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一种双足驱动直线超声波电动机的设计

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一种双足驱动直线超声波电动机的设计 ⋯ ⋯ 堕 主-棚⋯⋯2O⋯O6. 兰! ⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯...⋯一. 一 ⋯一一⋯⋯一⋯一---⋯一⋯⋯⋯一⋯⋯一⋯⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯℃,‘一0 ⋯ “ 一 _ 一 种双足驱动直线超声波电动机的设计 鹿存跃,谢 天,周铁英,陈 宇,傅德永 (清华大学,北京 100084) Design of a New Type Linear Ultrasonic M otor witll Double—driving Feet LU Curt—yue,X...

一种双足驱动直线超声波电动机的设计
⋯ ⋯ 堕 主-棚⋯⋯2O⋯O6. 兰! ⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯...⋯一. 一 ⋯一一⋯⋯一⋯一---⋯一⋯⋯⋯一⋯⋯一⋯⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯℃,‘一0 ⋯ “ 一 _ 一 种双足驱动直线超声波电动机的 设计 领导形象设计圆作业设计ao工艺污水处理厂设计附属工程施工组织设计清扫机器人结构设计 鹿存跃,谢 天,周铁英,陈 宇,傅德永 (清华大学,北京 100084) Design of a New Type Linear Ultrasonic M otor witll Double—driving Feet LU Curt—yue,XIE Tian,ZHOU Tie—ying,CHEN Yu,FU De— ong (Tsinghua University,Beijing 100084,China) 摘 要:设计了一种单边双足驱动的面内振动直线超声 波电动机 ,其定子采用了一片铜板和八片压电陶瓷构成的复 合结构,压电点陶瓷沿着厚度方向极化,对称安装在矩形铜 板的两个表面上。建立了该电机的机电耦合动力学模型,通 过仿真确定了驱动足的位置 ,并试验研究了电机的特性。 关键词:直线超声波电动机 ;层合板 ;面内振动;压电陶 瓷 中图分类号:TM35 文献标识码:A 文章编号:1004—7018(2006)o5—0ol5一o2 Abstract:A new type linear USM with double—driving feet has been developed.The stator consists of eight piezoelectric ce— ramic plates and one brass plate. Piezoelectric ceramics plates are polarized along the thickness and ale symmetrically bonded to the two surfaces of one rectangle brass plate.Double—driving feet are assembled on the s~lle side of the brass plate. Th e working vibration mode is a composite in—plan e bimode,which consists of the first longitudinal in—plane vibration mode and the second bending one.Th e basic size of the linear USM is de— termined carefully by FEA.Th e characteristics of the prototyp e motor were measured experimentally. Keywords:linear ultrasonic motor;laminated plates;vibra— tion in plan;piezoelectric ceram ic 1引 言 直线型超声波电动机与传统的直线电机相比, 具有结构相对简单,易于微、小型化,响应快,推力 大,精度高,没有噪声,电磁干扰小,直接驱动负载, 断电自锁,没有回程间隙等特点,可以应用于清洁、 低温、真空的环境中,因而在精密定位 ,微型驱动,汽 车,光学系统以及国防等领域有 良好的应用前 旦 [1~3] 承 。 