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OLED器件制作关键步骤OLED器件制作关键步骤ITO/Cr玻璃清洗——→光刻—-→再清洗-—→前处理--→真空蒸发多层有机层(4-5层)-—→真空蒸发背电极——→真空蒸发保护层—-→封装——→切割——→测试-—→模块组装——→产品检验、老化实验以及QC抽检工序制备纯水纯水ITO基板涂感光异丙醇清冲洗紫外光曝显影酸蚀刻冲洗材料光洗Q1W1W1Q2W2胺蚀刻冲洗风干蒸镀空穴蒸镀RGB蒸镀电子贴合封装传输层发光层传输层...

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OLED器件制作关键步骤ITO/Cr玻璃清洗——→光刻—-→再清洗-—→前处理--→真空蒸发多层有机层(4-5层)-—→真空蒸发背电极——→真空蒸发保护层—-→封装——→切割——→测试-—→模块组装——→产品检验、老化实验以及QC抽检工序制备纯水纯水ITO基板涂感光异丙醇清冲洗紫外光曝显影酸蚀刻冲洗材料光洗Q1W1W1Q2W2胺蚀刻冲洗风干蒸镀空穴蒸镀RGB蒸镀电子贴合封装传输层发光层传输层玻璃Q3W1定期清洗镀有机溶剂槽、基板Q1基板转移检查裂片第一次检查（色彩不均、暗显示特性检查（贴合偏光点、短线、TFT不良等）辉度、色度）板贴合FPC老炼Q1——有机废气Q2——酸性废气Q3——碱性废气W1——清洗废水W2——含铬清洗废水显示特性检查（辉外壳安装最终检查（色彩不均、暗出货度、色度）点、短线、TFT不良等）目前典型的OLED量产制造工艺通常由ITO玻璃基板清洗－阳极光刻掩模－有机材料真空蒸镀（小分子OLED）/旋转涂布或喷墨打印(高分子OLED）－金属电极沉积－面板密封封装－模组装配－性能测试（贯穿整个过程)等几个主要部分组成

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