扩散学习 李

nullnullFor Centrotherm E2000 HT 300-5 Horizontal Furnace Equipment Centrotherm E2000 组成与控制过程李飞龙 2010年7月nullDiffusion furnace 的组成从装机过程看，centrotherm diffusion furnace 可以分成四部分： Loadingbox 上料台 TGA 有毒气体抽排 Furnace 炉体 Gas cabinet 气柜nullLoadingboxCMITGAFurnaceGas cabinetnull控制系统的基本设计理念5个cesar分别处理与5成倍数关系的运动或参数控制，例如5个桨，5个炉管，5个气柜。不与5成倍数关系的一般不是由cesar来控制的。比如lift和slider，loadingbox.fun等。 CMS主要负责采集报警和警告信号，发送给CMI和CCC。 CCC主要负责存储操作记录，报警记录和各种采集来的参数信息。 CMI 主要负责显示当前炉体信息，发送操作指令。 PLC（大部分是I/O模块）负责接收CMI和cesar指令，采取动作，控制电机或者电磁阀等元件。 nullLoadingbox 的组成与控制过程EFM system SLS (softlanding system) Lift system Slider system Cooling system CMI 共有BX5100 ，BK5120和BK9000三种PLC nullLoadingbox 的组成与控制过程BX5100 (+B1-A4) (+B2-A4) (+B3-A4) (+B4-A4) (+B5-A4)EFMsystem && SLS Stack1.Cesar ==canbus== stack1.BX5100 -->BX5100的SF DC motor regler （+B1-A4/32模块kl2542 ）--> EFM DC motor&SLS DC moter. 两个DCmotor通过ENCODER将电机正反转及转速信息发给PLC，从PLC SF获得+24V DC power，SF可以通过调节占空比（0~99%）来实现对电机转速的调节。同时由于cesar，reg97，plc的+24V电源都是从UPS处经过直流电源转换获得的，即便断电也不会立即中断。nullnullLoadingbox 的组成与控制过程BX5100还肩负着控制炉门的重任。 Cesar输出指令给BX5100，BX5100输出DO信号给电磁阀组（A10）， 电磁阀开，CDA进入汽缸，从而控制两个气缸，实现炉门的动作： Lift/lower, moved in/ move out.nullLoadingbox 的组成与控制过程BX5100采集信号nullLoadingbox 的组成与控制过程BK5120:负责控制lift && slidernullLoadingbox 的组成与控制过程CMI ==canbus==BK5120（L-A2）==canbus==RDC2==canbus==OMRON SERDRIVE *2 BK直接与CMI相连，接收CMI传来的命令，发送信号给RDC2和伺服驱动器，从而实现对lift slider 和gripper的控制。同时采集他们的状态信息反馈给CMI。 一个RCD2控制gripperA和gripperB两个直流电机。 两个OMRON SD分别控制lift 和 slider的伺服电机。 nullLoadingbox 的组成与控制过程RDC2&&OMRON CONTROLLERnullLoadingbox 的组成与控制过程BK5120采集的信息nullLoadingbox 的组成与控制过程RDC2 OMRON SDnullLoadingbox 的组成与控制过程CMS BK9000很容易看出连着这个cms的就两条线（1灰1黄），这个CMS只采集一个信号：loadingbox冷却水的流量是否达到标准。nullLoadingbox 的组成与控制过程对loadingbox.cooling system的简单介绍： 进出水； 上风扇； 底部风扇； 至此与loadingbox有关的system介绍完毕。（for question） nullTGATGAnullFURNACE 温度控制系统 隔热冷却系统隔热冷却系统介绍：水冷 隔热nullFURNACE CMS bk9000nullFURNACE 7个CMS BK9000采集的信号nullFURNACE 温度控制CESAR-----REG97------TMM6 internal----RDIO8----TMM6 spikeCESAR 获得工艺参数值，并将温度工艺流程的几个数据发送给REG97,REG97有自己的PID算法和模糊控制算法，它具体负责温度的控制。首先，热电偶分别测得石英管内温度送往气柜中的TMM6，石英管外的温度（分L,LM,M,RM,R五组）送往挂在炉上的TMM6，（当然也发给了CMS一份）。nullFURNACE RDIO8收到REG97发送来的信号，经过自己的cpu处理后发送脉冲给SSR，SSR控制主电路的通断。每个RDIO8同时发出5组信号给每个炉管的5个SSR。经过T1，T2变压器后，主电路得到了这样的power分配: L,R（65V 90A,）LM M RM(60V 90A).由于从RDIO8发过来的impulse不同，造成通电时间的不同，且5个SSR分别控制五个区段的电阻丝通断，从而实现了对炉内温度均匀性的良好控制。Question： 1.RDIO8是几个？ 2.金属片的作用nullFURNACE TMM6 RDIO8（Digital remote I/O module） SSR 电流互感器 过流保护器 nullFURNACE ANY ？？nullGAS CABINET这里涉及到CX1010这个重要CMS和5个BC5150PLC.在此之前我们先介绍一下bubber controller采集的数据的走向。nullGAS CABINET除了由bubber controller传来的信号（+5V经过ICB board继电器放大到+24）， CX1010还接收一下信号： CDA（TGA中）pressure supply Exhaust gas cabinet（+G-B296） 输出如下信号： 从bubber controller 的来的信号经过继电器传给BC5150 ？？？ 最重要的实现了 CMS网络与cesar ccc cmi网络的链接。（后面再讲） nullGAS CABINETBC5150*5 连接cesar 和MFC，其对气动阀开闭控制与之前BX5100对气缸控制类似。nullGAS CABINET气体流量控制Cesar根据当前工艺，得出数据，通过BC5150和MFC实现对气体流量的控制。我们假设BC5150得到了PLC 互锁信息和看门狗信号都已经OK的信号，那么他就会根据cesar的命令发送信号给电磁阀组（5组，每柜一组），来通入CDA，达到控制氮气，氧气，和氮气—三氯氧磷气体气动阀开闭的目的。同时通过高精度的MFC实现对各种气体流量的控制。nullGAS CABINETnullNETnullNETnullCesar，reg97等连接到这里 null网络架构这些控制单元外部通过两个switch相互通信，内部通过canbus进行通信。所有CMS都连接到这nullTHE END! THANK YOU! 李飞龙 yijing19861103@126.com