直线型超声波电动机分为行波型、驻波型、声表 面波以及大应变非共振型等类型。其中,面内振动 的驻波型直线电机具有较大的输出力(力矩)/体积 比,较高的运行速度和定位精度 J,能够满足 日益 收稿 El期:2005—12—10 基金项目:国家 自然科学重点基金(50235010) 增长的对直线电机小型化、微型化的需求,正在成为 一 个研究热点。在国外 ,以色列 Nanomotion公司和 德国的PI公司分别研制了采用了整块陶瓷矩形板 作定子的端部驱动的直线电机工作平台 -6];在国 内,清华大学、南京航空航天大学等高校开展了对面 内振动的超声波电动机的研究,南京航空航天大学 超声波电动机研究中心的研究导出了矩形压电陶瓷 薄板的长度和宽度比应为4的结论 J。本文为了满 足真空条件下的离子束刻蚀机工件台的运动需求, 设计了一种单边双足驱动的面内振动直线超声波电 动机,电机定子采用了金属板和陶瓷片粘贴形成的 复合结构,具有定子结构简单,安装方便等特点。 2电机的工作原理 电机定子的结构如图 l所示,八片压电陶瓷片 对称粘贴在矩形铜板的上下表面,构成复合定子。 在铜板的一侧留有两个驱动足。压电陶瓷片沿厚度 方向极化,粘贴时,压电陶瓷片的极化方向均与所粘 贴铜板表面的法方向 乐 相同,即粘贴在铜板 上表面的压电陶瓷片 的极化方 向均向上, 而粘贴在铜板下表面 的压电陶瓷片的极化 图1 电机定子结构 方向均向下。用安装螺钉将定子固定在金属外壳 中,固定点选在定子振动的节平面附近,以减小对定 子振动模态干扰。 电机用定子的面内一阶纵振模态和二阶弯振模 态的复合模态作为工作模态,如图2所示。定子作 一 阶面内纵振时驱动足上的质点作横向运动,定子 做面内二阶弯振时驱动足上的质点作纵向运动,在 有一定相位差的面内一阶纵振和二阶弯振复合共振 模态下,定子驱动足上质点的运动轨迹为椭圆。定 子的金属外壳固定在工作台上,驱动足与贴在导轨 一 侧的摩擦条相接触,产生的摩擦力驱动工作台作 直线运动。 一种双足驱动直线超声波电动机的设计 维普资讯 http://www.cqvip.com 触持电棚 2006年第5期 鎏离 一 阶纵振 二阶弯振 复合模态 图2 一阶纵振和二阶弯振及其复合模态 贴在铜板两侧同一位置的两个压电陶瓷片为一 组。定子振动的激励方式 如图3所示。对角的两组 压电陶瓷片加正弦激励信 号,对角的另外两组压电 图3 激励 方案 气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载 陶瓷片加相同频率的余弦激励信号,金属板接地。 为了保证在定子上激励出一阶纵振和二阶弯振的复 合振动模态,激励信号的频率应选在电机定子的一 阶面内纵振模态频率和二阶面内弯振模态频率之 间。调节两路激励信号的电压或相位差可以调节电 机的驱动速度。 3电机的结构设计 为了对电机定子进行结构设计,利用商用有限 元 分析 定性数据统计分析pdf销售业绩分析模板建筑结构震害分析销售进度分析表京东商城竞争战略分析 软件 ANSYS,建立了定子的机电耦合有限元 动力学模型。只有定子的一阶纵振模态和二阶弯振 模态接近时,才能在定子上激励出所需的复合振动, 因此在设计和制造时定子时,应该将这两个模态频 率调整的尽量一致。调整铜板的长度尺寸是进行频 率一致性调整的有效 方式。图 4为在铜板 的宽度和厚度尺寸不 变的情况下,定子的一 阶纵振模态频率和二 足驱动足接触表面上质点的弯振振幅的一致性和双 足的速度一致性要求。 由于所采用的左右对称布置的驱动足为矩形驱 动足,驱动足与导轨的接触方式为面接触。只有保 持驱动足接触表面上质点的弯振振幅的一致性,才 能保持良好的面接触方式,才能平稳驱动。 在驱动足接触表面上取 5个等距的节点,如图 5所示,利用定子 的 机电耦合有限元动力 学模型,计算各节点 的弯振振幅随两足中 心距变化而改变的情 图5 驱动足上的网格节点划分 况。计算结果如图 6所示,只有在两足 中心距为 13.7 mm时,左、右驱动足接触表面上质点的弯振振 幅才能保持一致。 