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OptiControl_SW_V2_54_docV1 3 2_customer_cn (2).pdf

OptiControl_SW_V2_54_docV1 3 2_…

abel
2011-04-15 0人阅读 举报 0 0 暂无简介

简介:本文档为《OptiControl_SW_V2_54_docV1 3 2_customer_cn (2)pdf》,可适用于工程科技领域

用户指南OptiControl<<OptiControl>>为工厂监控而设计的工艺软件及可视化系统软件版本:V版本:DocVcn软件版本:V,版本:DocVcn用户指南OptiControl版本说明LeyboldOptics软件版本:V,版本:DocVcn系统制造商和出版商莱宝光学设备(北京)有限公司中华人民共和国北京经济技术开发区康定街号康盛工业园栋网址:http:wwwleyboldopticscom语言:中文版本由英文版本翻译而来版权所有版权所有©莱宝光学设备(北京)有限公司(LeyboldOptics)如有技术变更恕不另行通知。未经LeyboldOptics书面许可不得以任何方式复制本用户指南全部的或部分(复印微缩照相和其他任何复制手段)。亦不得以电子方式操作复制或者分发。违者将被追究赔偿责任。原始的软件和系统或者发送或者升级当前版本的系统软件仅供和OptiControl一起使用。软件不能用于预定以外的目的也不能进行未经许可的复制。特别需要注意的是严禁将软件及副本交予他人。本用户指南所用到的品牌商标名标志等并未授权第三方不受保护的免费使用。以上所述和法律以及品名和标签上的描述一致。OptiControl目录软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics入门产品信息重要的Windows设置<<时区>>设置<<国家和区域>>设定病毒防护建议登录注销作业访问条件职员群组和访问权限密码保护和访问等级开机登陆系统修改密码修改密码是可能出现的错误设定新用户注销程序关机可视化设计操作终端触摸屏(可选)键盘界面布局顶部状态栏主界面符号栏符号意义功能键功能键用户界面颜色按钮状态颜色输入输出区域的状态颜色帮助功能《OptiControl》界面的菜单结构界面和功能屏幕页面<工艺主页>软件版本:V,版本:DocVcn用户指南工艺参数组件参数功能键(图标)OptiControl目录软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics趋势图界面总览显示《实际晶控测量值XTALO》显示《趋势图离子源QQ》显示《趋势图气体流量F》显示《趋势图电子枪Q》显示《趋势图蒸发器Q》显示《趋势图HeaterS》显示《趋势图XTCO》显示《压力趋势图》显示《趋势图泵》显示《趋势图离子源QQ》显示《趋势图APS源Q》显示《趋势图加热》显示《趋势图沉积》显示《趋势图光控》《真空主界面》显示真空部件部件图标的意义真空部件图标漏率测试《操作员主界面》功能键AUTO菜单键《工艺功能》功能键【空闲】功能键CHARGE功能画面<基本功能>功能页面<基本功能>功能界面<Charging>功能键真空《真空功能》菜单功能键常数功能画面<日历计时器>机器常数功能界面功能按钮《载入保存常数》功能页面《工艺常数》功能界面<工艺常数>功能界面<工艺常数>功能界面<工艺常数>功能界面<工艺常数>功能界面<工艺常数>功能界面<工艺常数>功能界面<ProcessConstants>功能界面<光斑编辑器DU>功能键程序功能界面<程序管理器>功能界面<工艺步骤>功能界面<工艺参数设备>功能界面<工艺参数F气体>功能界面<工艺参数OXTAL>《速率监控SQM》的描述软件版本:V,版本:DocVcn用户指南功能界面<工艺参数OOMS>功能界面<工艺参数OOMS>功能界面<工艺参数Q电子枪>OptiControl目录软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics功能界面<工艺参数蒸发器Q>功能界面<工艺参数QAPS源等离子体>功能界面<工艺参数QAPS源加热器>功能界面<工艺参数Q离子源>功能界面<工艺参数Q离子源>功能界面<工艺参数QIonSource>功能界面<工