ ⋯ 81 济南二机床集团有限公司 Ji nan N 0.2 M ac hi ne T ool G ro uP C o., L td . . ⋯ , .⋯⋯ , . . . . . . . . . . 二 , . . ⋯ ⋯ , 2 小原齿轮工业株式会社K O H A R 八 G ea rs In d us t刁 C o ., Lt d . . . . . . . . . . . . . .⋯ ⋯ , . . . . . . . . . . . . ⋯ ⋯ , . . ⋯⋯ 7 米克朗中国有限公司 M ik ron C h in a L im it ed 二 , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ⋯ , . ⋯⋯ F ro n t C o v e r 森机械株式会社 M O R I M ac hi ne 巧 C o印or at io n .. ............................................⋯ ⋯ 8 1 大限株式会社O K U M A C 。甲or at io n 二 , 二 , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ⋯ ⋯ 82 银泰科技股份有限公司Pre ci si on M ot io n 工n d ust ri es , I n c . . . . . . .⋯⋯ ‘ . .⋯ ⋯ , . . . . . . . . . ⋯ ⋯ , . . . . . . . . ⋯⋯ 1 沈阳机床股份有限公司She ny an g M ac hi ne T oo l C o., Lt d . .⋯ , . , . . ⋯⋯ , . . , ⋯ , . . . . . . . . . . . . . . ⋯⋯ 90 一 91 沈阳第一机床厂Shenyang N O 1 M ac hi ne T ool W or ks 二 , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ⋯ ⋯ 8 6 西门子(中国)有限公司Si eln ens Lt d., C hi n a . . . . .⋯⋯ , . . . . . . . . . . . . . ⋯⋯ , . . . . . . . . . . . . . . . ⋯⋯ B ac k C o ve r 天津第一机床总厂Ti anj in N o.1 M ac hi ne T oo lW or ks ...................................⋯ ⋯ ‘ . .⋯ 斗 20 0 3 台北国际工具机展览会T IM T O S 2003.........⋯ ⋯ , 二 , . ⋯⋯ , 二 , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ⋯ ⋯ 9 6 丰田工机株式会社T O Y O D A 入】a c h in c 、Vo rks L td ......................⋯ ⋯ , . . . . . . . . . . . . . . . . . . ⋯ ⋯ 8 4 V V M E M 1 期 2003 年 2 月 9