两足中心臣 ¨ 两足 臣 (a)左足平稳性与两足中心距关系 (b)右足平稳性与两足中心距关系 图 6 足运动平稳性调整 两个驱动足的速度一致性也是影响定子驱动性 能的重要因素。驱动足的安放位置不同,其振动速 度也不一样,双足提供的驱动力也不同。由于对振 动位移求导就可以得到振动速度,因此直接研究驱 动足的安放位置与双足振动位移的关系。 利用定子的机电耦合动力学模型,计算铜板上 安装驱动足的一条棱线上质点的振动情况。图7为 图7 安装驱动足的一条棱线上质点的振动位移 计算得到的振型曲线。其 中, 为纵振方向的位 移, 为弯振方向的位移, 为厚度方向的位移, £,sUM为复合位移。可以看出,沿厚度方向的位移 很小,可以忽略。沿弯振方向的位移 对称分布, 在两足中心距为 13.7 mm时,双足弯振幅达到最 大,并且基本一致。纵振方向的位移不是对称分布, 在双足弯振幅达到最大时,右足的纵振幅要稍大于 左足振幅,这主要是弯振对纵振 (下转第 21页) 维普资讯 http://www.cqvip.com ⋯ . . ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ . ⋯ ? 大时,I 对 的影响很小;只有当,f不大不小时, 对 的影响才比较明显。这说明只有当磁路在临 .e 界饱和状态时,电枢反应才对磁通有明显的影响。 这些结论完全符合文献[3]的有关论述。 (3)对 BP网络进行离线训练 次数 把上表的数据进行一些处理,剔除个别不合理 的数据后,作为教师信号。运用 MATLAB语言编程 对 BP网络进行训练。 (4)对直流电机磁通进行在线判断 图2 磁通控制子系统 图2中的低通滤波器有两个作用:一是改善系 统的稳定性,二是对 ,f的反馈信号起一定的延时作 用,以与励磁绕组较大的时间常数相匹配。 3仿真运行 为检验所建立的 BP网络的精度,把另外一组 实验数据作为输入,运行 BP网络,并且把仿真结果 和实验结果进行对比,如图3所示。 图3 实验结果和计算结果的对比 其中,实线代表实验结果 ,虚线代表 BP网络的 输出,平均误差小于万分之一。这说明用 BP网络 对直流电机的磁通进行估算是可行的,精度较高。 4结 语 传统的计算方法由于过分依赖对象的数学模 型,发展受到了很大的限制。随着科学技术的不断 发展和人们思想观念的变革,我们正进入一个“软 计算”的时代,在这样一个时代里,人工神经网络 (包括 BP网络)将会发挥越来越大的作用。 参考文献 [1] 陈伯时.电力拖动自动控制系统[M].北京:机械工业出版社, 2001:49~50 [2] 张勇军.AFM全数字直流调速装置在武钢热轧卷取机上的应 用[J].电力传动,2004,(2):21~34 『3] 李发海.电机学『M].北京:科学出版社.1982:291~292 (上接第 16页)的影响造成的。但是复合位移在两 足中心距为 13.7 mm时基本一致,因此认为,取两 足中心距为 13.7 mm时,满足摩擦接触时两足的横 向振动速度基本一致的要求。综上考虑,选取两足 中心距为 13.7 mm,矩形铜板的尺寸为长 4O.5 mm、宽 11 mm、厚 2 mm,压电陶瓷片的尺寸为长 17 mm、宽 4 mm、厚0.8 mm,结构如图8所示。 图8 电机的结构尺寸(单位:mm) 4结 语 本文对一种单边双足驱动的面内振动直线超声 波电动机进行了结构设计,通过仿真确定了驱动足 的位置,满足了驱动足接触表面上质点的弯振振幅 的一致性和双足的驱动速度的一致性要求。对该直 线超声波电动机在离子束刻蚀机工件台中应用的实 特电机,2005,33(12):41~44 [2] 赵淳生.超声波电动机技术的发展应用与未来[J].电气时代, 2001,(3):l~3 [3] Ueha S,Tomikawa Y,Korosawa M,et a1.Ultrasonic Motors:Theory and Application[M].Clarendon Press,Oxford,1993 [4] Fung RF,Tseng CR.Dynamic simulation of a bimodal ultrasonic motor by new hybrid laplace transform/finite element method[J]. 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