艺参数QRF源>功能界面<工艺参数S加热器>功能界面<工艺参数Q辉光放电>功能界面<工艺步骤>程序操作程序结构载入和保存程序建立一个备份文件显示程序故障功能键维护功能界面<统计>功能界面<统计>功能界面<统计>功能界面<测量调整>功能键日志功能界面<提取历史数据>功能界面<趋势图>显示《设置时间轴》显示《趋势图参数》显示《选择标记》显示《定义标记过滤器》功能界面<PDF>(电源故障数据)功能界面<报表>功能键准备《服务功能》主界面功能界面<服务功能>(真空系统)功能屏幕<服务功能>(基片驱动)功能屏幕<服务功能>(气体控制系统)功能屏幕<服务功能>(电子枪Q)功能窗口<服务功能>(离子源Q)功能屏幕<服务功能>(离子源Q)功能屏幕<服务功能>(加热器S)功能屏幕<服务功能>(蒸发器Q)功能屏幕<服务功能>(晶体O状态)功能屏幕<服务功能>(晶体O数据)功能屏幕<服务功能>(离子源Q)功能屏幕<服务功能>(APS源Q)功能屏幕<服务功能>(APS源Q)功能界面<服务功能>(OMSOOMS)功能屏幕<服务功能>(辉光放电Q)功能屏幕<服务功能>(OMS)功能屏幕<服务功能>(OMS层)功能屏幕<服务功能>(OMS信号)功能屏幕<服务功能(OMS参考)功能界面<服务功能>(OMS系统)功能界面<服务功能>(OMS连续)功能界面<服务功能>(OMS连续)用户指南软件版本:V,版本:DocVcn界面功能《服务功能》(OMS无斩波)功能界面<服务功能>(RF源)OptiControl目录软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics功能界面<服务功能>(宽带监测)展开《XTC预期》功能显示《XTC实际值》《锁定》图标功能界面<IO输入输出>展开《默认值》菜单选项展开《LeycomIV(改造)》菜单选项展开《链接》菜单选项展开《Syrus》菜单选项功能界面<水系统>功能键功能报警功能界面<当前报警>功能界面<FIELDBUSERROR>功能界面<报警历史>功能界面<报警群组>功能屏幕报警页面:统计软件版本:V,版本:DocVcn用户指南OptiControl入门软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics入门产品信息工艺控制系统OptiControl是机器必须的子系统。它与可编程逻辑控制器(PLC)结合控制直接用于生产工艺的子系统和组件。系统只有计算机和彩色显示器组成是操作者与PLC的接口。通过功能键字母数字键和显示器屏幕按钮操作。所需的所有任务来完成一个生产周期的控制和调节并监控相关机器子系统操作可以通过相应的显示器屏幕实现。通过选择相关的按钮和通过输入必要的屏幕上显示的参数执行这些任务。过程控制系统具有以下功能:所有机器及其子系统操作的必要控制按钮。采集机器所有子系统的状态PLC中的实时工艺数据并转化这些数据到显示屏上。显示当前的工艺模式。采集并显示生产运行过程中可能出现的所有工艺相关的故障和错误。将参数汇编成recipe。数据记录功能。趋势功能(图表)。机器操作模式选择。用户指南软件版本:V,版本:DocVcnOptiControl入门软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics重要的Windows设置安装计算机交付时已预先安装了操作系统他会随计算机一起启动。欲了解Windows安装的信息请查阅相关用户手册。软件升级可视化系统将通过LeyboldOptics提供的调制解调器或者数字载体进行升级。Windows基本设置以下设定已设置在Windows操作系统中禁止修改:时区=GMT自动调整夏时制=关列表分隔符<<,>>(逗号)语言或区域设置=美国英语如果历史数据或历史趋势图出现问题请检查控制面板设置值是否正确请参阅:Chapter<<时区>>设置,Chapter<<国家和区域>>设定,注意!禁止安装除预先安装在控制电脑上的软件以外的任何其他软件(病毒扫描游戏等)。注意!不要更改电脑操作系统的设置(控制面板)。否则将有可能导致下列机器功能问题:数据记录历史趋势导入保存文件软件版本:V,版本:DocVcn用户指南OptiControl入门软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics<<时区>>设置更改Windows级别。