GBT 16945-2009 电子工业用气体 氩

ICs 7i 100 20 G 86 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T1694⒌ -2009 代 替 GB/T169碴 5-1997 电子工业用气体 氩 Gas for eIectroniC industryˉ ˉArgon 200⒐ 1⒍ 3Q发 布 ⒛ 10-0⒌ 01实 施 曩齄躔黯 串臂嬲 蟛 辉蟊叮耋哭霎池赘尹垦发布 鬯 MATCH_ word word文档格式规范word作业纸小票打印word模板word简历模板免费word简历 _1714136763134_0分享网 www.bzfxw.com 免费下载 GB/T16945-2009 目刂 昌 本标准代替 GB/T16945-1997《 电子工业用气体 氩 》。 本标准与 GB/T16945— 1997相 比主要变化如下: ——修改氩的适用范围(GB/T16945— 1997的 第 1章 ,本版的第 1章 )· ——增加 规范 编程规范下载gsp规范下载钢格栅规范下载警徽规范下载建设厅规范下载 性引用文件(GB/T16945— 1997的 第 2章 ,本版的第 2章 ); ——修改技术指标内容:增加一类纯度和杂质含量(GB/T16945— 1997的 第 3章 ,本版的第 3章 ); ——修改瓶装氩抽样方法(GB/T16945— 1997的 ‘11,本 版的 41D; ——增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方法(见 41D, — — 修 改 管 道 输 送 的 氩 抽 样 方 法 (GB/T16945— 1997的 41~1,本 版 的 41~2); ——增加氩的采样安全要求(见 荃.1.3〉 ; — — 修 改 氢 、 氧 、 氮 、 一 氧 化 碳 和 二 氧 化 碳 的 测 定 方 法 (GB/T16945— 1997的 衽 .3、 44、 4.5,本 版 的 4.3), ——增加其他方法测定总烃;当出现多种分析方法时,增加规定仲裁方法(见 准3、饪.4、奎5); — — 修 改 水 分 的 测 定 方 法 (GB/T169遮 5— 1997的 47,本 版 的 45); ——修改标志、包装、贮运及安全(GB/T169碴 5—1997的 第 5章 ,本版的第 5章 )。 本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。 本标准由全国半导体材料和设各标准化技术委员会气体分会归口。 本标准起草单位:北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院. 本标准主要起草人:赵俊秀、周鹏云。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: — GB/T16945— 1997。 GB/T16945-2009 电子工业用气体 氩 1 范 围 本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 32 液 态氩的水分应气化后测定。 4 试 验方法 41 抽 样、判定和复验 41.1 瓶 装、集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氩产品应逐一检验并验收。当检验结果有 1 本标准适用: 氩用于系统| 火等不同工艺中 分子式 :Ar。 相对分子质: 2 规 范性引用虫 下列文件中| i、j遂 吐^ ll六 合 唧 它还可以卢 以<壬 "虐 手 以<焉 享 丨、jW,//XBF/冫 十 边 徂 硎 蚰 笱 的 ??? ? 保护和增珏 引 舀性离子刻蚀剂和退 用文件 ,其随后所有 蓥成 协议 离婚协议模板下载合伙人协议 下载渠道分销协议免费下载敬业协议下载授课协议下载 的各方研究 标准。 年国际相对叟 鲠 Bg修 改 卑 (小 包 内容 ) 是否可使用这 GB/T37 3.1 电子 ?? 〓?? ? ???? ⒍ d 氩的质帚■■■■|罡雩求i 于 邑 l? i㈤\项 ¨ -■ ■ 口 一 - '匀 Γ 标 氩 气 (Ar)纯 庋 〈体 截 舀 凵 h° 2 ss.$s s f 99 9992 氢 (H2〉 含 量 〈体 积分 蚶 勿 λ ^ ■ ■ k ■ 丿h' 1 氮(N2)含 量〈体积分数”ΦJ丬 》\ ( '⒍ 丿 5 氧(0)含 量〈体积分数)/10Xx‘ ∷ ′、 ` 乡 ' '2 o5 枷 帧 醚 诿 ( 挣 化碳 :01 05二氧化碳 :01 总烃(以甲烷计)含量(体积分数)/1°“ < 01 05 水分(H20)含 量(体积分数)/1°“ < 02 05 杂质总含量 (体积分数)/10忐 ≤ 1 颗 粒 供需双方商定 供需双方商定 GB/T 16945-2009 任何一项指标不符合本标准技术要求时,则判该产品不合格。生产企业应确保每一包装氩产品符合本 标准技术耍求 。 412 对 稳定生产的管道输送的气态氩由供需双方确定抽样 方案 气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载 。企业应确保管道输送 的氩产品符 合本标淮技术要求 。 413 氩 采样安全应符合 GB/T3723的 相关规定。 42 氩 纯度 氩纯度按式(1)计 算 : ∮ =1oo_(∮ l+钙 +残 +∮ 4+残 +∮ ⒍)× 10‘ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ¨ ¨ ¨ (1) 式中: 咛 氩纯度(体积分数)/102; ∮1——氢含量(体积分数)/10θ , 魄——氮含量(体积分数)/106; 吨——氧含量(体积分数)/10s; 残———氧化碳+二 氧化碳含量(体积分数)/106; 残——总烃(以甲烷计)含量(体积分数)/106; 跷——水分含量(体积分数)/106。 43 氢 、氧、氮、-氧 化碳和二氧化碳含量的测定 氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法按 GB/T4842-2006中 茌.3的 规定. 仪器检测限:005× 106(体 积分数)。 44 总 烃(以甲烷计)含量的测定 按 GB/T89抛 规定的方法或其他等效的方法测定氩中的微量总烃含量.当 以上测定结果有异议 时,以 GB/T8984规 定的方法为仲裁方法。 仪器检测限:0,05× 106〈 体积分数)。 45 气 体标准样品 气体标准样品中的组分含量为(1~5)× 106(体 积分数),平 衡气为氩。 46 水 分含量的测定 按 GB/T5832.1执 行 。 仪器检测限:0.05× 106(体 积分数)。 允许采用其他等效的方法测定氩中水分含量。当测定结果有异议时,以 GB/T58321规 定的方法 为仲裁方法。 5 标 志、包装、贮运及安全 51 推 荐使用进行内表面处理的气瓶,气瓶内表面应满足本标准对于水分和颗粒的要求。 52 包 装容器上应标明“电子氩”字样。 53 其 余 按 GB/T48妮 一 2006中 第 5章 的 规 定 。 ??? ??? ??? 〓 ?? ? ︱ ?? ? ? 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 电子工业用气体 氩 GB/T169⒋ 5-2009 中 国 标 准 出 版 社 出 版 发 行 北京复兴门外三里河北街 16号 邮 政 编 码 :100045 网 址 www spc.net.cn 戽玉话 :68523946 68517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 开 本 8⒃ × 12301/16 印 张 05 字 数 6干 字 ⒛ 09年 12月 第 一 版 ⒛ 09年 12月 第 一 次 印 刷 书 号 :155066· ⒈ 39322 定 价 1400元 如有印装差错 由 本社发行中心调换 版权专有 侵 杈必究 举 报 电 话 :(010)6ss33ss36945-2009 打印日期:⒛ 10年 3月10日