通过Windows开始菜单打开控制面板见Fig,FigWindows设置控制面板打开“日期时间”。Fig日期和时间设定 用户指南软件版本:V,版本:DocVcn选择“时区”标签(A)检查图Fig,中显示的设定值是否正确:OptiControl入门软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOpticsB:选择格林尼治(GMT)时间。C:不使用“自动调整夏时制时间”。如果其他设置发生变化请做相应改变点击确定。软件版本:V,版本:DocVcn用户指南OptiControl入门软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics<<国家和区域>>设定打开区域设置(Fig,)Fig国家和区域设置选择“数字”标签(A)。检查列表分隔符是否为“,”(逗号)。如果选择的是其他字符请做相应更改。点击确定按钮退出。 用户指南软件版本:V,版本:DocVcnOptiControl入门软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics病毒防护建议病毒可以通过两种途径进入电脑中:通过数据载体(软盘光盘记忆棒等)通过本地网络数据载体病毒防护用户界面系统将由LeyboldOptics人员进行更新。所必要的数据已经进行过充分的病毒检测。本地网络病毒防护当系统连接到本地网络时系统操作人员必须确保网络上有充分的病毒防护机制。控制电脑上禁止安装任何商业防病毒软件。正确的病毒防护应该藉由安装在系统与本地网络之间的防火墙完成。LeyboldOptics建议使用NETGEAR®路由器FRP。该产品支持LeyboldOptics所必需的所有配置和设定。注意!禁止安装除预先安装在控制电脑上的软件以外的任何其他软件(病毒扫描游戏等)或者复制任何数据到其硬盘。软件版本:V,版本:DocVcn用户指南OptiControl登录注销作业软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics登录注销作业当电源供电后电脑需要大约分钟时间启动。操作系统和应用软件启动完的同时初始画面Fig,会自动显示。访问条件职员群组和访问权限OptiControl操作人员被分为若干群组。这些群组对用户界面程序具有不同的访问权限。经过培训和授权所有者可以将职员分配到各个群组。连接表显示了由LeyboldOptics预先定义的个用户群组及相关的访问权限。注意!对应用程序级屏幕页面的访问取决于受到密码保护的访问级别。用户界面的显示受到群组和用户的限制。换言之为了防止可能的误操作某些对话框或对话框参数有可能被隐藏。用户指南软件版本:V,版本:DocVcnOptiControl登录注销作业软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOpticsTab职员群组和访问权限资格群组成员必须通过完整的OptiControl系统培训课程。培训课程必有由LeyboldOptics或经由所有者认证的具有同等资格的人员完成。群组人员访问权限管理员Superuser工艺工程师最高访问权限。在所有操作模式操作OptiControl。新建、修改、载入和保存工艺数据。设定系统配置。修改和重置维护工具。在不用的Windows应用程序之间切换。创建新用户并分配密码关闭和重启用户界面程序访问属于其他用户的工艺数据不受安全级别限制访问控制电脑的操作系统。设备维护Service设备维护人员操作维护作业。修改和充值维护工具。运行应用程序配置(例如:显示趋势图)。使用本组中其他用户未设访问限制的工艺数据。操作员Operator系统操作人员最低访问权限。载入和显示产品数据。开始和停止自动工艺。注意!不能定义额外的群组但是可以定义额外的成员。每个用户只能是一个(!)群组的成员。每个用户有一个用户名和一个密码。见Chapter密码保护和访问等级,软件版本:V,版本:DocVcn用户指南OptiControl登录注销作业软件版本:V,版本:DocVcnLeyboldOptics密码保护和访问等级密码保护访问用户界面受密码保护并且取决于所属用户群组的权限。Ta

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